Страница 10: ОСТ 92-4675-2000. Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы изготовления трафаретов (80799)

..

■ f f f f f Of Iff f f

' Продолжение таблицы 4 ' ^;

u.⁴ > ;• _f¹'., • •, • ’•.•/•■ •. .p s - ? i. ' '

Xi>fi-••'iff-f i-f-f f-nfi-

t. т>'-' ' •_ . '_г . (•

'■ " '. /f_v- •••"J, ,••• ' f >'f <•..

f: •' S

S

s

Наименование и содержание ,f

Технологи^

Оборудова-

Приспособлен

Материал

И 1

и

операции,. перехода i;f f

ческий режим

ниє (тип,.

ние, инотру-

І (наименование)

1 .;■•■■ • Ф ' ■ E4

о Рч О>

■ І • f і if f'<f ї---'*. ffif ПДґІ f f І''ff f f'

■ ■ .• ч ■ s. •• >. •••

наименова-

мент (тип,

| j °

El

, fff; 'ffff-fvfffiff’-'ffff:'ff

'i/r^; і-■.І .■fy:’'*. ••

ние) fix '

наименование)

1 *Я1

£%

•••-.•• • •-•:•.'••••••:••> ”•• ''fx'f f--fff⁴ fff ■'•••••'

! . * ■ .s ; • і .•

-

_ ««pf і; f ii* <'*.<•*. T7***t‘^w4**^?f''* f І .7-^⁷

ноды ; .

м . * +Л, м V Л Ь

Секундомер.....

{-•—•Г.--—А Л--■

t; f^; f.

f- f;

(20+5) °С <

механический

♦ . ►. .-.•

< ••+ •• x : t- -‘ч' * A- ' • > • .»¹ f і y. ■ •^k • . .'

,•?• . 'і’-'*.-:.-' -Л

s-' ч ' .ч 'А' ч- ’ •'.

C-IIififJfifi

I ■ iiffi>':ff'if^;-

7 f ;if"

' ’_• * ■ ‘ • •■’■-•• '" • • *• - ■!• •»-' -■> ■* V •[• ’ •»' • '^л ' л C %, ' "'^s•

ХІ,.’/.- '' , ч, "Л • Ч , • . •»

^{? л}-_' .• t-,'s’f-

Кювета фото-

1 .;;if;f - f :

t^fcf •'

;■ f„i -ff

, ff'. f'..' '•- ‘v, •/“.■••: ’’V’-.r'i

•'■ ' f-ffi' >>?- •,' ;V

.'• ’• (<•••:; Ґ A ».ь '

графическая

1 • ’■■ ■ '• /i . .‘f f '

P OIC

Нанесение фоторезиста Ч/П,іп

■, _ ' s' ' * * ■■-'•'!• f•’• : jv :-

< ,■> s« . -/w ' • ' • ■■ • - 's

ь- ? • * •* -J /f '.’.

' •. -ч-' Р sj ’ ■ X ’ s .. ■ . '

ff <f .if; f ’ifffii’si<if -'

I

■^Выдержать заготовки в светочувст-

Время 2-5 мин

Установка

Пинцет і'.'..

Светочувстви-_

ff ' ■

вительной эмульсии

■ ii^x-' ^L. ■■ P f Wn ^y і '"P

нанесения Г фо торе зис- 'таі-'і:'if;

Секундомер ме­ханический j c-iifiXifff j

тельная эмуль­сия - в соот­ветствии с Д.9

‘ ' , s ■>

-W'ilfiliffic

8ФН-І55-008*

х f і- -f І f ff" ’> f

;i .•

2

Сушить заготовки в центрифуге до

Скорость spa-

Центрифуге

Часы сигналь-

* ' ■

5 .. ■

Г ■ ' ■

t ■ ■' ■¹■'

полного .высыхания .?iiffpif iinfii.

