ГОСТ 19658-81
Безкоштовно, без реєстрації
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
В СЛИТКАХ
ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛОВИЯ
Издание официальное
БЗ 10-95
ИИК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ
Москва
ПОПРАВКИ, ВНЕСЕННЫЕ В МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЕ І СТАНДАРТЫ
;■ В. МЕТАЛЛЫ И МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ИЗДЕЛИЯ
3 Группа В51
;-к ГОСТ 19658—81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия, ’і Переиздание (январь 1997 г.)
|
’ В каком месте |
Напечатано |
Должно быть |
||||
|
Приложение 3. Раздел 8 |
5я ~ |
Рп ~Рц Рц |
• 100% |
8Л = |
Рп - Рц Рп + Рц |
• 100% |
(ИУС № 9 1997 г.)УДК 669.782-172:006.354 Группа В51
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
К
ГОСТ
19658-81
Технические условия
Monocrystalline silicon in ingots.
Specifications
ОКП 17 7213
Дата введения 01.01.83
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл — диэлектрик — полупроводник.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1 • 101 см-2) по технологической документации.
При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.
Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.
Издание официальное Перепечатка воспрещена
★
© Издательство стандартов, 1981
|
© ИПК Издательство стандартов, 1997 Переиздание с изменениямиМарка |
Группа |
Подгруппа |
Удельное электрическое сопротивление (УЭС) |
Номинальный диаметр слитка, мм |
Базовая длина слитка, мм, не менее |
||
|
Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см |
Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % |
Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, % |
|||||
|
ЭКДБ |
1 |
а б |
. 0,005-20 |
62,5 78,5 |
100 150 |
||
|
в |
35 |
10 |
102,5 |
250 |
|||
|
г |
0,1-20 |
127,5 |
250 |
||||
|
д |
152,5 |
250 |
|||||
|
2 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
0,005-20 |
78,5 |
100 |
||||
|
В |
25 |
10 |
102,5 |
200 |
|||
|
г |
0,1-20 |
127,5 |
200 |
||||
|
д |
152,5 |
250 |
|||||
|
3 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
0,005-20 |
78,5 |
100 |
||||
|
В |
20 |
10 |
102,5 |
150 |
|||
|
г |
0,1-20 |
127,5 |
200 |
||||
|
д |
0,1-15 |
152,5 |
250 |
||||
|
4 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
0,005-20 |
78,5 |
100 |
||||
|
В |
15 |
10 |
102,5 |
150 |
|||
|
г |
0,1-20 |
127,5 |
150 |
||||
|
д |
0,1-15 |
152,5 |
200 |
||||
|
Таблица С. 2 ГОСТ 19658-81 Марка |
Группа |
Подгруппа |
Удельное электрическое сопротивление (УЭС) |
Номинальный диаметр слитка, мм |
Базовая длина слитка, мм, не менее |
||
|
Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см |
Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % |
Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, % |
|||||
|
ЭКДБ |
5 |
а |
62,5 |
100 |
|||
|
б |
78,5 |
150 |
|||||
|
в |
20-40 |
35 |
15 |
102 5 |
200 |
||
|
г |
127,5 |
250 |
|||||
|
д |
152,5 |
250 |
|||||
|
6 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
78,5 |
100 |
|||||
|
В |
20-40 |
25 |
15 |
102,5 |
200 |
||
|
г |
127,5 |
200 |
|||||
|
д |
152,5 |
250 |
|||||
|
7 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
20-40 |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
||
|
в |
102,5 |
150 |
|||||
|
г |
127,5 |
150 |
|||||
|
8 |
а |
20-40 |
62,5 |
100 |
|||
|
б |
20-40 |
20 |
10 |
78,5 |
100 |
||
|
в |
20-80 |
102,5 |
150 |
||||
|
г |
20-40 |
127,5 |
150 |
||||
|
Марка |
Группа |
Подгруппа |
Удельное электрическое сопротивление (УЭС) |
Номинальный диаметр слитка, мм |
Базовая длина слитка, мм, не менее |
||
|
Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см |
Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % |
Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, % |
|||||
|
экэс |
И |
а |
62,5 |
100 |
|||
|
б |
0,01-1 |
35 |
20 |
78,5 |
150 |
||
|
в |
102,5 |
200 |
|||||
|
12 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
0,01—1 |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
||
|
21 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
78,5 |
150 |
|||||
|
в |
0,1-20 |
40 |
20 |
102,5 |
200 |
||
|
г |
127,5 |
200 |
|||||
|
ЭКЭФ |
д |
152,5 |
250 |
||||
|
22 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
78,5 |
100 |
|||||
|
в |
0,1-20 |
30 |
15 |
102,5 |
200 |
||
|
г |
127,5 |
200 |
|||||
|
д |
152,5 |
250 |
|||||
|
23 |
а |
62,5 |
100 |
||||
|
б |
U,1—2U |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
||
|
в |
102,5 |
150 |
|||||
|
г |
0,1-15 |
127,5 |
150 |
||||
|
д |
152,5 |
200 |
|||||
С. 4 ГОСТ 19658—81
|
Удельное электрическое сопротивление (УЭС) |
|||||||
|
Марка |
Группа |
Подгруппа |
Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см |
Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % |
Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, % |
Номинальный диаметр слитка, мм |
Базовая длина слитка, мм, не менее |
|
ЭКЭФ |
24 |
а б в |
0,1-20 |
20 |
10 |
62,5 78,5 102,5 127,5 152,5 |
100 100 150 150 200 |
|
Г Д |
0,1-15 |
||||||
|
25 |
а б в г Д |
20-40 |
40 |
20 |
62,5 78,5 102,5 127,5 152,5 |
100 150 250 250 250 |
|
|
26 |
а б в г д |
20-40 |
30 |
15 |
62,5 78,5 102,5 127,5 152,5 |
100 100 200 200 250 |
|
Побачили розбіжність з офіційним текстом?
Збірник із 154 стандартів