---

Область применения сетчатых,комбини­рованных биметаллических трафаретов

ХС’ЙШЙ ' V ^ост 92-4675-2000 •/<<

>’ і z ’ <к . •. '! '<• ' ■ • • ' / '• .. • ", ■ / ,^у: • Л⁴. •'

' С¹" ; ' і^{: 1} ' '• :■ •' , • . •., ’" ,⁴ *

»jJ- ' ■■ 'г •/ • »•»' * »• •» '• > л • , ■ •, ". ' /' , -_ч' _t"' _s ■- ■

Приложение Д ■ : / - 'Л-

(обязательное)

■ j Инструкции по приготовлению растворов . . ?■;. .. ‘

. •» * r t ■' • - • -^r *. . - . •;, • -Л ,_s • „• • : _s ' •?

ДД ,Инструкция I . Г

Д.І.І Раствор для обезжиривания сетки .• ■'

Д.І.І.І Состав раствора: ■ , .

фкислота щавелевая ГОСТ 22180, г...,25

- вода дистиллированная ГОСТ 6709,, мл.. ........

. . ■ ■. ':'л Д.1.1.2 Приготовление раствора ...■■ ■ -. . _;у. -

У■ Растворить. твелевую кислоту ,в дистиллированной.. воде

‘ Срок хранения - не более 30 суток. . j'...

. Д.2 Инструкция 2 ..

^2Л Рартвор для полирования фотошаблонов '

■. >'У. Д.2.І.І Состав раствора:

• - воск пчелиный натуральный ГОСТ 2II79, г.................... 10

- яефрас-СЗ-80?І20 ТУ 38.401-67-108, мл...................... 100

Д.2.1.2 Приготовление раствора s''?'-S.

Измельченную навеску пчелиного воска залить 100 мл нефраса.

• Раствор периодически перемешивать до образования однородной ‘ЙЙй массы. -Ф-? Ш

Хранить раствор/в .вытяжном шкафу в сосуде с притертой пробкой .

не более 30 суток. ./..?• -у - J

. Д.З Инструкция 3 ■ .S’, / ■_ ■:/' '■ ■ ■

,;^;с. • Я".'-; Д.З ДРаствор для сенсибилизации пигментного слоя :7

•W:Д.3.1.1 Состав раствора:

аммоний двухромовокислый *ч.д.а^п ГОСТ 3763, г. ............. 20

< > вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл, не более.............. 1000

Й ■: ййфййЖЙШ ШІЙ

OCT 92-4675-2000 'J

' :. . '•-" ^; г.,’-. ' . • ■:„■•■•’• ■• ■• , ' • •/• •У "" '</• • • •’ .-y ?’•:• У 4 • ’;•? ^; 4

' ' ' ^{1 1}t і ^:

' . ' * • * •* ' ^r »_si, 7. • - ⁴ • ' ” і ' ' . ■ ' '> '• J ' ' _s г, • ' '-сЛ' ' і

у-.у4 Д.3.1*2 Приготовление раствора ■ ■ '4 '4'^/’-:^

УҐ7 Навеску двухромовокислого аммония растворить в 20Q мл дистилли­рованной воды и довести объем до 1000 мл. Раствор профильтровать и хранить в сосуде из темного стекла при температуре* 6-8 °С. 4 РХ."'.-

.Приготовленный раствор можно использовать 10-15 раз."4 ХХХ ,.* ■

уу Д.4 Инструкция 4 . ,44

Д.4.1 Раствор активирующий _; ' - у-у;- '■■■ "...[ у. ■*. у'.'ууХХ^;-/у’-.

Д*4.1.1 Состав раствора: уу'.. у у ;у а-4-Х 'Х;4'4 '44 4"- ■ кислота соляная ”ч" ГОСТ 3118, мл ...........X............. 10 X • ^ 4 4 - вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ..........'1............ 90 444

Д.4.1.2 Приготовление раствора

Соляную кислоту осторожно влить в стакан ВН с дистиллированной ’ ■ водой, перемешивая стеклянной палочкой.

; / Срок хранения раствора - не более 30 суток.^: <■

' Д.5 Инструкция 5 ^: -7

•■•■■■/ Д.5.1 Раствор для снятия пигментного слоя ■' ' • . .у^:'<:

■'ўу-Д.5.1.X Состав раствора: ' "^:-^г?• ■?■■■■

4- натр едкий ГОСТ ЇІ078, г .4.........................у..... 200 yyW

- вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ....................... 1000 •*' Д.5.1.2 Пр>иготовление раствора • ; *;л; ?Л^;* ■■ ■■■?