■ ‘ ■ ■ ■ ■ ,'. -■■■■ ■ ' ■ '■ ^ь- ■■ ■ ■. ’.■ ".■■■■■••.^: ■^Р ’■⁴ ■ ” ^г.’ ч ./■■.’ ■.’’ і ■ ■'■л - f . /■ J

щения центри- ’ фуги f і і:; ff" f

ФЦВ-66Н ■

's ^:. •••’.'?■ f'-f - f ff .'Л

ные механичес-!

кие f f f-?f f f f iif 1

‘ "f ' S’ "■ v ’. x.v '-•"s.f ' *

t''' •••', xr ' '

П <•?<;’'-'Л ъ^: І.П і ‘ Р f' П’іі'і *5 • •

100-120і об/мин

ГР2.8ІХ.0І7 1

•;. • ■■■- 7 '■//.’ і if''.- .;

• rfs. .o>

■ r -

Время 5-Ю мин

. .s ■ - ~ .:■*■■. ■■ ;/■ ‘.s ..n

iff-, i/ff'fin^;:ifff'-.i 1

■;^:;'ff ?f f f ff f >' J

•fi’* ,

if і'І-І^:ір; .-і n ;■> fpf f fin i-ffn f П'-^: 'І /

Л f f-f f ’f ■ f >:■?

/ •’ ^v.-'-f ’ 'Л-.'і’П І f-f

радии

aj § g

Наименование и содержание • '

7 • . операции, перехода.7 ■ .. 777..

1 Технологи- ческий режим .

Оборудова- Приспособле­ние (тип,- ниє, иястру-

Материал 77 (наименование)

і ф

Ph a>

■' • ^: 777.л-<77<>.7<>7 _v 7--’7-7'

- ..s L- s

наименова-1 мент (тил,

°

a

■ ■ '/■ : ?. - Л-^Л ' 'Z'< .'A'-A⁷

ниє) наименование)

7-' •• <’7< >••

hsj

3

Извлечь заготовки из центрифуги

'.s':' v. =•<•' ‘

7;7<. ' 7 А' : 1 ПиНЦЄТ 1

' < . 7.^; ? ."77 • •а

4

Удалить неиыоохшие остатки свето­чу встви тельной эмульсии салфе ткой

7 • ^: ' '• '⁴ ’ -* '••• .'ч.,

Ткань хлопча­тобумажная

015

• Экспонирование? ’. ■’ . ’ .'■.7 ' 7

.. . 7J; •; 7 -7 ' '7, ;>}:* '?•/>•/ ' Л; -

'^;7777;^;l.7-'7 777777

•^г 'f7? >■ •• ; •"•"•7';.'■

Установка ■777: 7.

зкспониро- 7 7 - 777771

вания 7:77_:; 1 ■ ^:а7^<7:777^777І'-- і

смешанная

' < * |. і¹/*'? і Ч '

I ■

, ■ •7' ■ • ’ 7 ’ ■ ? ’’>•••• '^: • ’• ' • •; •". 7 •?' 7’ ' 1 •. .7 • •. .7'-* ’• • •/_; 7.;;;_• ^у 7.? ^{4 4};'

Включить установку согласно ин- /

₄. і ’ . ' ’ '_г ч',-' > ' '• •'

ГГ-2258

• '■ ■- ?■• 7-7'* • .• ' ■ '"'7''

- . * - '

2

струкции по эксплуатации ... ..•

/ Поместить заготовки между фотошаб-

.; * .♦’*"<' s •; ? -⁴ '■

/ 7.ф

<;•; .Л77-. •7 7-і :/;• " /7 '•• '7' ^;. ‘7 1

.••'..•7.7 7 тг*. _R '

• • . V ’ ' . Л-. ’ .'-м *^J

3.7

лонами с рисунком платы и растром

. . * , . , *■•■••• •*

77 Поместить заготовку о фотошаблона-

- „ 7:7777.77'j>7г;77:

'•' 1 t _с' • . . I t. ■■/. ' ^Л/. ,^t<J Jjs

- ' ’ . , 7/ ■' • . ' г . ' •••

ми в установку .. .77 7 '77>;'.7

7 '' ' ’'.Д / >' 's 7 • ' ' '■ ^; • '•. г'.' . < ' ' -'і < ^ф' ► ’ ₄ •' 'Z • ./. г

‘ Ч- /. •. . s .. • s^' 77-7

7’-¹ •; ■ '.77.7’• 7 ■ ,-••' 7.. * :^r,:

7-W.777777'^^:'77^7 7

7- < ■

' ^,4"-. •^v ? г • ■' J -'2 ■ 7 *7' <.'

' •..» ' s’■ '>^s /:: _ч.7.•••,. 7. а'' 7'і ''

. ~r • . / • ' _s 'і'’ і • 7 ^ч- '

•• .7 ■ f77,7

і ф и

1 ° sSi

й перехода

Г Наименование и содержание

“операции, перехода _: у

1 .. - '' ^г~ Ч:- ?' • ■Ж'Жу.Ж'-' "жЖ'Жўч’Ж

Технологи­ческий режим

1 Оборудова- 1 ние (тип,.

наименова­ние)

Приспособле­ние, инстру­мент (тин, наименование)

1 .Материал 1

1 (наименование) 1

4

‘ < Экспонировать. .фо горе з ио т

• Время ' - ^: '

г' Ж'.: - -.••ч :{_s- •'

Секундомер ме-

F

Точное время экспонирования подби-

0,5-3 мин .

ханический

г Ж- I

рается экспериментально . v

С-П , ^;ж

/5 .'•]

Извлечь заготовку о фотошаблонами

-• •' '' ' .А / -’г 'Л ' '

; V ; »■ +'• •<■>•••• ⁴ •.

■ ■'<': ' И У < ••'..•••• р.Л .••••. 1

ИЗ установки Гу Ж- 'АуУЖ’

- s • • ^Л''-. '^Л •. Ч- ' ^{Л 5} ■' І

'ж:.; .

' •

⁶

Выполнить переходы 3-5 для проти-

.’_г .•• ■ -^,л- " • і

7^v. ■; > ’

•< >ж •^жА^;лг.жА-;Ж'ААА.|

воположной стороны заготовки

' '^г' Ж- ⁵ г Ж'

Допускаєтся одновременное экспони-

... -’•’••у.. •.•<> •• }

. ? • . • Ж. Ж •- -. .'К 1

■ ■■ ■■ ’. АЖ.'. ’

⁴ I

рование заготовок с двух сторон ‘

'? Ї •• .. '', V " і

. і

Ж ^: J.

120

. Проявление Жж.:

' • и і. і . .+ .-г ,■*••• *■ • ' 'ч. ' *»' ' • . . ; ‘ ^ь*

¹'^г' ' • ' ■ 'Л', ' '* і

■ ■■ ■' ■■■

' j.' . , і ’■ • 1

t ■

X

Проявить рисунок платы на заготов-

Время 1-2 мин!

Кювета фото- _ч 1

Вода водопро- I

ке-s воде ' ■

Температура :

•••.

графическая 1

водная проточ-1

•’ ' <, ' • Ж- -’Ж -Г. - ?’■ г. ?.,ч.^: •• ' X. -• V.

• • ' ■ ■ •• ' " , •' > І '■■■ : ^А. '• -/.•<•. • " У'.:. . 'л' ч; і

воды

Секундомер

ная .

.у •.

