Страница 13: ОСТ 92-4675-2000. Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы изготовления трафаретов (80799)

аз

*=(

Наименование и содержание .

Технологи-

Оборудова-

• Приспособлен

Материал

.}₽ операц

о х 0> гл QJ И

if»

. операции, перехода

' '•' ". ?' -'*?• -^:-Л ■■ * " • • '

' ' ■";'⁴ • 7’ ’/ ".' ¹ 'Л/Н »-'- ■ 7 •¹'" ■ '7-'' '■

• *' . ' j _z. ' 'ч'.•?•.'•’ .7 V.-j ' ''

ческий режим

• ^г-~ ■: , г'

ние (тип,. наименова­ние) :

ние, инотру-. мент (тип, наименование)

(наименование) 1

.• -'/■ . •

3

, 7 Сушить заготовки до полного выси-

• . ....

Вентилятор ■ , • -» г ’ '. Л*

хания

- • •• ■ J • Л ’ .V , • ■

"Электрополо-

•, -Г ■•..• ,-Д .-.у V

тенце"

' / • /.

Подставка

4

Произвести оплошной визуальный кон-

' -"У ••’

Микроскоп

троль поверхности заготовки

МБС-9 о увели-

•:' Поверхность заготовки не домна иметь пятен фоторезиста и остатков

• ' г. * > 11'

■’./ г. *'■ *. •"• .. •

чением 16^х

'•. .. /••’■■ '^Л . • ’■ ■ ч’ •' *'■ ■ ■

ОКИСНОГО СЛОЯ ■ £<<

При наличии пятен и остатков окис-

• •: •• Л ^v' ...

'• •> • . S- >' ^J >' ..

ного слоя выполнить переходы 1—3

'-.'•t' '-.v'.’

' V' ;

⁵

'. Нанести клей на обратную сторону

;■ Л⁵.; .

.•■ • >' ч • 7^і• ' 'Т-^ ¹• ■'

- V ’^л

’■' ’«АЛ ’^h/'.

Клей АК-20 J

.заготовки ,

' •/'' ' • "' ч . ’ ' ^А ."■•'•*• s Г •ч’і'''' " ,'VX. ■>"*! S'? 77; у . ; +; •''

г. ,' ■ " ' •' -j:7'_t-7 ■ .». ' • *r •

'' '. V- -••г''. -.Л"-

_л‘ Ъ „4

.^л':7' ■ с •

7 .' ■ 7'-'' -'s';'7-А Л . І''-.

■ 7...Л’.. • '_s ■ - ’■; •

,... ;“ •, '7,■' •'• ' '?■' '.'r • '.j^-'7 ч'Л' ' -

• '• _: 4 - ;■ . j.-'? ? M. • ‘ ' 'j ' •• -/ •

' >■ ■ ?

ч ". V ■: ■ - ••-

' • • 'у / »' S-. '

• -••! ••'• ■' • • ?• ► ■ v ><'/ •' .ч ,

4,-^? '*.'?■ << ? ў,- ' ^л

■ 77'“ • . ’ /• • •' ■’ -'-.Лх ' І• '7 '• Л- -’. '77 •

,ч. <'v

■ • ' ' S? j’

_s' t'7'7. *•' _

1і*' '-_sr Ч*'⁴' '-Л ;7

■ < ■ ■ -:? '■ ЙЛ' ■'<’ і і?". ?:

Ї ' s ^,Л

г.Лг операции

$ перехода

Наименование и содержание . операции, перехода .

Технологи­ческий режим.

Оборудова­ние (тип,. ■ наименова­ние) У/ /7 - Л — ⁴

Приспособле­ние, инстру- . мент (тип, ' • наименование)

Материал (наименование)

•* -Z 4 _s • ' “•^s

6

7

8

9

-лт Сушить заготовку на воздухе'^? '

"'.•‘/••Ух^;Г<^:уУ^Ч'У^;У^ ” ■■ г У■■j⁴/-

у/Ч ууУ^^^ '' Ч >.,7' ^;

.•-j “ •■.;■' У'д’ '-^j7. і''/.*'‘і.' р'л;А' '^г '^л7''¹ ’ ;;^г;’У' ■,

':У>■•’■•?■?•■•* ЧУУ- ’У У^УУ^УчУ^ :■?.•• 7'• Ч ’■ -у УУ..,* У< ’ ■‘-

У' Повторить переход 5 , -УУ'У

Сушить клей на воздухе

‘Произнести сплошной визуальный кон­троль поверхности заготовки ч^УУУ--

Поверхность не должна иметь пузы­рей , наплывов, твердых включений и механических ‘ повреждений . У У

Время (25+5) мин .

