---

Свирлевая картина на торце монокристаллического кремния

Черт. 1Ямки травления, образующие свирлевую картину

в

а — на плоскости (I I I); б — на плоскости (100); в — на плоскости (013)

Увеличение 100

Черт. 2

Ямки травления, возникающие вследствие окисления поверхности образца

а б

Увеличение 225

Черт. 3

Ямки травления, возникающие вследствие механических нарушений
поверхности образцов

Увеличение 225

Черт. 4

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

В. С. Матвеев, канд. техн, наук; А. Г. Галканов; М. Б. Рейфман, канд. хим. наук; Л. И. Власова; Р. И. Генкина; И. П. Кагановс- кий, канд. техн, наук; Л. В. Куликова; Л. В. Лайнер, канд. техн, наук; В. И. Маркова; А. И. Попов; Н. Н. Соловьев, канд. техн, наук; Б. М. Туровский, д-р техн, наук

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госу­дарственного комитета СССР по стандартам от 27.02.81 № 1090

3. ВЗАМЕН ГОСТ 19658-74

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕН­ТЫ

Приложение 8 4.5

Приложения 3, 8

Приложения 3, 4, 6, 8, 9

Приложение 6

Приложения 3, 8

Приложения 5, 7, 8а

Приложение 5

4.1

Приложения 1, 4, 7, 8а, 9

Приложение 8

Приложение 6

Приложение 8

Приложения 4, 8а, 9

Приложения 3, 5, 8, 9

Приложения 7, 8а

4.6

Приложения 7, 8а

Приложение 9

Приложения 3, 7, 8, 8а 4.2, 4.3

Приложение 4

Приложение 4 Приложения 7, 8а 3.86

Приложения 3, 7, 8а, 8, 9

Приложение 9

Приложение 9

Приложения 1, 9

Приложение 3

Приложение 3

ГОСТ 5017-74

ГОСТ 5959-80

ГОСТ 5962-67

ГОСТ 9206-80

ГОСТ 9285-78

ГОСТ 9412-93

ГОСТ 9696-82

ГОСТ 10197-70

ГОСТ 10354-82

ГОСТ 10484-78

ГОСТ 11069-74

ГОСТ 11078-78

ГОСТ 11109-90

ГОСТ 11125-84

ГОСТ 12026-76

ГОСТ 12997-84

ГОСТ 14192-77

ГОСТ 17299-78

ГОСТ 18270-72

ГОСТ 18300-87

ГОСТ 20477-86

ГОСТ 23676-79

ГОСТ 24392-80

ГОСТ 25593-83

ГОСТ 26239.1-84

ГОСТ 29298-92

ГОСТ 29329-92

ТУ 6-09-3401-70

ТУ 6-09-4015-78

ТУ 25—10(АМЦ₂.778.019)—84

ТУ 25—10(АМЦ₂.778.020)—84

Продолжение

Номер пункта, приложения

Обозначение НТД, на который
дана ссылка

5. Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта от 12.05.92 № 480

ПЕРЕИЗДАНИЕ (январь 1997 г.) с Изменениями № 1,2, утвер­жденными в июле 1987 г., мае 1992 г. (ИУС 11—87, 8—92)Редактор В. Н. Копысов
Технический редактор Н. С. Гришанова
Корректор Т. А. Васильєва
Компьютерная верстка А. Г. Хоменко

Изд. лиц. № 021007 от 10.08.95. Сдано в набор 12.02.97. Подписано в печать 04.04.97.

Усл. печ. л. 5,35. Уч.-изд. л. 5,10. Тираж 145 экз. С 385. Зак. 459.

ИПК Издательство стандартов, 107076, Москва, Колодезный пер., 14.
Набрано в Калужской типографии стандартов на ПЭВМ.
Калужская типография стандартов, ул. Московская, 256.
ПЛР№ 040138