Познака (низька роздільна здатність)

Докладна познака

Назва складника невизначеності

Коментарі

i/sp

Паралельність оптич­ної паралельної плас­тини MPEsp

Діаметр оптичної паралельної пластини становить 31 мм.

Застосована площа має діаметр лише від 6 мм до 8 мм

Uop

Регулювання до першого наконечника

Припускають, що максимальна похибка регулювання становить 0,5 лінії

yRR

Роздільна здатність

Роздільну здатність визначено до однієї лінії



  1. Перша ітерація

    1. Перша ітерація. Записування й обчислювання складників невизначеності

и паралельність оптичної паралельної пластини Оцінювання за типом В

Точне значення MPESP ще не встановлено. Його установлення — це одне із завдань бюджету невизначеності. Спочатку MPESf установлюють до 0,05 мкм для площі з діаметром 8 мм у середині поверхні. Граничне значення становить:

aSP= 0,1 мкм.

Припускають прямокутний розподіл (Ь = 0,6):

uSP= 0,1 мкм • 0,6 = 0,06 мкм.

и регулювання першого наконечника Оцінювання за типом В

Припускають, що довжина хвилі світла дорівнює 0,6 мкм.

Максимальна похибка регулювання 0,5 лінії становить 0,15 мкм:

а= 0,15 мкм.

Припускають прямокутний розподіл (Ь = 0,6):

и= 0,15 мкм ■ 0,6 = 0,09 мкм.

uRR— роздільна здатність на другому наконечнику Оцінювання за типом В

Припускають, що довжина хвилі світла дорівнює 0,6 мкм.

Припускають, що роздільна здатність однією лінією і дорівнює 0,3 мкм.

Складник невизначеності t/RR становить:

d 0,3 мкм ппп
Urr=—0,6 = 0,6 = 0,09 мкм.

2 2

  1. Перша ітерація. Кореляція між складниками невизначеності

Визначено, що між складниками невизначеності кореляції немає.

  1. Перша ітерація. Сумарна та розширена невизначеності

Ua =V Usp + ІЇОР + t/RR ■

Значення з В.5.5.1:

Uc = (0.062 + 0,092+0,092) мкм2 =0,14 мкм.

Розширена невизначеність (коефіцієнт охоплення k = 2) становить:

U = 0,14 мкм • 2 = 0,28 мкм.

  1. Зведення бюджету невизначеності. Перша ітерація

Див. таблицю В.9.

Таблиця В.9 — Зведення бюджету невизначеності (перша ітерація). Калібрування вимірювальних наконеч­ників щодо паралельності

Назва складника

Тип оціню­вання

Тип розподілу

Кількість вимірю­вань

Граничний відхил а* впливні одиниці

Граничний відхил а, мкм

Коефіцієнт кореляції

Коефіцієнт розподілу ь

Складник невизна­ченості ихх, мкм

l/sp

Паралельність оптичної пара­лельної плас­тини

в

Прямокутний


0,1 мкм

0,1

0

0,6

0,06

Uop

Регулювання першого нако­нечника

в

Прямокутний

0,15 мкм

0,15

0

0,6

0,09

Wrr

Роздільна здат­ність на другому наконечнику

в

Прямокутний

0,15 мкм

0,15

0

0,6

0,09

Сумарна стандартна невизначеність


0,14

Розширена невизначеність (к = 2), U

0,28



  1. Перша ітерація. Обговорення бюджету невизначеності

З бюджету невизначеності видно, що основними складниками є роздільна здатність/зчитування даних на двох наконечниках. Оптична пласка пластина майже не має впливу.

  1. Висновок щодо першої ітерації

Вимогу щодо цільової невизначеності виконано. Максимальний допустимий вимірюваний відхил від досконалої паралельності під час калібрування становить:

MPEmp-U = 2,00 мкм-0,30 мкм = 1,7 мкм
(за вимогами ISO 14253-1 —одностороння характеристика).

Для перетворення MPESp вимоги до діаметра 8 мм такі, як вимоги до діаметра ЗО мм, див. В.6.

  1. Друга ітерація

Немає потреби в другій ітерації.

  1. Вимоги до еталонів

Далі викладено вимоги до еталонів, які застосовують для калібрування мікрометра. Вимоги до калібрування виводять з бюджетів невизначеності, показаних у В.З, В 4 І-В.5.

  1. Кінцеві міри (див. приклад у В.З)

Використання кінцевих мір 2-го розряду (див. ISO 3650), виготовлених зі сталі (або кераміки) з температурним коефіцієнтом лінійного розширення а в зоні а = 1,1 мкм/(100 мм °С), застосовують у поданих вище бюджетах невизначеності. Далі це застосовують для одинарних кінцевих мір у кожній точці вимірювання для уникнення впливу зазора між двома чи більшою кількістю кінцевих мір.

Зміна розряду кінцевої міри з другого на перший зменшить U2s від 1,0 мкм до 0,8 мкм і зменшить MPEml від 2,0 мкм до 1,6 мкм. Це зменшення МРЕми на 0,4 мкм не можна використовувати, бо воно менше, ніж роздільна здатність мікрометра (1 мкм). Це зменшення настільки мале, що воно не впли­ває на практичні вимірювання та на їхню невизначеність.

