---

О ТР ДОЛЕВОЙ СТ А Н Д А Р Т

МИКРОСБбРКЙ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ

Типовые технологические процессы
изготовления трафаретов .

Всего страниц > 84

Предисловие

Кї РАЗРАБОТАН
точных приборов

Научно-исследовательским институтом

Ц

НДС, утвержденных во II

К5С ФГУП "ЦНИИ машиностроения" Информационным указателем отраслевых квартале 2000 г.

ОСТ ■ 92-4675-85

в ЦКБС р ФГУП "ГЩШ машиностроения

"

Ї:

Л’

■■ Содержание

І Область применения ........ . ././?.">,>, I

2 Нормативные ссылки » . . . ♦ . .'. . ’• ♦ ♦ ♦ ♦ . . , . . I г г

г 3 ..Технические требования , .'U >■:,.л":./". /Ч/5

4 Требования безоп - >• -v*- • '

. 5 Типовые технологические процессы /^:: . . . ♦ . . -? .6

6 Методы контроля . ♦ • , . > ., •

Таблица I Типовой технологический процесс изготовления сетчатых трафаретов на основе пигментной, бумаги « ,<. S

Таблица •' 2 -Типовой тэхнологический процесс иззготовления ;:^;.

сетчатых трафаретов с использованием пленочного : фоторезиста ФП-І . ♦ ♦ . .<

< Таблица 3 Типовой технологический процесс изготовления; < сетчатых трафаретов с использованием фотополи- 7.

- мерной. композиции ’’Полисет" » ’• . . •

Т

43

аблица 4 Типовой технологический процесс изготовления ■. биметаллических- прецизионных:трафаретов из ■ -2-^ бериллиевой бронзы БРБ-2 ₄ ♦

<

57

Таблица 5 Типовой технологический процесс; изготовления комбинированных трафаретов для нанесения . стеклоприпойной пасты .

П

66

риложение А. Материалы, применяемые при изготовлении Л трафаретов ' ■ ' • >:>, . . ♦ •. •^; '•'*

Приложение Б Оборудование, применяемое при изготовлении / трафаретов Z-- ///■;. " •/>-; у:/

П

69

риложение Б Приспособления, инструмент и контролъно-измери ;; тельная аппаратура, применяемые при изготовле- _; нии трафаретов . , ■. • ♦ ■»/*

■

А'- f⁴ : • ' •/•'■'"• '>? Л-"Л^: •’• •. '/'V ’> ' '•

■■ <■• • % • •••• • -с, ■ 'Е.’-'-А <•<. *• - •• ■ Л • '•••' '■••;•; /. •/...;•/ "• ..;> - • •

fc^; ■■■ OCT 92-4675-2СОО Й

Приложение Г Область применения сетчатых, комбинированных се - ■ биметаллических трафаретов / . ■^;<

Прилоаенйе Д Инструкции по приготовлению

'л?-.- - растворов ■ ■'. . • /• ♦ ■ • АЧс .-

71

72

^5 Приложение Е Фотополимеризующая композиция, применяющаясяпри изготовлении сетчатых трафаретов для

ОТ Р А С Л ЕВ 0 й С ТАН ДАР Т^47^’2^;О'Ж-2^^2

МИКРОСБОРКИ' ТОЛСТСИЛЕНОЧНЫЕ 7^?:;7<'4 774/У/7Ж:Ж

Типовыетехнологические процессы изготовления трафаретов - /

ЖЖ4-& <;4■;'^:ЖЖ7?7.22 225 Дата введения 200І-0Ї-0І

■■‘22 І Область применения _; •• ’Ж. ' 2/Ж Ж 2'2 чОЖл ЖЖ^:-.-Жл72^:;7'Ж^;

Настоящий стандарт распространяется на микросборки, соответствую-: щие ОСТ 92-4179-79» ОСТ 92-9436-81, ОСТ 92-9508-81 и устанавливает ти­повые технологические, процессы изготовления сетчатых и биметаллическихЖ трафаретов. /. ..■■■■ .. ^:/:у 7 <■; /. ;•■.2§2 ■

ЖЖ'Ж- 2 Нормативные ссылки '2 ЖЖ 2:2 7'2242../2^:22‘

. ' В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие документы: 2 2 2' /• ГОСТ 3-88 Перчатки хирургические резиновые. Технические условия '.