^:' • і. ⁴ J ^:-'^Л' -⁴ '•'

••• '■ У' '•'У,.

, , ; М- .. .у' Л- » г- . _Л' V,: „.■■■•■'■ ••' ? <

Время * (2,5±Р,5) ч

ўЛ- • _А, .• • ^: ‘ ■V'f;

г ' , Ь - І.' .' '

''/ЧУ _;= /.У'; ' ^ЛУ чу

# > •' • _ь • ’ , .• •

""л ⁴ •.'•'• ^? • Ч . ? ;•

•<•••’■ '•••;' • ’

'»••••:• . т"' *-^{, z} . ¹ - і к

Кисть беличья '■№.І-4У7|У|Ч’ Яасы■сигналь­ные механичес­кие ГР2.8П.0І7

Часы сигналь­ные механичес­кие УУ‘У ГР2.8П.0І7 Микроскоп МБС-9 сувели­чением 16^х

7У^У;У/

■ ' ^k'v . ' • 7'^и-г; /

s '• . ' , . t ‘

.■/ -.г;? з_f • ;

.^Л'; -У'-' ■-

Й операции

>• перехода

.'Наименование и содержание ■ < .

Лх операции, перехода ■

' Технологи- ■ .веский.режим.

Оборудова­ние (тип, ■ наименова- пие) .

Приспособле­ние , инстру­мент (тип/ . наименование)

Материал (наименование)

, • .••■.• ч-•■•/.< ’ -; ? ■' •?"'

)30

Удаление фоторезиста л

.. ' чУуу 'У■

ПЗкаф вытяж-

^{- ь}.: ’-У.. '^г

г' .. ••■• • : ■ <- > л.-/•>,.••■ J >/,♦'. •■ 1 '/-н

ной ;

'' ; Ху--'-Х.аХ? '

'.■ - / ' У • ■•’ •' . : ■

, ---S -Г •• ^Jч' ' • _r. * ! . ⁴■■ ’Л", 1 • У у •■• с •'■•,•■ '

. ’■ : ' V.- .• ••>■ с». • •- .

1 V •.•'•'•';•'.•■ •'•••<.•••

'. > ' • , V' ■.•..-.•■•■ '•.• ■' ' ’ •-.

■ •. '• ' ' 'V > • .-. •■. . ► ⁴ '

.1

Травить заготовку, располагая её в

Вредя . .'/..у

■ V '^Ґ<;У

і , • • _t : •.■/,; .....

Кювета фото-

•Раствор для . ’

растворе вертикально . •.

(15+5). мин

I : * ' .Л'-'

графическая _;

.травления

<• ■ /і> ■ ‘

Температура

• • '• - • ' Л г 'V •■••">-

Часы сигналь-

в соответствии

раствора Ж

ныемеханичес-

с ДДЗ Хч’ХХ

••.є ;•

(5515) °С.‘’у2

І •вучХ'ХЛ-іХХд-уг/

кие І’ХЙІ:

-.'..У, ■;■■. //’■■/■.’=>■X<’./

1 ! lA. . -j. j'J >5 » •:■< А^:' -'ч'' ¹

1 ' S’^s

ГР2.8П+0І7

2

Промыть заготовку водой

Время' • .

W • . с''., • > . V’ •

I •. 7 VX ^> ' І ' і • 5 ••; 7.'¹

J ' 'У ,-L г./.' У,- .т;_с ‘*і /л.'

І -і'.' • Л +’г'' •

Кювета фото-

Вода водопро-

(3+1) мин ^?

І Ч '’''-'у >*’■■ /'-•

графическая

водная■проточ-

:■ ■-'

■ ■?’ ; • /• >'-•'•••’; ••••'''••- Л...-'?,'•••'. ^ЛЛ /

Температура ;

г •-•'■■ 'J,..' ". •-

Часы сигналь-

ная '

•• , • . '. • •/.'^; • - і • 'х’..'- .. • • -г' , •, '-А', -' І- , .V-.- _т' -. »;

.ВОдауХ'-ОдХ-

[ .• ч'.; /•

ные.механичес-

• •'•ч ••>'•’'■ - - *-»•* • ' »" '• ■‘S’¹- V ■•¹‘ ,• у .г .«- Ї |' • • і - ⁴ • *• ?/■ • ’«г ' ■+ •'

(50+10).°С Гу

. ’• •' 7 . ••<.'•: '.■'

кие:

■ - ■'... ?-"Л с' • j., *• •' -.'.'

