Страница 12: ОСТ 92-4675-2000. Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы изготовления трафаретов (80799)

операции

g Наименование и содержание

х . операции, переходе _:

Оч ■■■■■

Ф 1 - • ■■■,■ ■■ ■ - ?' ц-' Ц-:'; ' ЦЦі /Ці? Ц

*gtt 1 ■ ■ ІЦЦ'-Ц'-

Технологи- Оборудовав ческий режим ние (тип,.

ОУ'МЭ'' ^{каимек0Еа}~ гние) у^уу

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

- ч ■ .ч W* W • Г 1 4W ■- Иг

Материал (наименование)

5 .... .Травить поверхность заготовки, ..рас­полагая её в растворе вертикально . '

б ПроАшть заготовку водой У ■

Время -.-—I .•••■■• • ц.•■•••-- (15+5) МИН УУ.цУУ^УУ' Температура раствора

(55±5) ,^рС Ji ' 5)О^:Ж''

Время ■ 5'УУ

(3+1) МИН ,У—_ :

Температура ...■_

■ВОДЫ У. Ц УУУ УУУ<6 ■ ї цОІЙУ (SOiTO) °С

Кювета фото- -- графическая Часы сигналь­ные механичес­кие ГР2.8П.0Ї7 Термометр ртутный стеклянный Кювета фото­графическая Часы сигналь­ные механичес­кие' .'.'У/5 Ш.811,017 ■ Термометр "у

/ « - - ■ /■ ■■■■■ ^< ■ ■' у ■

л*. ^гі. .4 _ь • • _z

- 'Раствор- для ' " травления - У .

в „соответствии с'ДЛЗ ■: -

_s У „► у,’х'.''_н '• "У-ч: ’■ V .' j -<%.'• >

водопро-_ водная проточ-

: пая ■

■ - ^.,Z ;< >' . ¹ ■■> 'І •• •. •■ . •■/• у.' s*_- ,;

С

•JU

перехода

Наименование и содержание /• операции, перехода

•' :-.-•••• • V ‘V- >•■•'•'?• Л J- • ^л’

' -¹ •• • ■ ' ' ^л- • г • •• ' '• ‘ - —J -

Технологи- — веский режим

-! Оборудова­ние (тип,. наименова­ние) у.

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование)

- ' ■. ■■ ■ - • _s • ' >.'г. < -• ’л»’

ртутный :

1

'7' Л _s ' '.

стеклянный

/ /. ■

7

. Сушить заготовки до полного высы­хания J

J ''■ ‘-'-.s, . . • _s ■ ;•;• •. •.'' ч ’.Л.

^Г.' . ' ; ■ ' ^|£.

Вентилятор ' "Электрополо-

; •. s •'. г ■ :"А 'V.' Г- • ■ ' .■'» < .б ' ■> > ’.'.."г

■ ,.' • * .' ' . л*• ч, •’ •_ ’ •' ’•-■*"'" ^{1 1 1}' 'і

" '• ' ■ '' ' І / о ' •

тенце"

8

Произвести сплошной визуальный -

'У.' '' • ^Z-.s' •' і'-’’- '

Микроскоп

7.

контроль заготовки на соответствие

МБС-9 с увели-

■ •- •

: • ••'

3 ..9?^'-^

: ^:Г •_ ’ -5?•>•..;<у.;•

чением В^х- .?

.;•. • і ' ' _s

ОЗЕ

...

•;; Склеивание. ’ „■■ ;■■■..Ш'.- . 1

' ' ' 'j' -V. ■ ' ’

• ••• J .ч •••■• • •

'У^f<л ••• '⁴

■ . ■ ’■■ -’■■ ■. ■ ^: -_н. ■ ■ -■• '

I

Подготовить трафаретную раму с на-

V-.:/'.- г’^г; ’/А У'.:-.;--?

' •^мч _ц • ¹ ' '/■ '• •

тянутой сеткой согласно таблице I,

^{: 1}'¹'У

■•- ■ '₄4V<>-..><^'-Ч- Д’...-.

У:.

операции.010, 015 '

_s і .• 7 ч < ⁷ ч •.<zrj ■ _ •> < ■ •

2

Нанести клей на сетку по периметру 1

,. . '• 1 : '• Г Л ' .•‘.‘У*7 • '.• '

Стол. моя-

Шпатель

Клей ВК-9

' заготовки ■' ' ■. ^:/;^v. ■7 ■ I

, ;. • '.._г ' ' V !'•'•. У < • • < С ¹:

ч' ■■ С•''ч''.

тажннй у.

■■ /.’?Пч'■ ■<; ■ J

' ^v‘’-7 і ^Л.' і >'••., Л ’

. • 'У' <"».Ч ’чЧ - • ¹

СМ-4

• ■■■' '•'/ 'Д-’^Л ч-;?.; -;> • •%. ч

_• ч-'. ’' ^л . • .., zv С '

-'-'Л І'л’- 1

■' • ' '■ - • ■' < ⁴ ■■ "

....'• S V ,■ ■. ч- ' '

‘ ¹. і^ч'^z’->

• ‘"г* • • ‘ Л ' • У -'-У • /' ? • •^г 7.