'2 у ГОСТ 177-88 Водорода перекись. Технические условия. '^;' ' / Ж Ж72;

ГОСТ 1789-70 Полосы И ленты ИЗ бериллиевой бронзы. технические

УСЛОВИЯ ' .. ' ■ ,Ж '■ Ж/ . '/-Ж,.'

. - ГОСТ 2603-79 ' Ацетон. Технические условия '■- ^ /Ж’ 2Ж -2 422

'ГОСТ 3118-77 Кислота соляная. Технические условия'■■■■.

1. ГОСТ 3647-30 Материалы шлифовальные. Классификация. Зернистесть и зерновой состав. Методы контроля -/2 :/?;2б 2/ КЖ /Ж'' ?2222-22<B2V'

2. •.^; ГОСТ 3763-76 ^/Аммоний двухромовокислый. Технические условия Ж2‘Ж'

• ГОСТ 3776-78 Хрома (УІ). окись. Технические условия (реактивы) Жб.

■ ГОСТ 4204-77 Кислота серная. Технические условия ' . '' . ' 2^;

/■'/ 2 ГОСТ 5972-77 Порошок зубной. Технические условия'■ .V ’ 22..' .

'ГОСТ 6456-82 /'Шкурка: шлифовальная бу манная. Технические условия Ж; /■'' 4 ■ 4.2'ГОСТ 6709-72 • Вода дистиллированная ,2^і* - ■ ■■■ / 4■ • •>" .

/кЖЖгОСТ. 6867-77 Смачиватель НБ. Технические условия '4. ■ 7-' -Ж?.

: 'ГОСТ 7313-75 Эмали ХВ-785 различных цветов и лак ХВ-784 4 .

^22У-ЩМ7':Й®22Ж9і/М 7ЖЖЖ7Ж 1ЖЙЖЙ ₍ . *, • : • ’ .-•* j..*' і г'. •' ' l ‘ _s ' » ' ..’ ••7, _s’ ?.’•*% '. 's* I J'/* •* ^ґ г • s’ ⁴ <*. ' і⁴. f ”’’^Г:

' • 2 ¹' - s'. •■•.•. ~ /' 2- ai ■• '• ■ _r' ■■ , ••. ■ Ч-". 2 ' ■. -. , - 2’ /'•'.• -9 ' ‘ v :2. 2'* <*.■’ ⁴

2 7422:-Ж22Ж<222Ж4'^; "^;;2 '■■Ж2 222<;- 4 -2/7 ■'«7 7 .' '72- '-'22

Уу'^:УУ^г/⁷ ! Уч^?'^''^

^f ' ГОСТ 7827-74 Растворители марок Р-4, Р.-4А, Р-5, Р-Ї2 для лакокра­

сочных .материалов,. Технические условия дУдд УддУУУУ.<УУУуУ.

... ГОСТ 8030-80 Иглы для шитья вручную. Технические условия

'ГОСТ 9070-75 Вискозиметры для определения условной вязкости ла- <

кркрасочных^материалов. Технические условия ~

С

у у* ГОЗГ10779-78 уГ0СТ_;^!П078-78 ■ 'ГОСТ; 12026-76 У_; ‘ ” • . | . .. • . .

< условия J ? ^:< •ГОСТ!13646-68

пирт поливиниловый. Технические условия

Натр едкий очищенный. Технические условия Бумага фильтровальная, лабораторная. Технические

Термометры,стеклянное ртутные для точных измере­

ний. Технические условия

Э

у.-;. • ГОСТ.; 14919-83

У ' • ГОСТ} 17435-72 у ..у • ГОСТ; 18303-87 Технические условия 'у ' • ГОСТ; 21179-90

-ГОСТ 22180-76

У Т .ГОСТ 23932-90

лектроплитки .бытовые. Технические условия , Лінієйки чертелщые мерительные • ^;:У';У'й^ Спирт этиловый ректификованный технический.:'.

Роек пчелиный. Технические условия • У ^:’< д Кислота щавелевая. Технические условия ■ ..у Посуда и оборудование лабораторные стеклянные.

Общие технические требования-. уду.ЇМУ

у... 'у ГОСЇ 24234-80 Пленка полиэтилентерефталатная. Технические ■

‘ УСЛОВИЯ . ^; р. у- ■■'■■'^:-й?у.^

ууд Г'Л^ ГОСТ 25178-82 Электросушители для рук. Общие технические

^: условия •( у. Уд у.-/; Й^;--ЙУ' дХ^:‘-У.^:^.;'; уйу,- .у ■/■■■УуУ ..гу-хууу^

'ГОСТ 25644-96 Средства моющие синтетические порошкообразные.