Навесу едкого натра высыпать шпателем в стакан ВН с дистилли- ' у •' рованной водой при * постоянном перемешивании. ’. ’^: ? -■ -у.'* у?

Срок хранения раствора - не более 30 суток.^;ууу;у^

Д.6 Инструкция 6 у -у* ■ ■ ;'/?■ ' уу у '^:Н;'у4у у^: ■-/.

у ;: ■ Д . 6.1 Рас ТВ op 'для очу ВС ТЕ ЛЄНИЯ фо торе ЗИС та у ?• ■„ ■ ■■< ';. ■

Д.6.І.І Состав раствора:. . . . ..yZy.; . . ^у 5-Ш

-■у/ - синтанол ДС-10 ТУ 6-14-577, г ......

- аммоний двухромовокислый "ч.д.а" ГОСТ 3763, г ...^4і;'.;ї.._л:/.І6_;уУ^'4AAaA!A^;aA - -Л АаДАА/ ^0СТ 92-4675-2000 ;' аА'дААа

/.' •. / • •' _f ,' . •» --•' • г. ■ -.* - .. • ■*•■■••» * ** ■ ' ' ' •* ' • * * * * ’’'•' ’ ■ ' ^J * • ' ’ • * .' • * •“'■*■ ' ‘ f? ¹ л’ ’ • :

. - года дистиллированная ГОСТ 6709, мл....................... 1000

ОлЛ 'Л Д.6.1.2. Приготовления раствора . А,-АаА'АдА

. Навеску-синтаиола растворить в 10 мл дистиллированной годы, на­веску двухромогокислого аммония растворить в 200 мл дистиллированной л воды. Затем приготовленные растворы сйнтанола и аммония смешать е до-

А< вести объем раствора до 1000 мл, доливая дистиллированную воду. Раст- ■; .вор профильтровать и хранить в сосуде из темного стекла при температу- ||ре.у'(6-з) ;°сАДАААч'</ДАДААААААУААЙ

A-ААД АА'Срок хранения - не более 30 суток. /■ .ДА АД;А;Д‘:^:Ааа ; А:.Д^ч

“Д Д.7 Инструкция 7 . Д'ААД ■ Д^?<'А ДДДДа f-.’-<Д_: A

.• A. Д.7.1 Раствор для удаления фоторезиста ФП-І Д:A

^Состав раствора: Д •

Д - водорода перекись ГОСТ 177, мл 90

.-вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ....................... 900

Д-7.1.2 Приготовление раствора АА<уА;А;>А_>:.- >'Д?АД:^;ААа'^ "ДАаА-'' Отмерить необходимое количество перекиси водорода и смешать его ■ с необходимым 'количеством дистиллированной воды.

А - ; ; Раствор хранить в сосуде из темного стекла с притертой пробкой А ‘при температуре 4-6 °С. ;

■ Срок хранения - не более 30 суток. -А/^: А'-'-^АА./

'■ I ' ■"_s. ■ •' ■ ». ■ . • .. _% ■. ; • ' ■ • ' ^ч-, •- • ? ’ '; • ’ .’"L ' Ч : Ч' • ^г'^:. ^г’' ' 'г s' » ^v '

^j ' г •.^Л - •. ’■ •, '■ ■ • . . V' •. •.;»..••■ ' ... ч . -.'У. ::, ■ >. ■•.••. • '■

А-АА Д.8 Инструкция 8 ■ ’<■ ■ • ■ л "/А'- '-'А'-

А . . Д.8.1 Раствор для проявления композиции "Полисет" А. ■ A/А '■ Д.8.ІЯ Состав раствора: •

средство моющее типа "Лотос" ГОСТ 25644,рг................. 20 : ■ : - вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ................ А...... 500

АА-ч Д.8.1.2 Приготовление раствора А А д,/;: Аа-'ДАД ;АА'А;-А:_;._:.А- • В термостойкий стакан-налить необходимое количество воды и наг­реть до' 50-60 ®с. ААА-АА АА/'А-аа-аАаад аАА' ^?'АА'А^ААїААаА:АА. А Растворить моющее средство в воде при перемешивании, АА ;.

pH раствора долкно 'бнтьМ0гАлААААААААчХАА5ААШ<ААААААА;АА ААЙААаіА-д'.Іч^

pH контролируется индикаторной универсальной бумагой по.;- ту 6-09-ХІ8І./;>>; ;;Ж

Раствор разового пользования»

': Д.9 Инструкция 9‘ _с.

Д.9.1 Раствор светочувствительной эмульсии ■ ^:<._;-

Д.9.I.I Состав раствора:

' - спирт -поливиниловый ГОСТ; 10779, г .. і;...;......... ♦..... -80-100 . ?