'■ 77:.:■! '_t" .-?^Л

■ '■." 4

» ■

ПГ операции

1 X ф & ф

iStt

/ Наименование и содержание . - .операции, перехода <_?ч'.--

_ •• . • .4-. ,',ч- /■.'•.■- • '?■■■••_•' "':' //••'•' •'■’■J*-- '’'•, f’ .• /ч , ■'

• _•' ■,. , ’.._ь> .’•■ .J ' •> . ,•'.•■•.Ч '*'••• Ч_иЧ⁴'’•' • У ' *' •' < ' • ’ >Ч<- •' л.*д^Л. -р- .Ч''*’- ‘ •;

■._А ’ - . •»* , •• " • ' '/■ ■’•:•,•■'■• * •' ■: • .„- ч -ч •'■•.'•'•" : ■ X'

Технологи­ческий режим

У • ” А. ..... і ; .'

■ , _u •'<- > • S'¹ ' '••••••; .-•:•* ' . Лл‘-

Оборудова- Приспособле­ние (тип,, ние, инстру- наженова-j мент (тип, ниє) І наименование)

Материал * (наименование)

Ч-'-^Ч. ■ ... ——— — —

У"?' '^;-7 :■ 56

■ '■

? .4 ’"*"""■' "' . . . ;■. —■—■ 1 — ...

Ч .'Ф ':■ ■; .'■.. )Ч -аЧ'- ІО 'СО £<• ^г

•Совместить заготовкууо наружной ' - стороной трафарета -

? Сушить заготовку с трафаретом на ;

ВОЗДухе.. J ..'■■■ . л;-..?: чУч.-’./Жч’- 3'' . ■. • ■’ ■ "ї Ч. •• ’• X ^І1 -X- .-' е?-',.ч' > •'■>•'•'• * , * -*■.••;•Ч' • ■' *•■ ' I','*" '

' . ¹ •-.-•■ •' г* • ,$'.'■ ■■ -/ ' ' Г/''" '■’S Ч'. •' У ' -'l

? Вырезать участок сетки вдоль клее-.' кого шва по внутреннему периметру 'заготов ки а ■ л-у ч-'-у х-р у -к .ч ■'/ s ■

■ : Произвести сплошной визуальный . контроль поверхности трафарета на соответствие 3.8

Ретуширование - согласно таблице I, операция 40 ... .-..ч; ч

' ■. ■•'' '••■"’ •'' л:’ ’••.’■* V-'Г^? y.Y.

'< 'X ? • ^г-" ^f'

Время (24+0,5) яЧ

'4 ; '.;_Л ..

'7'- •.< V .і.-" Ч_ • -? '..'? ' Л •• К••'••"*■ -

.,.' • ⁴ • •' '•/ ■ - ■ • • ^:.

■ ⁴ '•'• , ’ ' ^J ' г •,

• 1'. . • • •• .• '••

• J ч.’ •"•••. < ''■'•••' 7-V

. •: . У *

С . Чу • 'у ''. ч ••.; ї

'■ ⁴ Ч '<. •> j' ., ч

■ ' ■ ‘ *•'. ' .' • ••'-• '•+ ’ ? Ч-+

■ ПШЯ W: ік ВЇ '■(.Вкладыш. ■ ■

’/ ■ ■ Часы сигналь- < а^; ные механичео-

• ■■ кие;;■<..■ ч'.Г■ х'ч;-_;

^: ГР2.8П,0Г7 /

■-.'."ч. ’^:'Хч І Нож монтажный

•/..=■ ■' " ■ Микроскоп ■

. . ГЖС-9 о увели-

у • X І чением 16^х

. ,, ■ • • * ' - ' • _• _%‘

' “ІХ-.

■ 4 V . -г ■

,4^і . . • г "'X ‘ '

'г s ' ' ' л .' " ’ •' j' /' ' і ' •'

! • Ч г- Ч. ^ч.у ' / г; ...... •. •• • '

• г. ¹ "Х⁴.-'

Г ■ ■

'•••"•• •>■•'• " •••••'• - <-v. трафаретов для нанесения стеклоприпойвой пасты .......... ЙЙ

І '• •'

J • і ••

й-

fe: t '

Ій'Й г • ■

І Ь’. ■ ■

І

І х

і А..'

4 ' у '■ •••'• ,

л-,

А'А;

Йа Ч-V

qj

% операции

Я перехода

Наименование и содержание . .операции, перехода

Технологи­ческий режим

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние)

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование)

00!

DIO. 015

_s s

■ -/-г

I

2

3

Подготовка исходных:/ материалов - о огласво таблице 4, операция 005; ■.

.■ Нанесение фоторезиста - согласно таблице 4, операция 010 ' 'Й'-Й

Экспонирование ' • ;.''.ЙЙ-.