Технические уСЛОВИЯ''Й.-:-:..с;.у^^

ГОСТ 25743-83 Шкафы вытяжные радиохжлические. Типы, основные

параметры! и размеры . . ^; • у

у * ГОСТ 29298-92 Ткани хлопчатобумажные смешанные бытовые. Общие Технические требования . у'. ■ У •• 'Х-йййУуйУ' .у..

У ⁷Уя<^ ГОСТ Р 51232-98 Вода, питьевая У

ОСТ' 92-0948-74 Клеи. Выбор и назначение. Технические требования

X ’XX< /^ 92-4675-2000 L-^iX^XSSW

^; -OCT 92-1701-99■ Микросборкг тонкопленочные. Типовой технологи­ческий процесс изготовления биметаллических прецизионных масок .

■ « ' , * ' _г * S ■■ .. << ' <И.' Г • ■’ ? • Л •• ч- . 'Ч " ' ‘ ‘ ’ ' ' > ’ • • •'. * * ■ V* ■ '

^;ХХХг ‘ОСТ 92—3888—85 Ножницы монтажные. Конструкция и размеры. Техни­ческие требования Х'ХХ-Х VX . •

«ОСТ 92-3889-85 Нож монтажный. Конструкция и размеры. Техничес­

кие требования. • .■Х^;:ХХ/х^;-.'.Х ■■■;;<ХХ<_г:..,.'^;'^;-Х^!;7^;'ХХ:

■ < -OCT 92-3890-85 Пинцеты монтажные. Конструкция и размеры. Техни­ческие требования •?<<••• . ' о■?■:-. : Х78ХХ^:;'^;. XXX; ■■■■;?•'<Х/:.^:7._<ХХХ

•ОСТ 92-4179-79 Микросборки гибридные толстопленочные. Техноло- •7- гические нормы при конструировании . -Х'7: Х<-лХХ.^;7 ;ХХй?

^{: Л}' ■. -ОСТ 92-4673-85 Микросборки толстопленочные. Общие технические ■'1. 'I--.' • ' .'.г.,,,', і . , ъ 1._ь . - - • ЇЙ¹ . J , _у .

требования и требования безопасности к типовым технологическим процес­сам изготовления .

< ■■■ / ...•_; ; ‘ ОСТ 92-8605-2000 Помещения производственные для изготовления ’ / Ї. микроэлектронных изделий' и печатных плат.- Общие требования ,

' ї л.Г ; ОСТ 92-9436-81 Микросборки гибридные толстолленочные. Базовая конструкция и размеры

’ ОСТ 92-9508-81 Микрооборки гибридные толе тог. ле ночные. Общие . технические условия • .... " 'ґ?'- .

~ ; ■ -ТУ 3-3.1210-78 Микроскопы бинокулярные стереоскопические МБС ..^:

г/X- -ТУ 6-09-945-86 Индикатор метиловый фиолетовый (метилвиолет) .

ч.д.а ■■.•X' л_;;Х ''Х'._ Xv:.х'<^>;'/'хх.Х' 1.Х- :SxfW

.-ТУ 6-09—II8I-89 Бумага индикаторная универсальная для опреде­ления pH 1-10 и pH 7-14 X ^: Л. ;._VX. ■■'.

ТУ 6-I0-I293-78 Нитроклей'АМО^

ЙХХ-<ХХ^:Х ТУ 6-I4-3I9-8I Фотоинициатор УФ-отверждения •

X< ТУ 6-14-577-77 ■' Синтанол ДС-ІО. Технические условия •У.’ХЙЙх??’^: УХХ: X/--- ТУ 6-19-37-038-88 Кювета фотографическая X ■ X.-х -X.

