Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы изготовления трафаретов

■ •••-’

.' 77 'А-.-:';>;.■?.<X S1W

Продолжение таблицы 4 '-^л -

_: •' ■ " • •?': 'А

^л<’' ? ^:Л^Л’> ''Л*.;.''.>>'?/

-4 S’’-/?-./-' '’'.'.'А/' '> I?' ¹

• ₄ • , < ‘ ‘ <• ; ■ , V ⁴ . '.'А/-

""-УУ ■ ?'■ ■■■ ^J 4,1..' •’ '■•■j :^Л --у,;

у Y s ._кЧ” ;Г ••/.А '

»• ■ • ,"; ■ -. ' * ^операции

№ перехода

Наименование и содержание операции, перехода ;

Технологи­ческий режим

Оборудова­ние (тип,, наименова­ние) <7

Приспособлен ние, инстру­мент (тип, - наименование)

Материал (наименование)

.••■.•••'•’'4 -.. •'•* '/•' \.Ч 'J ,<•'.-• ■ 77.'-??77' ^А.-7^7.-7'<:■-.<<л77777-'•'

• '--.^J •••’ •

' ". ' . . • ’Л'. ' ‘.-I

■ • . ' : ' ^Г' •• • ¹ ■' • і' . . • • •' ^J •''■■*': ■: « '. ‘ •' ' '• j ' і , :*, ■ ■-?»; .У ’

^: . Л ■ Ч-. ^: ' ' ?• I'- "?■ ':• V'-*' •’ 7 ■ ' А'"'-•> ■' /■•

■; 7 /-;■ Ч 17 $ ‘ \<> - )•’••• < *.

Тер?/, оме тр.

•■. -.7 • ■' J-.'•^< •

л¹

,,•••/.■

ртутный '7 =

- ■: ' ' ' \\^л‘- • • ■

^r 1

'••• J. X. .

••Уу:; '?/• ъ.<>.

стеклянный

'. +, ' А-. 7; ' <’

' 5

- ' .'■-■'■■'■ '•'.•.••’• ’••• -'Л: . у У

,7 Промыть заготовку водой .

Время

Кювета фото-

Вода водопро-/

(2+1) мин

графическая 77

водная проточ-

■ <

■ ■ ■ ■ 7- .-■■/ ■*

Температура

Секундомер 7

ная ■

■ ■ .^z •-. " / •'.'.^! • . <• і *•.'? ⁴ / -,•*■'•. - •■' ' * А' ■ • '•' '■•

' ¹ ■ - Л ’ • ? ' ■'</•'' • ⁴' ;_v. •* •*•*•’ е ' * ••-. '.. '¹ ' г?р'. у '• • '. -л

(20+5) °С _;

• •, . • .. '• ’

механический

... ■•-■..■ ' >.У_;' ■'

•C-II

f .' • t ■■, ? . -• •■■/Л,'- ,• >'• ^Ґ 'с •■•''-• • •"

<••••' Сі Л-. •

;’^лЛ^: г’-7<Л^::;

Термометр

• ■' ■•.'•. ■ .^:j' ‘ ''' л-¹.: 'Л *■■'••■ : *• С ‘ 'І- г •'-1⁴/ ' ?-• ’fл

■, , ••■.*■ ' , 1^г. -J-. s

ртутный ; 7- Г-

-: '■■ - ..•.••/,’•.• ' ; ^;_ч . '. .• •. ' •: • _г':^J, '•• \ •/

стеклянный

6

■ Сушить заготовки до полного’ высы-

• '? • / .• ;•• •

Вентилятор

•" •”<'^:-7л7 •

хания 7

.• V •>. ? ■'

”Электрополо-

і .< \ 7-' ' * . і --і/'Л < і'•■>•■’• '^,г ?• •■'' ’ ⁴ 5’ ‘

•' ■„ _г J •, / \ •'. - . '/•- /' ' ₄‘V „ ^х A' • ... '

. У■' • • ' ^л' ■ • - ■ ’ « • . ^: Ч

теине” 7 у'..' ;.;,

- А.'' ‘ ? / .Л '•.•••' • •'7 ₅ • _г'..^:

ir .■ ■ А■ - , ■^у і ■ .>.’Х г ■ . ■■/ ■

■ Продолжение таблицы 4 '•^лЛ;'

у. ^ґ;у'/'■ -. <

;-“/\ч/У

у

і $ Г. ■

• >; •♦•

>'.<■ ■

X '. ."