^v■ ' *• >-''Л . > •-. • • ч.':’ ■.-V.; -Ж.,■; у,у/Ж у ,' ’

(55+5) °С

,; ■ ■ -..^г / у,¹ X

механический I

■ Ж; ■ ■ ' ^: '■ ' ^;ЖЖЖ''.Ж Ж:.- -к- ■ ’Ж '-■■'j Ж _РА <■■ ?. ? ■

і

, s •• ч". . . I

"• z ■ • 'і-'f.'-' л • :■ >, ;. •'•* • ’ .. •• • ? .•

' . ¹ •• ’ •. < ; •' *. ''s '/ J ’<•

■ ■ _и;^;_г"/■

Термометр • [

z. • /,. S- '• • •' • A v ;^Г' • • •’ . V'' ■’ •'- ^г'^£': • ■'

> . ' • _v‘. .".7- „ с Д ' •’ '■ ' X С • • ‘ ¹ ■ - ,^Л ' ' ⁵ '

'<■ Ж'-/.; ' і

OCT 92-4675-2000

№ перехода

' /'■ Наименование и содержание л’р ^: операции, перехода_:

X •' -■ '.55■

Технологи­ческий режим

Оборудова­ние (тип, наименова­ние)

— -.-

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, ‘ наименование)

Материал (наименование)

й-‘'.7- х7 •••’ • -Ч"’• ‘7.у ■

? , V -^Л

’• ' •- ■-1 . .;.-•</. р -/• :•' ,« ' • р.. ' Р

' ' •'• Л'" '■ '• ' ' ⁷ ' . " A

- 7

ртутный ...

, ■ 7>,^: ' ’>7 7

. ^:А 'Xг<л'.*•••'•> ’• ■■■';^ф"S ;7у'♦

. f • ч..' _г’ 'Л Р • ■■'1 - ■> J ' 1.

' • ■ •'/ ,■ •,

стеклянный

2

Погрузить заготовку в краситель

Время 30-60 с

■; •^|' ■' ' . •• •'ц-.ц. ■' S *

' ■ , ^? -

Кювета фото­графическая

Краситель - в

соответствии 7^

< ; •■. - ':■*' '••'-Sv7 7-777'7¹';А-7'^Л',7 І' '

Секундомер

с Д.Ю .7 •:

* ' •'*•’*. . ' ’ . *.**•**, '*і*г^А.Х ,j, * _z^r ' f.. * **^” ^- S ^z д * Л < . '• ^{S k} 1 *"_ф /?•/.', V * ' •'+л • $ *.

/■' -S' J-S s'.S->;'

~~ ••/ 7?

механический '

%¹ ' ' ' /• * »1 '

■■■' '■ Л S’’ ч' .,■,■■■?"■.■■■<?■■■■/ t <77 Л' !■*

с-п

'; ' ^: ' ,7s У- '■■■ ' "

3

,pПромыть заготовку водой .S ■77.7'7 7^7

Время 5-Ю с

^L '"7^і;їл"'..’■

Кювета фото-

Вода водопро-

Температура'

' графическая

водная проточ-

воды

Секундомер

ная :7-77-7

(ЯО+5) °С

■ •■'< '7 • . ^:Л' '

механический

■ :

• /у ; >Гг'- S?V? ' Л

/♦ ■.¹ ‘

■ '7'-’ •••--■•'.•:, V,

•47

Дубить проявленное изображение

Время

•'• j*: ''-і--ї'.-ьі •**,> .

’Кювета фото- ’

Дубильный ч..

?.**.** •■•,..•••. ,^v7 ’*

■. ■ t •’ •^r •' ■’ <.**'■ ■■■•: v ; •'.* j ' Л-.-Л?•.

(55+5) С.С7

^графическая 7

раствор - в

' '. •• ^: '■ ’ S •' _ ч’ "S /: S*'•"a '' ’' '■ / ■ • •

Температура

••. • ,>■• •• •••.-■ •,»•.. -г

Секундомер

соответствии ■

(20+5)°С

'7- • * ■ ?■'■ *

механический

■ . * — ••• >' ⁴' -Г '

с Д.П 77S;p :

1 ■■. ': ’

■ ':;■<<< <’'^v'S',