---

.«Осторожно, хрупкое»;

«Боится сырости»;

«Верх, не кантовать».

Допускается транспортировать слитки кремния почтовыми посыл­ками. При транспортировании почтовыми посылками предупреди­тельные знаки не наносят.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4. 8. Слитки кремния должны храниться в упаковке изготовителя в закрытых складских помещениях.

5. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

   1. Изготовитель гарантирует соответствие слитков кремния тре­бованиям настоящего стандарта при соблюдении условий их хране­ния в упаковке изготовителя.

   2. Гарантийный срок продукции — 1 год со дня изготовления.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1а Обязательное

(Введено дополнительно, Изм. № 1).ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧНОСТИ И ОТСУТСТВИЯ
ВНЕШНИХ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ СЛИТКОВ КРЕМНИЯ

Методика предназначена для качественного контроля визуальным ос­мотром всей поверхности слитков кремния электронного и дырочного ти­пов электропроводности с различным удельным электрическим сопротив­лением с кристаллографической ориентацией (111), (100) и (013).

Методика позволяет контролировать наличие макроскопических дефек­тов структуры, нарушающих монокристалличность слитка (границ зерен и двойникования, двойниковых ламелей), а также внешних дефектов (макро­скопических раковин, сколов и трещин).

Методика основана на визуальном осмотре всей поверхности слитка, в результате которого выявляют наличие макроскопических дефектов струк­туры и внешних дефектов.

Контроль перечисленных дефектов осуществляют при стандартном не­сфокусированном освещении.

Всю естественную или механически обработанную поверхность слит­ков обследуют визуально непосредственно после их выращивания или после химического травления. Травление проводят в смеси фтористо­водородной кислоты (HF) и водного раствора хромового ангидрида (СгО₃ 250—500 г/дм³), взятых в отношении 1:(2—4) объемных частей.

Для контроля наличия раковин, сколов и трещин специального травле­ния не проводят.

1. Аппаратура и материалы

Стол с лампой накаливания мощностью не менее 40 Вт.

Линейка металлическая по ГОСТ 427.

Кислота фтористоводородная ос. ч. по ТУ 6—09—4015, х. ч.; ч; ч. д. а. по ГОСТ 10484.

Ангидрид хромовый ч. д. а. по научно-технической документации, тех­нический по ГОСТ 2548.

2. Проведение контроля

   1. Контроль на наличие макроскопических раковин, сколов, трещин, границ зерен, границ двойникования и двойниковых ламелей проводят ви­зуально.

   2. Наличие границ зерен на боковой поверхности, а также на торцах после механической обработки слитков выявляют по изменению света, от­ражаемого контролируемой поверхностью при смещении ее положения от­носительно источника света.

После химического травления границы зерен выявляются в виде четко различимых произвольно ориентированных полос травления (черт. 1).

1. 3. Наличие границ двойникования на боковой поверхности слитка и на его торцах (черт. 2) определяют по изменению отражения света областями, разделенными границами двойникования; на поверхностях после химичес­кого травления — по наличию четко различимой полосы травления, которая обычно выходит на боковую поверхность, либо заканчивается на другом де­фекте.

   4. Наличие двойниковых ламелей в слитке определяют после его хими­ческого травления по наличию четко различимой полосы травления, анало­гичной границе двойникования (черт. 3).

   5. Слиток кремния является монокристаллическим при отсутствии в нем границ зерен, границ двойникования и двойниковых ламелей.

2. Требования к квалификации оператора

Квалификация оператора в объеме, необходимом для определения моно­кристалличности слитков кремния, должна соответствовать требованиям измерителя электрических параметров полупроводниковых материалов тре­тьего или более высокого разряда в соответствии с действующим тарифно­квалификационным справочником.

4. Требования техники безопасности

При химическом травлении главные меры предосторожности относятся к хранению реактивов, разведению растворов кислот, щелочей и солей и их использованию в холодном и подогретом виде, а также при электролитичес­ком травлении.

Работы с химическими реактивами следует проводить в соответствии с «Основными правилами безопасной работы в химической лаборатории».Границы зерен в слитках кремния после химического травления

а

на боковой поверхности

на торцевой поверхности

Черт. 1

Границы двойникования в монокристаллических слитках кремния

а

на боковой поверхно-
сти (без травления)

б

на торцевой поверхно-
сти после химического
травления

в
микрокартина границ
двойникования после
химического травления

Черт. 2

Двойниковые ламели на торце
монокристаллического слитка,
обнаруживаемые после химического
травления

Черт. 3

(Измененная редакция, Изм. № 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТИПА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ

Методика предназначена для определения типа электропроводности ле­гированных монокристаллических слитков кремния.

Определение типа электропроводимости монокристаллических слитков кремния может проводиться:

методом термозонда (термоэлектродвижущей силы);

методом точечно-контактного выпрямления’.

Метод термозонда рекомендуется для слитков кремния с удельным элек­трическим сопротивлением менее 100 Ом • см; точечного контактного вып­рямления — для слитков кремния с удельным электрическим сопротивле­нием более 10 Ом • см.

1. Определение типа электропроводности методом термозонда

   1. Сущность метода

Метод заключается в определении полярности термоЭДС, возникающей между нагретой и более холодной областями полупроводника, с помощью чувствительного нуль-индикатора.

Градиент температуры создается локальным нагревом образца в резуль­тате прижима нагретого зонда.

Принципиальная схема для определения типа электропроводности мето­дом горячего зонда показана на черт. 1.

1 — зонд; 2 — образец; 3 — металли­ческая пластина; 4 — нуль-индикатор

Черт. 1

При определении типа электропроводности измерительный зонд должен быть очищен от следов сплава Вуда.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

Поверхность слитков не должна иметь видимых невооруженным глазом следов окисления или цветов побежалости. Допускается изменение на по­верхности, полученной после резки алмазным инструментом или обработки абразивными материалами.

1. 4. Определение типа электропроводности

      1. Определение типа электропроводности проводят при темпе­ратуре (23±2) °С.

      2. Прижимая нагретый зонд к поверхности образца, включенного в измерительную схему (черт. 1), добиваются отклонения стрелки нуль-инди- катора.

      3. По отклонению стрелки нуль-индикатора определяют тип элек­тропроводности. Отклонение стрелки нуль-индикатора должно превышать полную шкалу прибора на 30 %. Для выполнения указанного требования допускается увеличение разности температур между зондом и слитком.

2. Определение типа электропроводности методом
   точечно-контактного выпрямления

   1. Сущность метода

Выпрямляющие свойства контакта металл-полупроводник определяются типом носителей заряда в полупроводнике. Метод основан на качественном сравнении сопротивлений точечного контакта металл-полупроводник при различных полярностях приложенного напряжения. Тип электропроводно­сти определяют по отклонению стрелки чувствительного к току нуль-инди­катора или по виду вольтамперной характеристики, получаемой на экране осциллографа

.

П

типа электропроводности

применением нуль-инди-

ринципиальная схема для определения методом точечно-контактного выпрямления с катора а и осциллографа б приведена на черт 2.

1. — точечный контакт (зонд); 2 — слиток; 3 — омический контакт; 4 — авто­трансформатор; 5— нуль-индикатор; 6 — отвод к горизонтальным пластинам осцил­лографа; 7 — отвод к вертикальным пластинам осциллографа; 8 — регулировочное сопротивление

Черт. 2

В зависимости от удельного сопротивления образца и чувствительности осциллографа величина сопротивления может быть различной, но должна обеспечивать полную развертку осциллографа по вертикальной оси.