/ ■<

й операции

& перехода

Наименование и содержание

■■■;- операции, . перехода ...

Технологи­ческий режим

' . \ у- ул •

'*■''\ўі < /

Оборудова­ние (тип/, наименова­ние)

Приспособле­ние, инстру­мент (тип _z наименование)

Материал у (наименование)

L".: ■

ку- |/"

1

L

|.

І-.- t

'4' .

f'

І’'

■ І

■ f t Л f

7

8

9

10

/ Произвести сплошной визуальный ,. контроль поверхности ’заготовки .

Поверхность заготовки не должна иметь царапин -././. /’/у.

’/ ■ Элементы рисунка платы должны ' иметь четкие и ровные края ♦

' Дубить заготовку ' .

' ' ^s •."••* ►••■’7 •/'■ У-. -.'г' ■'/Ч '

•• у_-; у •/ _{ч л}. ,у ^:-_:г ^у/-/•^•■^.у.у.^у'-,/ ?у/<-.\. .\

* /. '^{1 : г}- • *•- '■'■' •• "Л'. - У У- в /•'• У/ ■. ’ •/ у '¹ у

у Охладить заготовку на воздухе у Произвести сплошной визуальный у контроль поверхности заготовки '■/■■ У/ Поверхность заготовки не должна -у- иметь царапин . • ’■’

Элементы рисунка платы должны же ті

• •, <j.' ч • ї , ■ • у. •• :

Л. "= , •' '•' ’у '

' ' .‘-У ' '^ч' < “ У >^{л 1}

’ •’••'у.^<.-У,-..t'^!

Время у/'>;у (55^5) мин Температура

<І50і5) °С

• ( ■ • ■. • к* . • • . ••■. . . '.'г • .

' •' <'■' -.••■ ■' ^{: 1}

\ ?' ' V ' 'V м "?■'•

л-?' Ї: •; ' 7’'-^Г-У •:•??' •:''' - •'

ч • V ’.'А, г .

’ •уч':•< •л/-'' <••■'•

/ ../.у.;\//-.У У ■ '-■"'л .і■'.;• •' ?•

¹ '-^J s ^ч>- у

ІЕкаф су­шильный

2В-І5І

'• ■‘л ул \ '

• _s->Гл¹ -І\' ^ґ'’'•; ’‘■'''і

• •' л-'"' '

Микроскоп. у . у МБС-9 о увели­чением 16^х

Часы сигналь­ные механичес-

^IGle . , ■J?P2.8II.OI7

Микроскоп /■ < МБС-9 о увели­чением 16^х

• . . . • •- < ■ • > >‘ 14-

.xrj v •/ <■ ■*,

у,- _;у. : У г'У-'•-•у'

• • .-_?¥ '-..С.'.' * V і, 1 ... Ч ■■ ' •,'/ . .? • ь •

г ' ■ -. У '? <. • •'

•• \ ■"■ ' : '• <* ' \ .' ⁴ У? • У

• '-^£'4ч >

У V ■' У 1 >•

: У-. .у/- ' *•/-,

'• '-^:'г У V ,• ? У-/., '< .Z

-. ■ у . •.⁴ < \ ■•_/■'. \

''*•. ’’.'Д •,/.■ ./ '• /•’/..

• : ' ?•/' ^J ч’/' '

; л- • ’ У У f '•* ' <'• /•'.'у'-ч'

' У". ,У' ' . < у •' _ф<7' ’ j •" ' .'

. {'--'О';»''-; • •• / У’'- ' if;.. ’VГ ■ чб ■" •• ’ ••

h's. • » ' '

■} st '

r .

и t *

ІЇ

!

O> О

Jfc перехода

Наименование и содержание операции, перехода .yYYxY-

, ’.¹ у- f' Ч\ -•■ '•Y Y - ’>■ *Л* її Y' * ‘Y1’• ' Y >■. *- ’

■ - ". у •:<*.■■ ₄ ’•'■■.■' . 7'і-.' • ■' ‘ ■' ■'•• '* , ¹

Технологи­ческий режим

__

■ ■ _т '

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние) уу.

