ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (72767)

Q: Как скачать ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия ?

Скачать ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия можно нажав на кнопку Скачать бесплатно внизу страницы.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
В СЛИТКАХ

ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛОВИЯ

ГОСТ 19658-81

Издание официальное

БЗ 10-95

ИИК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ
Москва

ПОПРАВКИ, ВНЕСЕННЫЕ В МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЕ І СТАНДАРТЫ

;■ В. МЕТАЛЛЫ И МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ИЗДЕЛИЯ

3 Группа В51

;-к ГОСТ 19658—81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия, ’і Переиздание (январь 1997 г.)

’ В каком месте	Напечатано			Должно быть
Приложение 3. Раздел 8	⁵я ~	Рп ~Рц Рц	• 100%	8_Л =	Рп - Рц Рп + Рц	• 100%

(ИУС № 9 1997 г.)УДК 669.782-172:006.354 Группа В51

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСТ
19658-81

РЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

В СЛИТКАХ

Технические условия

Monocrystalline silicon in ingots.
Specifications

ОКП 17 7213

Дата введения 01.01.83

Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл — диэлектрик — полупроводник.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1 • 10¹ см^-2) по технологической документации.

При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.

Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.

Издание официальное Перепечатка воспрещена

★

© ИПК Издательство стандартов, 1997 Переиздание с изменениямиМарка	Группа	Подгруппа	Удельное электрическое сопротивление (УЭС)			Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
	Группа	Подгруппа	Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
ЭКДБ	1	а б	. 0,005-20			62,5 78,5	100 150
		в		35	10	102,5	250
		г	0,1-20			127,5	250
		д	0,1-20			152,5	250
	2	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		В	0,005-20	25	10	102,5	200
		г	0,1-20			127,5	200
		д	0,1-20			152,5	250
	3	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		В	0,005-20	20	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	200
		д	0,1-15			152,5	250
	4	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		В	0,005-20	15	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	150
		д	0,1-15			152,5	200

Таблица С. 2 ГОСТ 19658-81 Марка	Группа	Подгруппа	Удельное электрическое сопротивление (УЭС)			Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
Таблица С. 2 ГОСТ 19658-81 Марка	Группа	Подгруппа	Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
ЭКДБ	5	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	20-40	35	15	102 5	200
		г				127,5	250
		д				152,5	250
	6	а				62,5	100
		б				78,5	100
		В	20-40	25	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	7	а				62,5	100
		б	20-40	20	15	78,5	100
		в				102,5	150
		г				127,5	150
	8	а	20-40			62,5	100
		б	20-40	20	10	78,5	100
		в	20-80			102,5	150
		г	20-40			127,5	150

ГОСТ 19658-81 С.

Марка	Группа	Подгруппа	Удельное электрическое сопротивление (УЭС)			Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
Марка	Группа	Подгруппа	Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
экэс	И	а				62,5	100
		б	0,01-1	35	20	78,5	150
		в				102,5	200
	12	а				62,5	100
		б	0,01—1	20	15	78,5	100
	21	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	0,1-20	40	20	102,5	200
		г				127,5	200
ЭКЭФ		д				152,5	250
ЭКЭФ
	22	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	0,1-20	30	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	23	а				62,5	100
		б	U,1—2U	20	15	78,5	100
		в				102,5	150
		г	0,1-15			127,5	150
		д	0,1-15			152,5	200

С. 4 ГОСТ 19658—81

			Удельное электрическое сопротивление (УЭС)
Марка	Группа	Подгруппа	Интервал номинальных значений УЭС, Ом • см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
ЭКЭФ	24	а б в	0,1-20	20	10	62,5 78,5 102,5 127,5 152,5	100 100 150 150 200
		Г Д	0,1-15			62,5 78,5 102,5 127,5 152,5	100 100 150 150 200
	25	а б в г Д	20-40	40	20	62,5 78,5 102,5 127,5 152,5	100 150 250 250 250
	26	а б в г д	20-40	30	15	62,5 78,5 102,5 127,5 152,5	100 100 200 200 250

Скачать бесплатно

Предыдущий документ

Следующий документ

Следующая страница

Нормативні акти про охорону праці Основні законодавчі акти Будівельні норми і правила (ДБН, СНиП) Стандарти (ГОСТ, ДСТУ) Санітарні норми і правила Пожежна безпека (НАПБ) Інструкції з охорони праці Реестр НПАОП 2020-2021 - Нормативно-правові акти з охорони праці

О распространении и использовании официальных изданий нормативных документов Минрегионбуду Украины ДСТУ ISO 9001:2015 Системи управління якістю. Вимоги Положення (стандарту) бухгалтерського обліку 16 "Витрати" ГОСТ 14332-78 Поливинилхлорид суспензионный. Технические условия ГОСТ 3262-75 Трубы стальные водопроводные Относительно полномочий Держархбудинспекции и ее территориальных органов ГОСТ 11738-84 Винты с цилиндрической головкой и шестигранным углублением под ключ класса точности А. Конструкция и размеры Закон України 1058-IV Про загальнообов'язкове державне пенсійне страхування ДБН 8.2.6-98:2009 Бетонні та залізобетонні конструкції Закон України "Про транспорт"

НПАОП 31.0-3.20-80 Типовые отраслевые нормы бесплатной выдачи специальной одежды, специальной обуви и других средств индивидуальной защиты рабочим и служащим электротехнического производства СТОРІНКА: 3 ДБН Д.2.2-14-99 Сборник 14 КОНСТРУКЦИИ В СЕЛЬСКОМ СТРОИТЕЛЬСТВЕ СТОРІНКА: 6 ДСТУ 2639-94 Єдина система захисту від корозії та старіння. Покриття газотермічні. Метод визначення міцності зчеплення покриття з основою нормальним відривом в умовах температур до 1770 К СТОРІНКА: 2 СанПиН 2.2.4.1191-03 Электромагнитные поля в производственных условиях СТОРІНКА: 4 ОСТ 5.1050-83 Полы и площадки съемные металлические. Технические условия СТОРІНКА: 2 ТОИ Р-15-035-97 Типовая инструкция по охране труда для машинистов, занятых на строительстве и содержании лесовозных дорог СТОРІНКА: 4 ДНАОП 62.0-1.03-74 Правила перевезення небезпечних вантажів повітряним транспортом СТОРІНКА: 6 ДБН В.1.1-1-94 Проектування і будівництво цивільних будівель із блоків і каменів пиляних вапняків кримських родовищ в сейсмічних районах СТОРІНКА: 5 ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора СТОРІНКА: 3 ДСТУ 4523:2006 Горох. Технічні умови СТОРІНКА: 3