- аммоний двухромовокислый "ч.д.а" ГОСТ 3763, г ........... 10 ;

• сманив атель НЕ, 5^-ныЙ раств ор ГОСТ: 6867, мл ... . .. ♦ J... .10 . :

• спирт этиловый ректификованный . ■ • ;Д'

■ технический ГОСТ 18300, мл- 50

- вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ..................... до 1000

Д.9.1.2 Приготовление раствора

Навеску ПВС поливинилового спирта залить водой в количестве ;Д 800 мл и оставить, набухать на 24 ч. Емкость с, набухшим поливиниловш спиртом поместить на. водяную баню и выдержать 6-8 ч до полного раст­ворения, периодически помешивая. Охладить раствор поливинилового • спирта до (20+5) °С и снять с поверхности образовавшуюся пленку. .г В 200 мл дистиллированной воды растворить навеску двухромовокислого X аммония. В 50 мл этилового спирта влить 10 мл-5 процентного раствора / смачивателя НН. Полученный раствор влить в раствор двухромовокислого ’ /, аммония. Влить смесь в охлажденную эмульсию ПВС. Профильтровать очув­ствленную эмульсию через 3 слоя хлопчатобумажной ткани. Для удаления .... пузырьков воздуха дать эмульсии отстояться в течение 24 ч. Хранить j V эмульсию'в темном месте.

. Срок хранения - не более 30 су ток♦ ■' ^: ; •:.-;/• ’¹ ' ■ _;

". • Д.І0 Инструкция 10 ■■

Д.ІО'.І Раствор красителя < - ■ Д.10.1.1 Состав раствора:

- индикатор'метиловый фиолетовый ТУ 6-09-945, г ...............1 ".=.; - вода дис тонированная ГОСТ 6709,^: мл ................Ч.... ♦. ■ ■ 1000 .•

;Ж<- : . Д.10.1,2 Приготовление раствора -'ч ч^;Ч ч-Ч

Ч ч; / Г. Навеску;метилового фиолетового индикатора растворить в 700-800 _Лч

Л?:. - мл дистиллированной воды, довести объем раствора до 1000 мл и про- ::л>фильтровать через 4 слоя фильтровальной бумаги. <’;Ч>-ЧЧ.;-;ч_; ?Ч.;Ч Срок хранения - не более 30 суток. ; < /. ;чЧ;ЧЧ*'

• Ч'^Ч *•.."• -л ^: Ч://'? J. • ^:Ч_:->Чу. Л. ^:'•Ч; ЧЧЧ’.^ '?>’• ;??•/?Ч^Ґ; ЧЧ'.'Ч Ч'Чч'Ч''.

Х.П, Инструкция II

У;Ч;Члч/ Д .11.1 Раствор для дубления .; - > .. > ^ч.ЧЧч^:- ’ ■Ч ч.-: ?

■>ч‘ ??;.. ■ Д.II.І.І Состав раствора: . ч. _ ч.Ч'--

Ч’ ^Л - хрома (УІ) окись ГОСТ 3776, г .............._v.............. 50 .4

- вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ........................ 1000 ■ ч.Ч? ■ ЧЧ',-Чч-- -Ч Д.II.1.2 Приготовление раствора ■ ■ ■ ■■■.' -’Ч-ч'.

ЧЖчч’уЧчч Навеску J окиси хрома высыпать шпателем в стакан БН с диcтиллиpo- . ^; • ванной водой при постоянном перемешивании. . . ЧЧ^:_:ЧЧ' "-

чЧ^:ч<?Ч- ч₇- Срок хранения - не более 30 суток. / ■■■■■ ЧЧ^Ч'/Ч- ? ■■

,;;;ЧЧ:Ч<?;-^: j ■ .4" ■ ■ - ■ ■’ ■ЧЧ-ЧЧчЧ ЧЧ;;ЧЧ;;ЧЧ-

Д.І2 Инструкция 12 ' -Ч'Чч. ^;'4?Ч._;.:;Ч--Ч-

Д.І2.І Раствор для снятия фоторезиста . . . ч ■;

:-чч ■*;■/'?’■■■ Д.І2.І.І Состав раствора: ' -■ -

^"-перекись водорода ГОСТ 177, г ............................. 500 >

-чч? • і ■ • ■ '■ ■*?■' ^; •' • ■ ’•; ’ ■.