: ч •■<•'.. ї , • ' ' ••_*. 7„ ■■_. . •; и” -у ; < ■• ;?«* -

• • .* • ⁴• * .* **,*•’ * ^г" »* j •' • ■**У*ь.,ч •' г -••- • ** ч • •7' / V* * * ’* ^ь ’ ► ** *"* * * С" ^; " * ' '^ST^ - ' ,*

ГР2.8ІІ <017

-ч- : j •, у. Л;-,"-' ? •

v /"’-ч •<. 7ч '-)••■ г' ■

• •‘'•ч . V . _v, ■>:, -.-і’-; •► . •••..', ,-v .^qa’ •

■ •■’■. '■' ' '/ '^Л? * ■ X ' ■ X ’ 1'. -'X;^:, -'/С^'X-

■' ' 7? ■ ’ т^ь- ^: - -V .■^v.' 1

_t ■■-■< Л/^ц? •^г

Термометр ;/у ртутный >

'. . . , і'.. ■■ . -^т' .

л. ’ўй

•ТЛ/./ У- ’^Г У

-' • . Ч ,! ••

'■ f X '.. У 'j , •. -ЧЛч ■1' ’ _ б

•'Z-.v V. •; Л'.ч¹;.

’>*<7ч <Х:*«;бС-/<'j/T* •

r^l_l■'7*- (*'<р V'T-^z1 ■

//'У':; У 'У< У .уЄ"'. ■'■■■' ■ <

.?V' xiyv.' '••

-■ • ',! г'. Ч^: *1 •■">' '

і / ■; .у- :

операции

перехода

Наименование и содержание . у операции, перехода ..

■ ■'■■■■ ’/■ ■■ ^: б ?■ /6’ ' б /■ 6 ■ ^:6'■■ £■■■ ■?■■ l * <_■ ? 6 a ?f- ’ ■ ■■■^J' б ■' ■' '■". X ■ .6. 'ц

• >' .. .< ,• •'• - б■•■■■'. ’<'• 'Ґ'"'' -> • 'Г ' . •■'< б-. ’;;»■? - /’

Технологи­ческий режим

’ -.V •; < ' •' г•? ■: <• •, ? г;<•' <' ■

Оборудова-1 Приспособлен ние (тип, . ние, инстру- яаименова-] мент (тип,

Материал ;

(наименование)

’ ■- '••/■.7' ’■-■ б?

3

! • •'

4 ■

5

'/ _v ■' -. ’ і _ . A. - V ’^v'- • *Л^Ч ■

'■. -^: '< ■ у S''«•' *’ <• ''~<Л

Промыть заготовку' водой . .!/

' • — Ц.' 'Х.Хб • :-бІ-

_ч ". / ^ч. '■ '••- 7. ’''■'< "• Гг"'•" '1 /.’■*<;' '■ ■

^: '•' ' б' ••? ' '■ 'б^: б 7?': б - ; ' •-/' -z •. <■ •• / '6 • <>'/J‘‘'<•.' ’*• ч:^<ч’•. j. J

: Сушить заготовку до полного высы­хания б' ; З-б ^;

Удалить фоторезист с поверхности заготовки ' ^: '

■ ‘ '• <* Л -.д' г-'А ' ■•^£"^{: 4} ? • '

' ^Ч- ’ ‘ > ‘•Ч • ' ' " " -а '■ ' /

_Л. -ч-' 'Л - ' • * /¹ ' . .'.-б.. ? г ' ■ < ■' '■ •• -> ' "

Время- ' б-.?чд'-- <45^15) с Температура вода бе-7

(20_±5) °С : -

Время 5-Ю мин Температура раствора : ■ "б

(55£5) °С

/ --б/л/(стеклянный б :"5,.'.б; Кювета фото- графическая • ;-б- Секундомер б; /.гбдб^-ббб'' ' механический б б- |с^г;55|бШ

