Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы изготовления трафаретов

Таблица 2 - Типовой логический процесс изготовлю....А сетчатых трафаретов . - о использованием пленочного фоторезиста ФП-І

ОСТ 92-4675-2000.

Л перехода

Наименование и содержание , операции, перехода

Технологи­ческий режим

Оборудова­ние (тип/. наименова­ние)/

Приспособлен ние, инстру­мент (ТИПї ' наименование)

Материал ' (наименование)

’• • -.'/.A _s • ; ' -У'

I

■ Вырезать заготовку из фоторезиста

Ножницы

. /■ \ ; <’ а

ПО' размеру фотошаблона •< ■,■/

'' • г • 'J-! •

92.1589-0002

■ ■ ■/ *

2

■■ Нанести очувствляющий раствор на

,■'••• ^,;/. - .• -/V

' ^;:S "■ ■

Очувствляющий_; ■

поверхность сетки и копировального

раствор - в ;

слоя фоторезиста цу бкой ■, ’■ ■■■■■<■-

соответствии ••

' .*' •- .*••'• ⁵'? • • 'у*'.. ’‘■'_ф: і •»%*' V/; \‘.л5Ч'." <■'•> ;*»»-<■ .^s- - і.. ч.> • ч'' ’ ’•

. А/ -у•/ . у О’/ • -а-

■ = 7;\. '/<

':■ ■■■: ^<ь ■ А ^ч- *■-■

■<

• / ^А №' Л' ' ' j‘< . ".•►’ і ' .7' Г ■ г'/f^- S?- с. ',. і' ⁴І*''

/^чг 3'.'>

— ^:: <•••/■ :?■

Поропласт поля-

• '' ■' ».^Г' - г'"' % ' ■' - ¹ •/^u■ і/', < *■ •«•¹•>• '^|'⁴■ ■ -

л’ '• V ч.’'А. -

уретановый -

3

Положить на сетду/заготовку из фо-

■/:/ <. ’' ‘Л. ' ,

Фоторезист ФП-І

торезиота копировальным-слоем к по-

' V •_ ' ■’ '.% •<

• -Л А <-•>. J

•' ’ "'V

V г • ’ .• З¹;',а 4*а \ z ? / <!._v •> ’ V *

*

верхности сетки '■ . ..

■ >.• '>'• •■'■/ •■-••■■■■' ■'

• „ _s ■'Л.?- _; *. ’А'

4

Прикатать заготовку к сетке

■ - ■>•••';' •- ^;-^s 1-’ •'«' ' ••.а--’

'• ■■■’ -Л ■ І ; •••'•• - '.'’• АЛ - ' '

Шпатель

А'""

?/ Излишек очувствляющего раствора на

л '?-?⁴ ■

7999-4530 ?

. '■ ; \ <

обратной стороне сетки равномерно

распределить по всей поверхности

■' '' іў ''

. сетки</_; ////ЖОЖ'-W: А

г а*' V АА*-»^ ^_л. к «.-т- - г *. !■---W V T>j . / Jr •, “V^V

OCT 92-4675-2000

Продолжение таблиця 2

• » .

Je операции

X перехода

Наименование и содержание

•:' операции, перехода ^: . • |

Технологи- . ческий режим

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние) У;:

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование)

,/J. ■<:

⁵

' Сушить трафарет о-фоторезистом :

Время 7л.-;/;'

Вентилятор

(20-30) мин.

"Электрополо-

<•. ^r{?-СЎ'ў '•‘Ў’У/ЎЎ 'Л>.-; У ў ' У' 1

тенце" \_1Ч\.

' 7. ’ ' у. ў у'-Ху :ў.УУу'7

Л- ■

' \ ’•' У '•• ' t' ■’у. ' - \ - $•' ^{4 т} •, У - • 1

' і/ .'/? •< >' ’’ •. / -7 ’.’У ■У’.У'У /''У ' ' ■S'i-^V'' ^J< 'У •' '.ч' '■-.'■■''г¹ •• *• " У '/' 1

У'.- ‘. г ■ У-.' У < *•’ ’•< ■; <• 7, У у•' 7?./,у..-,уу .. ,- _ч ' ⁴У' • • |

' '_ч • •••_.• ^:Л. .• и У • .ЧУ у,-'' ■ ' *' 7 •- •' "* Г

, • -і - і_А . ■> ‘7^:,^Л

Часы сигналь-; ные механичес­кие 'У У ,Ууу-..