•* > ,Й -.4 Л *:.'>• Ії'ч Й'^!*Й^ЙЙ-'?ЙЙ' Й'Й ЙЙ^А/ЙЛ Й'Й ^:

s ••. ••' :■ ■ •■’■’'• '■ 7' < •'••'>'^f J-?■ • V- a’йхйййЙ й 'й'' 'іЙЙ

£ Включить у становку согласно ин- струкцид по эксплуатации < -

Совместить заготовку с фотошаб­лоном ; ■ ф ЙЙЙЙ/. Й^:'-^;-ЙЙ; . Поместить заготовку с фотошаблоном в' установку ■.■ ■ а ^; ■

' _и- . . • ^Л •' , .г,'• * Л'-ф ^: ’. ■* > ч' *• ‘ ^: ''%'<’•• '' ' ‘ '

• *- .• .■ _t .'ч •/ ' ; • - . ■;*ф j* ^<s' ■' ■ * ■ *'. ■' ■

• ■- ••’..• Й. -Z-

■ ■ ; ч - ••> . • -г 4' ’•

• *’ ' _; V . -.’Л^ * - •_ S ' Ч."'* £■' г •

’ • ¹ ;•_/ . /_г<. і- ■' _А’ь« J

'• -.й.”’

г • ' • * 7' X ' г.

•г . ■/■ • ■ •' ■’ -'"У¹ • *: ‘‘ ?'

’¹- -/ .« Л • "■ •' .-•/ •> •' ' "

^Г' ' ‘ ' ' V: '• -

Установка экспониро­вания ГГ-2258

<. і'. '

• y..'Vi —-ч .

• ^Л •

’_с йЙЙ’ Л'

х ' '■ ¹ . • ■':••. 7' ■'

- А, . • _v " . •

' * •' 's ' ' ' . -Уґ

, » •

^Йй/ЙЙ.; Й.Й ЙЙЙЙ

* 's ■ v-'.

“У _r:-“ • • •; 4

' ' ' ' • •• -1 >> J ? ’ ■

¹ ■ •••*'• , , • ’f •,

' / ' 4 ■ . /•' »• , . • 'Ц' ' -.Л

_s>^;;AV '-/'й /Й •' І <й

/ 'л v' ■' . ^ч" ‘ ' ** " ' .•■. ? '■

■ ' ;■ ^,Г-'- ' ' •'

X S

g

Наименование и содержание

Технологи-

Оборудова- Приспособлен

Материал

■ t

■ Л

О

^Л операции, перехода

ческий режим

ниє (тип,. ниє, инстру-

(наименование)

<D И

fX CD

наимеиова- мент (тип,

о

К

' _ . . ■— -S -ь .Їй- . ■ -s ■■■‘■j-'i ■ •“ ч ■ * ***

кие) наименование)^

■ > • ' -S / ^; ;

020

4

Экспонировать фоторезист ■

Проявление - согласно таблице 4, операция 020;•'< ■ ?'- _:/' ;_; .■

-j ' •• -t, 7 .*»•' ':?ч^т .

і ' "s-.-' -s' X і:і '3 І ,> . '•••.•, -■ •

І • ^k1 •' • ' І ’-: -'s. > 3;^J і

, - • А <у'.•< .¹" Г'.^:

025

Нанесение защитного слоя . .... _Л;'3 ■ Допускается производить экспониро-

' -s'-'. '-/'is < .‘'і-'-. %

• '••• f

Шкаф вы- '

І■ тяжиой ^; ' 1 •. (35 • 7

-; • :’Л ‘Ч •.' ';?/.'>>?„ X

>. " •• X's*' '• Г ■ ' : •,’ .

I

вание с двух сторон одновременно Погрузить заготовки в раствор для

травления ■ ^; ■ ■;

'■ '' - -і - ‘ ^s• ’•'? •' * • • '* Л •^,jJ- '• ' •.*.* / v’'' ^,Г'' ’•• ' ' ‘‘ >

Время 10-20 c

- <;-"7

• ' ?s-"' ' • ‘■^J;'s- x” s' '•

• ' .'•••J ■

'■■■■ Кювета фото-' ■ (графическая ... ;• СЄІ<уНДОМЄр ^; ' механический

Раствор для . травления - в соответствии с •

2

.. Промыть заготовки водой :

Время 30-60 c

■ j Пинцет

■'7 ' 3 •• •• ' • ^Г; > . і'' •: ,'

Вода подопрев

■

. ••

, ч и • • ;Д-- -_} - • , • ; -':-_s ?? .'ф - ■ _s. _v v• /.'.'і.’

' ' >-’• ' • V- -V .Х-З'. '/j⁴ і-- '< - " •• і і,..

■ , і''"’ і ■ s . • г ' • • ' <^г.-'

у,’V..'л.? {

. 1 Секундомер - с.

■ ?; . 1 механический

ЙЙШёК’ ^С~^П :ї -

водная проточ­

ная /: х