• іВеНТИЛЯТОр :• б Я

• ;б . 6 1 "Электрополо-

ЙШбб<Ж 1^ТЄКВЄ ” Лб’:бб7б;б (Подставка б б-б Кювета фото-б -графическая

б ■ ббб_; 7.7 ІЧасы сигналь- б_Л (ные механичес-

< ' ^ККЄ ■ б ¹7.6 бб дблб ^:

Вода Еодопро— водная проточ­ная 7б>бб<;;-б

6/.0. • бб

1 б’' 'л>-7 и'’’-'¹'7

■ ' ' v''-■ .О’'⁴’/ б-;,"'*® ' ^:б.’ '

Раствор для снятия фоторе­зиста - в .со- 1 ответствии с - дл2_;-б|;|Ж| ■ '■ 7 ■■ Мбїббб. ->67676< 7■

t

to

таблицы 5

••.0002~S49V-86

МММ 7'7,.г

' Продолжение таблицы 5

$ перехода

Наименование и содержание у V операции, перехода ■ д_;ддд.-.-

... ' ⁴ ' •- ?:•';'<• /'+’'7;^Л .;

Технологи­ческий режим _%, f

• '• .'••> • '<-7 ' Лл^4:

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние) '

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

• Материал (наименование)

335

040

6

1 ■•■■

' ' - '• .” = '■'• .• ^Л,, •'. Ц ⁷’’ •••'>'•' :' ' ’• ''У- Л, ?';’•* 'V. • ?• '* ’''

■ ⁴ s'’ ./■ ' " ' . • • 7 ; ' '•••'. • '. '■ .7. •⁴ .'7s' *;•.»' •' .

. г - • 7 ^г / . г • s.' ;• 'і'- '.••• ' ' • г '.> /' : : '

, • * ;^U- 'Л. ' ¹ ’ z*’ I-'”

- • ' '' ■⁴ < '■s_A: •' _z' /; • ' . s .;

^:-у Промыть заготовку водой ' ^:-УУУУ^

' *• 's* •' '. ,s г ■ ^ь ■"* v? -s"*. •' • . ' Л s* л .. "* *'* "".s'* * *7* '

* " '• - Г ' ⁴ ■ s- ./1' ■- і ^s.’'■■■• '• . '■ *-'/7 л ' < J • > ' ' Д .. ^ss< x

. •' ' ■' Д’- '.'t'.' k ⁴;-•' ■. •.. ■ : -■ .

xj?. ^:Л?'■ • V-:"'- У'^,!'УУУ

і⁴-" ‘Л’ і' • ґ '? : s/ '■^л •?./ ' ^г '■ • '"'.і'7• ■ ■

^т' ■¹¹ »■'•j -'s* j- ⁴ <.' • ».•• - -is V ' 5 • "• » 7••

Никелирование заготовок - по

OCT 92-1701 ■ ”•

Склеивание УУУУ У'-УУУ

^: Л у"г' ?^J..' s' ^{: Л} - V ' •• ї ’; У '• •'• >•••■/ Ў ?;

Время 1-2 мин Температура воды '

(40+10) °С

• >•* V-'^г‘^;" 'У •*- , ' ,

. ' '<■ •'•• •

1. > л ?.■■ :-ў • ..’sv; .•

; ; •_ •"! •' ' V’ 7 'v '' ' '

•• ' ’.'s’s' ■'

, 'f-s- , ' ' . 1 '■ '

.' ; Д’ Л;

• ^; ' S •’ /і- І? 1 ■/

• ' ■ -г’s-^ v^.-' ' "

Г ї ' '^Ч' »

>"■:£ -7 > ? • “•

Д '••••' V’ •

■' ■ _¹ '7' •.' •■?• ■•’ "• s'-- и' ' ^⁴'

гвг;$п.оі7 Термометр ртутный стеклянный ■ Кювета фото­графическая ' Секундомер ‘ механический

С~1Г>Д;^ Термометр ' ртутный стеклянный

Д •; _v .г 1 - ⁴ >'f's- ' ■'

’■'•"'s'•./?<Д'^:

• ' • 'у.'.'. S* ’7‘ ’-;Л^: s* 7 s -'

.s ■■ ■ S ■ - ’^ьJ ■^г<’ Z- ■■£' ■ . ^;.'^ґ ■ 1

■■■■ ' tV'-s [

Вода водопро- | водная проточ­ная ■ . <дЧ