' . ■ . '•• • ’ ’ • '• ' ' У "У

• •• У'.- • . * ! • • '-’'У, •• ••’ у-•

•' •'’*<.< ?‘^чАУ 'і’ '"у-ї •/ »•’- /.'V”г I

;.'_v’<•• ч'^:

ІТ2.8ІЇ.0І7 ‘у

✓

6

_: Отделить лавсановую пленку от _;

трафарета' <■':'77:'

у';у'‘-^-.^;/-_:у- у'У

02C

' Экспонирование ' L

• /.• .7. ;у у. .-.уУ. s-

I

Протереть фотошаблон с неэмульоиов-

< • •" • •? '• t -У У- . ⁴ '

Ткань хлопчато-

*

ной стороны салфеткой, смоченной I

■ •’ /’■ • ' .. '• . J

"у’ ''у .• ''?•.

бумажная сме-

_A<. ••

спиртом -7 :7f;-;7l

J . •У ? -- • г» '

. ft і \

шанная ' .

■- 7■ '■

• > • ■ - ■</ : .»■ ._ч,- . •■• » 1

'-7 ' '•

Спирт этиловый

V . ч , L ¹ .г J ' 7 . - ' . ¹?• ’. К . ‘ 1

ректификованный

0

У:’/;'? ■ у. - - ... < чу. „■ ' |

технический

* / ' " 'у' ¹¹г-..

Продолжение таблицы 2

1

Mt

<D : Д

О - -

перехода

Наименованиеи содержание у операции, перехода -

‘ ' • • Л ' ’ . ■' ’ • ^: '' ' ' , ' ' г.

Технологи­ческий режим

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние)-.-;:.

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование).

*

/Л'

2

3

4

^: 5

■ Нанести раствор для полирования на . фотошаблон со стороны эмульсионного слоя салфеткой ■ 'у у

І' Ч Л',⁴,'" Л'. Л Ч.

_г- s'; • ч •• 5 s.,’ J 6' ’ Л У • -' • У Ї ,-У: '■ ^:\ .

^:\ •• - ^Л>.-• /■' •: -^Ґ'У У'..-у.\

■* .5.''' •; ,'. •/••$• ч s\';, •’ v * Л ’ ’ ;•! ^v’^t 'Ч '' . ''

•' „ •''• •••" ?• ^Г’Л- ' .ч"¹'}>?'ЛУУ ■'•уУ/блУ -’У У <А ; гУ’ У

Супить фотошаблон на воздухе , /

Совмес тить' фотошаблон эмульсионной стороной с копировальным слоем на ■ трафарете и закрепить .'.У У У .< . ■ • Включить установку согласно инструк­ции но эксплуатации . . . .?.ІУ'ўУ

, ' • ' ' і _г. .. '.>ч- .■ • .< "Л-.^;; ’ ’•:' Л.'"' ■ 'У '' '

• j • ' •- s J, •••’ --J' ' s'" ’■ ’• . * ' ^?,4,s ч,:

-''У.'-’ .•■•‘••.УА ’ У'УУ-'^;',;^;

" . ‘\\ \ _г• У '• у. » 5 ..і \ / .'.У ' ч‘ " _ч ', ' ■' \ '

■ ••„s ' • У А.’у •• 'У\ ч'У-'- . ♦ У •'■ ',-У<, - 'Ууу\ .'..У -'. і V. '■ • : ^?

.' • \ . •.; •; * > і і. s J

' ^г.і •' ■ "^V'' _s^k.- у'

• А _s' •./; т; /У у, ■ '’;У': У - <:'' ’•

Время (20+5) с

*■ ■ \ . й ’, '*• ■

V ’ • „ і йь- J '' і'.;'.

А ’ У:А'?:У;|У'А

■ \■_, ■■ '■' ' ' А /■" *r■-А : ■ .f ’< \ У^Р ’

УУ^У^УАУУА;-'

Стол мон­тажный⁷ см-з ТУ ■.