Приспособле­ние, инстру­мент (тип, . наименование)

ў—

Материал (наименование)

f ._■*

. V .

Г-^;'.7

t, • ' ’ >

K.f: ■

ir ’ Yv

СЛ VO ■ ' • ¹

025

030

¥

-четкие и- ровные края

- s 'ч • ; г \ ' **•' .-.у 1* -"'.'-у.-л», 7-'"у л ■■'< ■ ,уЙ'

Никелирование заготовок - по...

ОСТ 92-1701

Удаление фоторезиста . .

•Удалить фоторезист с поверхности

заготовки

: ■/. ' ••’; у" "у.'Г.'-у. у'Ул' •7'".’

. . ■'г- '• '‘V- /' ''•• ?7 ^к'- . •*У-‘ '■ ’г '^ґ'-О" ' '’’З7 ^: '•>' ¹

’ ' ■"_•• '.'г,"?-'' , , •». у •. ' ? :, .' •, ■ V. - ? ■’. ', s .• -у ■ '

' '• • у, ’• • /.' 'С \ ' ■' '

■■ И-' YcYYY y ¥Y¥7.-YY Y .Y,Y ' ^v_f Y

' ". ' ^T' ■/;? ' •?'. '-Л,У •'• •Y'- • -'г’¹

' •'' ’ '/ ' •/ . s ^,Y '■ Y • 'v' ' '--у •Л'-;ў/.,- ••?,' > .?• у/';- 'V

•- .• . • . t ^f •• _k і -• >• '"-i '•

•■'y ч у :/£’•> s/.y 7'./і 'f.. j • v'^:\. '•/

’ ' '■ * ' У - г” • V z ”7 ' s s' *' ? %*•’• •’ '^ч'•. ' - ''

\ '• ' • '• •• Y ’•' • ;V;\' >'’ • ■ ■; •: ’: >⁴ ’ V’ /Л V. 7 •. •; •• ‘'

>•" ^г 3 -⁴ ў '■’ _f ■ •"•Ў • і ' </''

■\ ;• 7' ' - у

.; »■’*¹ ■'

' • ’ ? ?^J *'■ Л-‘; х* ■' • ' . • \ / ¹ ■"

Время 5-Ю мин Температура раствора■ (55+5) °С

L 7 у . 's ¹ ,■ ^г' ч ' •

■ • ••' .'? •/ . ' <4 у? • ' ‘ •

Шкаф вы­тяжной

, ’ ... •.> •:' ' р

, ' . ■ ¹ s.’"/⁴ t ; ч*

'•/ ' ?’• •' - 1 •?. ■■■'■'■ '.'■''‘г ■' ^J 7- у у

^:.’'-7'?'•.'' '•'. '*•• .• ?'■.• •> у-;.

•'. - '1,7 .

4. '■ :• -У.../ :

-• ' , ' •^J • '.•-••■ -⁴ ‘

Кювета фото-, графическая Часы сигналь?* ные механичес-

• кие '.гу’ТрРу;

ГР2.8П.0І7

Термометр ртутный стеклянный -

\ zi'"' '■'Г^А'Г ? •■'. ''У-'

' '*• .■-. \z’-'!!*-бу:. s'p'.'-.-

•'"7. ‘у '.

' Раствор для _;: снятия фото- < резиста - в соответствии • с ДЛ2 • ,

'• .. J К*.. ' ' > •• . J \^Г \ 7 • . ’к

у . : , . ,.ч ' ’ ^:' f. .. , ' '•'■• . *

' Z. ' >.. 3 s' ' '..'

■<; *.• • '-і •• -Y.^г\ '

• . •/. И,".' .' • : :■' Л\Б^; Ж

L 4__У7^? А-77' ^;,;'77 7.7? • ’ •■ ■■■■ ■ 'У 7 ^?'. Уу.?'. У’- - у < - - W--

1. /у .^: Продолжение 'таблицы 4 ■ ^: ,'^;'^Л ' ^Л;' ■' -

ГУ? '

J

4 Ї ’•'

!