вода дистиллированная ГОСТ 6709, мл ........................ 500 :>??ч;'

'чД. 12.1.2 Приготовление раствора ■ - - '■ '■;_:;... • / . • / ■■■

‘ ч • • Влить перекись водорода в стакан ВН с дистиллированной водой - ^; '-.>ч’> и перемешивать. .? . ■, ’ ■., і ?■ ч^;ч/Ч'ч;'- ^; чч-^;ч; " ?ч

.?• -;._г . Срок хранения -.не более 30 суток. Л _;'Ч'Ч ; Чл :-.'Ч-.гЧ-_:?. ■_>- ?ч; /; J ^: ;:?Ч<Ч'-^л ■ ■?■■■■ Ч?<Ч;;ЧЧ чЧ/ЧЧчЧЧ-чЧЧЧЧЧ^^ ч'.- "■ Д.ІЗ Инструкция 13 ч'''Ч Ч; ч < ■;..

Д.ІЗ.І Раствор для травления . • ;Ч?члЧ>

ч.. . Д.ІЗ.I.I Состав .растеора :■ ■?;■'..'ч ;•' ■;■ ’ ' >• _?■■■ Ц:_:/'; ■.

- хрома (УІ)' окись. ГОСТ 3776, г ...........................Ї. 450 ^; ' - чЧ 'і-'Ч/ЧЧ??^ чЧЧчЧЧ?ЧЧ:;;-

: ААа лААаАА- OCT 92-4675-2000

'.■''' . ■- ■ • • " . . - г ■_ ’ •• ч . , • : . <: J

и . ; • ’••'►'■••• , • .V • • ^г . '• •■ , • . - ' ♦ ' ■ ’ *_•*,’ f ,*•*.. ¹ , ' ^? .* ■/•.■■■; ' '*■’ > 1 * ' ' ' f " ‘ ' '' ' ‘

. - кислота серная ГОСТ 4204, мл . ♦. ♦ ♦.. ♦.А 27 •. А •••'<

- года дистиллированная ГОСТ 6709,, мл . .. .1.......... . до 1000'<-<■

Д.ІЗ.І.2 Приготовление раствора

Растворить в воде окись хрома. В водный раствор окиси хрома '<■ ; ч <⁴ влить небольшими порциями серную кислоту, непрерывно перемешивая.

;Раствор готовить в термостойкой посуде’/.А-;.? A A

Срок хранения - не более 30 суток.^А/АА-АаА.’А '^; .^?A'AAA.’:W

''і - А*'• ■ • . .-ч ^а " -•••■■•••. А ААуАА,?.'.^; А/А A AAAV А А<Л'^ААА;А-'.'..’''*⁵-' А< - <■.;•■•.:■•'"•• г " /. . ■ ■.■■' ■ Приложение' В ^; ;_г' ■

' (рекомендуемое)'

<' ■ * Г и. . . • > . ’ lit¹,.' ► г г * • . as ' й^ч > •■ . f _t г а ■ a w . * • . * ».*.•••'♦•. * • • аг / ‘ * * • * .’ •* ^{- :} ’ “■ * ¹."г* * *■ ■ * ' > t

.. •. Фотодолимеризующаяся композиция, применяющаяся при изготовлении

< ,■ /; сетчатых трафаретов для изоляционных слоев

• Е.І Состав композиции: У'ї-Х

- КОМПОЗИЦИЯ 'фотоподимеризующаяся ¹*полисет^,т, _ ■■/■. ; : ■■ . ; , :

МВТУ ie-3ld_?r..............100

- Фотоинициатор УФ-отверждения, ТУ 6-I4-3I9, г................. 0,1

2.2 Приготовление композиции

наверку композиции "Полисет" добавить необходимое количество фотоинициатора из откалиброванной капельники тщательно перемешать ; Пт/ стеклянной палочкой.

&W Полученную композицию профильтроват^?-% слоя капроновой сетки.

Приготовленную фотополимеризующуюся композицию хранить в емкости .из темного стекла и использовать не ранее, чем через 24 ч после при-

I r V I .. , ._R„-S,-. ,v. s.

■ Л.: ‘ ' ■’ •*.:’• • : ' ;':.••>• • •''••'•" ’-.v.-.- " ⁴- 0 ; A' > " ' / У' ' ‘ ' .' ' '' A' •’ •' " ’ >, ' -^{4 ?} - • . •’• ' • Г' • , _s. ' -■■''■•• ■•;'/

. ‘ ' • ’ ’ ' ••••■'••:'•• • ■ •• -J' •'•• ■ ••'>•• '<>.<■ •'••/• г, ■.,-_ss.- •' .’.'■'••••• .• ^? -.-ч •■''' ■ •••'.■ /

621.3,049л7.776.22 (083.74)

' .Ключевые слога: микросборки толстопленочные, типоЕые технсло-

.; глчес кие цроцессы, • трафаре ты сетчатые и Симе талжческие /■ . *

МММ -і. є/