■ XТУ 6-І7-І2І5-88 . Фоторезист пленочной ФП ' ■ хХ‘ Х^;:-• ; Х

> ^: ’. ./•>' ТУ 6-23-15-89 Краскораспылитель пневматический ручной'7 ’. ‘ •• •

> ; ^;х.^;ґ' ХШОй

- І - .І-?;." '<■ '■'■ ><■ ' "і.?’...Л^: л’-''. -?.■:■■ ■ ■* ' '

ЙІЙЖЙІІ 92-4675-2000

. /. . ЇУ 6-55-43-90 : Пенополиуретан эластичный ■■■■. - . :<Й

■_<*.^Ч_ч.^,,'_ф-^,_фХ.^- ...•/’ l * > . ' , - г ^г| • л І - ^ь_fґг ' ’ і • • л * _z ' « * • г'*. • ч ’’г • ...і . . Ч ^- . S ¹ . 4 .J’,

ТУ IIА2 JZO.238,001«ТУ-8І Столы монтажные. Технические условия

■'ff!; ТУ 14-4-507-74 Сетка тканая с квадратными ячейками микронных размеров ; р^; -

■ ТУ 17-15-07-89 Кисти художественные и для клеения <^;<v.

. . ' — МРТУ Ї8-ЗІЗ-69 Композиция фо тополям ери зуюшаяся для оперативной

; технологии изготовления трафаретных форм "Полисет”

Si S > йУУ 25^07-1268-77 Часы сигнальные ■З'р?

I, /< I? ТУ 25-1894.003-90 Секундомер механический С-ІІ. Технические

УСЛОВИЯ

; . ТУ 29-01-06-83 Бумага штлентная. Технические условия ,

;, . 'ТУ 38.401-67-108-92 Нефрасы. Технические условия ^;

. _Л ТУ 64-І-І4ІІ-8І Шкафы сушильные электрические круглые 2В-І5І

■■>■ >'/■'j ■■^:?:-- 3 Технические требования Tf. '^'■■■^. Н-;;-' '-Ш ■'.

;;; '-‘^хВ 3.1 Общие технические требования - по ОСТ 924673 ... .

-Допустимая неровность края рисунка платы на трафарете не более

+ - ' 35 ЫКМ.Ч ^;

Допускается наличие небольших пробельных участков на светочувст- . вительном слое трафарета, устраняемых ретушью

.•;> ’ 3.7 Не допускается наличие наплывов.. зищитного лака на рабочем. ,

: • поле трафарета /■■■.;/<■■<„.<■ у:'г

I . её требованиям, указанные в 3.4. .. <^;. _г; .; ^л: .

трафарете для нанесения изоляционного слоя используется только новая сетка '' ■■■■ ■.

92-4675-2000 - -'-'-

уУУ'УУ^ УУ ■. '■/'■ ■/-■ У.уУ

/у/У'У‘^;;^У ^?Л '■ • •' /'■ ; ■■ ■ к /:;':л'^С< '':/■ - ■■■ ■ У^:":’/'/. ;ку'/к/ук, 'к'.'>кГ у ■■/>--

.?>;■ 3,11 В ^трафарете да нанесения стеклоприпойной композиции еле-

дует использовать заготовки из бериллиевой бронзи толщиной •

0,10—0,15 мми металлическую сетку 150-200" -<У_Л^:./■'•■:■■

■ 3.12 Размеры фланелевых салфеток должны быть не более 80x80 мм, ч Z. V z, ’ . ’ * і . ••»,■.■>> . <1. , . . , г . .. < .,-е * .... __ _s• і, ' .' . .. . % '.'S’ - Л

'./.хлопчатобумажных -не более 120x120 мм у../- '■//

;®В1х=// ⁴ Требования'безопасности У/ у'.■■ ^:ку У _;у -у’к;^

йк^-Гу 4д Требования безопасности - по ОСТ 92-4673 ' . Ґ у/,У-.УУ

у/у •. 5 Типовые технологические процессы '.

У . 5.1 Типовой технологический процесс изготовления сетчатых трафа-

'' ретов'на основе пигментной бумаги приведен _ в. таблице_:I у куу

У 5.2 Типовой технологический процесс изготовления сетчатых трафа-

■у ■ ретов с .использованием пленочного фоторезиста ФП-Іприведен в таблице 2

5.3 Типовой технологический процесс изготовления сетчатых графа- ’ . ретов с использованием фотополимерной композиции "Полнеет” приведен

^''У в таблице 3'1лУУукП/;уг//'к Уу--. / . • -Уу-укУ^/У ‘У'"-..у'у:^;"Уу

5.4 Типовой технологический процесс изготовления биметаллических. •

: прецизионных} трафаретов из бериллиевой бронзы БрБ-2 приведен в таблице 4

у У трафаретов для нанесения стеклоприпойной пасты приведен в таблице 5 ...