гё операции

;> перехода

- Наименование и содержание ■

'.Аф/ ' Ьдерации, перехода А

■ ' ■ ^: ■ , - ' У; - У, ;.'•?? .■ \ УЇ

'■ *' ' • '-?ф А’ А АА.Н ■''■■■■'' А ¹' А'А ■•v ' • '■'>'■ > А'А ' '

• ^ч- А * г.'''"-'- . ■

Технологи^ ческий режим

Оборудова­ние (тип,. наименова­ние) • -У

Приспоооблё- , ние, инстру­мент (тип, наименование)

Материал (наименование)

1 J- - - ' ' ’

і

2

А Промыть заготовку водой ;;у;х;уД'.у_;><'<.■

Температура<у’

.Л ' ⁴ А..' ■ ■■ . ",

Кювета фото-

Вода водопро-

В0ДЫ^:,А;АуА;Уу'А'.:'-

• ^₽--А. •.■■•'. '■'.<■ с

графическая■. '

водная проточ-

• '

(40+10)°С

Часы сигналЬ”

пая . ••■'. A; A -/-..'^: -А

•.г ^Т

Время. 1-2 мин

ные механичес-

У'.' ■ ' ■■■ ^г.’”7 ..< J.

і' ■'

<< г'

/, </• ’ .’ї *'•^,v'»А А;/ і-' а '■ Л-? '*• А-'ААА’-' /А ■’.<• '•

' Л.’; Д'.*' ' А' .

кие уЙ\у;<Афу

•_ ^: У ’ ,'

. - •• • 7 А- <•' -⁴-л-- •• > А'' у

■у. у у ф/ 'І • у _? 7+Ф; 7 ‘а 'А'.у;А АА "у'А' <;у , у у У ф /

''' /. А * А. А » ’•

••.■/ • -'••• А.’/'ч •••»"' •

ГР2.8ІІ.0І7 /А

' * ' ”•»'■■ 7 \ '? ^s‘ ' - 7- ’

’ /•' ■■■ • •'

_ . ■ '^:'^;■" < > АА'А - \'7' :А<А^:;-V-У-фА■Л-'

А А*’.^х ' •<гг ’••• '•'•• А • $ / '<

■ У \ .

Термометр I

^{,Ф 1} •.* - • : 'ч л.' !/•,

*.

• • <т: у. •••..•.:?:-,•■'• 2'А<

; HV. < * ' .•

ртутный _ j •

S* • ’• :• •• .z •’ ;> .-, \ ь; ►.-•. + • +

•>

V > ■у'-.і у/' ф; ’■>••''' А A AAA*. <■ "-А •-^:’..-

7 7 7 •■- ^г<- •' ■' > ; У- А - '■'

стеклянный .

• • . •;■''■ • У • .".' ' • X/ 7' " '

3

Сушить заготовки на воздухе _; .'у А

Времл ,

ч •: <■• '. 7'

Секундомер

. • А Ч .■'-.■.•/• Г-./ -г

■

(20_х5) °С

механический

• ■ • '. 'у/ Ф' • '<• -^v ■; /

•'• т • S. ?-

\ Л-<’4' ^J ' "

: ’ у 'А,- _к‘-

, • ; ••? ’..7ч'. / •.,• ,

С-ПJ

4.

.•■ Произвести визуальный контроль'

ч.-У :А'7 '•' '

-А ^ф/-; А -

Кисть беличья

Клей АХ-20

■ ■ ? ■■ •

ч ••

на наличие дефектов и,при необходи-

•’ ■ 77'; >■ '• •'• 7. \' А.:: ■ • •

j ’ ■ •

•дли колонко- .

■ ■■- ; ■Уу.,?--'У;-/+'^,У7 ..

• *

мости,отретушировать' . \

.7 <« і

ван’}? 3-4 ., 1

'.У А л ? _:

., сг

ч

•^к

'•'■■■ ' ••

гА' 'А- А" '■ ':АА?';У А-^?' А''''А Ау А А

:ДАуА -уАуўАа

»:*•.. • f г •» I

•;.'X'_ч<. • -•»■ •-. •■’У,- / '.'••• I^і

■,/ ^; V-'" 'У-'--7 ^Л 1

<■; AVi- *

'. А ..' '-■••• ,•,'.>'••• • . v;-.-’, ■. -у • А

7 А ’А А А А' А ■ ^7 у ':^; ..7 .s 7 .77777

-'7*.:.' V .'/Ул л - 7

' Г- ' ч , ' ' • ■ ■ S Т-' - • •