• У • 7*

' ' \ ■z ”^,J

' V' '.'••" 'У':' ''' •

Остановка экспониро­вания. ■■ ' ГГ-2258

Секундомер" механический Приспособление для совмещения

’■ . ; • \ : Л ' ■ is '. '0 *

'"'■'ї •'''A.-'' - Г'' ■

' -і. j'.:

Раствор для по­лирования -в соответствии -

'С Д.2_;У;УйА-у .

Ткаііь хлопчато­бумажная сме­шанная б'. 'У Л /У

‘ -4" ” ."і⁴-' -.../ч '• '

■* J s • • і ’’ґ s- ■ ? * *

/'•? ууу ух У‘У s';'s'- "г/-

■ • '•••■•^l- • \ *; 6 . * ’!•' ■ У , :' '

< Продолжение таблицы 2

f Ж операции

# перехода

,У> Наименование. и содержание . ...

.УУ\У;.операции/ перехода У :рУУУ;

- ' , •' _s ..■■ ",’■'••= ’?■ '• ■>••ґ'ⁱ-' Y'.t.*'•■’•■ ⁱ<’*•■'■..'■? "•■ •^ч /

'•••. ... ' С'і w.*> •'*■':■■■' у, ' <• у V Ґ'■?•'.''• Л?.-^zі-''¹’ /с'

Технологии ческий режим

Оборудова­ние (тип, . наименова­ние) уУУ

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование)

6

Установить трафарет вустановку "

• _Pw. . _r +-Y-V г. 71, f R Ч Г. 4 W>.,F4 art ■— Ч'И ^а^-

•'Л.''.. » "'jr ■ S'" У .а' •'

/^?l’'VT'J’;.';’-..';-"

экспонирования фотошаблоном к источ-

■^{; :} ■ У■■■.

\ ’a¹"-.f ’■- •! У .'• -'5 •'

■ *■' ' ^Л "'ТЛ' •• б '.х 2’Р' : '.

1^р ■ ■’

нику освещения

■ \г'..

• >.' ‘ ■ у.¹ ' і '7»

V ’ \ . • '

. •• S- '

7

Экспонировать фоторезист ФП—I ■

Время■■'У,

** • ^r ' ' . / '

■ ' л * А;-: :• • .

Секундомер ме- ' - •*

■ -а- •..:

Точное время экспонирования подби-

(3+0^5) мин

ханичеокий С—II

; - ■/ ■ у/у^Л'^:у у/ ^уу/^л

рается экспериментально ■'. ■ "• Ту.У ■■ УУ У

• ^г'У.'^Л!У: У'-УУгУ.'

<УУ' •'?'.

8

Извлечь трафарет с фотошаблоном из

Ч , ' . •_'/ ■ 1’ /' ■ . . •'

'■ ’ /. . '■■■;■ г

У; >■.

■■

025

установки ’’У?

Проявление : УуУУУУАУ

У/л-^? /-.--У"

г ..'-''Г.', •,•; .'••• •'

••. '• '/.•••• а.-у. 0 • ''.Z • <•

X

Поместить трафарет в кювету с водой

ВреМЯ . . У:

Кювета фото-:

Вода водопро-

j ■■ ’* •'

У ' W • . * . • ' ' *Л' ’ ^{; !} ■ • ..- . • \ ' , ’ ' ч' '

(3+1) мин ' :

.графическая

водная проточ-

5 ■ ■ ■

' ' •_ '• Ч • 'V ' ' . <' < • ' * ’■ •’ Ґ'»' , • • '■/' V •' •• . ,

Температура

у?, уу.

Термометр .

пая у

■ Т•.’УУЛУ': У-УУУУ'У:У,.\ '■ -У,- •

• ’ Л-. • • _?:.v? і Л ’’' б <У'\. і* r^;'Vv^:'- Т’Л’ ? . ?* Т- z "

воды .

ртутный

• :ЛчУ У...;-:; -'V- -. Л- 'УУ '

(204.5) °С

стеклянный

ч •, _ь f _s 'sL' f ⁴ / ilV⁴ 'v <•' ’, ,_s'*'\ • /' ’ •. •*•

■ У'У. У' У'

.•••'•■••У / ■ /

Секундомер .

механический