У таблиці В. 10 порівнюють два розряди кінцевих мір за однакових умов калібрування. В усіх чо­тирьох випадках використовують невизначеність у максимальній точці діапазону вимірювання. Вплив застосування кінцевих мір першого розряду в усіх випадках незначний.

Висновки щодо кінцевих мір: за умов калібрування використовують кінцеві міри другого розряду, виготовлені зі сталі чи кераміки, і ці кінцеві міри калібрують згідно з вимогами до другого розряду.

Примітка. Застосування кінцевих мір другого розряду і калібрування згідно з вимогами до другого розряду зменшить вартість робіт.

Таблиця В.10 — Звірення невизначеності вимірювання похибки показу для калібрування зовнішнього мікро­метра, використовуючи кінцеві міри першого і другого розрядів

Діапазон вимірювання, мм

Розряд кінцевої міри ISO 3650

Складник невизначеності, мкм

Невизначеності, мкм

від

До

І/SL

Urr

Uto

Uta

. Uc

и

Зменшення MPEml 2 • U

Різниця між 1-м і 2-м роз­рядами

0

25

2

0,34

0,29

0,20

0,14

0,50

1,00

2,00

0,4

1

0,17

0,40

0,80

1,60

25

50

2

0,46

0,40

0,40

0,28

0,78

1,56

3,12

0,4

1

0,23

0,67

1,34

2,68

50

75

2

0,57

0,50

0,60

0,42

1,05

2,10

4,20

0,5

1

0,28

0,93

1,86

3,72

75

100

2

0,69

0,60

0,80

0,56

1,34

2,64

3,28

0,5

1

0,35

1,20

1,40

2,80



  1. Оптичні пласкі пластини (див. приклад у В.4)

Для калібрування мікрометра щодо площинності вимірювальних наконечників використовують лише площу з діаметром від 6 мм до 8 мм на загальній поверхні з діаметром 31 мм. Для діаметра 8 мм потрібен максимальний відхил площинності 0,05 мкм.

У разі виконання цієї передумови оптична пласка пластина має лише незначний вплив на сумарну невизначеність. Якби оптична пласка пластина була ідеальною, то невизначеність зменши­лася б від U = 0,12 мкм до U = 0,10 мкм. Якби значення МРЕ площинності оптичної пласкої пластини було збільшене на 50 %, то тоді невизначеність змінилася б від U = 0,12 мкм до U = 0,13 мкм.

Можна припустити, що похибка форми поверхні оптичної пласкої пластини є сферичність. Це за­гальний вид типу відхилу, який спричинено виробничим процесом (механічним притиранням). Якщо форма сферична, то відхил форми для поверхні з діаметром від 6 мм до 8 мм становить 0,05 мкм, що дорівнює відхилу площинності і ,25 мкм для поверхні з діаметром ЗО мм. Відхил форми 1,25 мкм може вимірювати більшість промислових фірм, і для цього не потрібно звертатися до зовнішньої калібру­вальної лабораторії.

Висновки щодо оптичних площин:

  • Якщо один бік оптичної паралельної пластини з діаметром 31 мм використовують як оптичну пласку пластину, то можна перевірити площинність площі 8 мм внутрішнім калібруванням у промис­ловій компанії.

Примітка. Сферична форма поверхонь може бути видимою на інтерференційному зображенні, коли встановлюють дві оптичні поверхні одна на одну.

  • Оптичні паралельні пластини, які часто є у продажу, зазвичай мають максимальний відхил площинності 0,1 мкм для діаметра ЗО мм. Якщо припустити сферичну форму, то це означає, що ці поверхні в 5—10 разів кращі, ніж необхідно, враховуючи зазначені вище вимоги.

  1. Оптично паралельні поверхні (див. приклад у В.5)

Для калібрування мікрометра щодо паралельності вимірювальних наконечників використовують лише площу з діаметром від 6 мм до 8 мм на загальній поверхні діаметром 31 мм. Вимогою для діа­метра 8 мм є максимальний відхил від паралельності 0,10 мкм.

Якщо виконують цю передумову, то оптично паралельна пластина має незначний вплив на су­марну невизначеність. Якби оптично паралельна пластина була ідеальної форми, то невизначеність була б зменшена від U = 0,28 мкм до U = 0,25 мкм. Якби значення МРЕ паралельності оптичної пара­лельної пластини збільшилося на 50 %, то невизначеність змінилася б від U = 0,30 мкм до U = 0,34 мкм.

Якщо припустити, що оптичні паралельні пластини пласкі чи сферичні з максимальним відхилом площинності 0,1 мкм на поверхні з діаметром ЗО мм, то відхил паралельності 0,1 мкм на поверхні з діа­метром 8 мм буде дорівнювати 0,4 мкм на поверхні з діаметром ЗО мм. Зазвичай пропонують відхил 0,4 мкм на поверхні з діаметром ЗО мм.Висновок щодо оптичних паралельних пластин:

  • Вплив оптичних паралельних пластин, які є у продажу, на калібрування мікрометра щодо паралельності вимірювальних наконечників настільки малий, що збільшення значення МРЕ від 50 % до 100 % не буде впливати на визначення точності мікрометра.

  • Значення МРЕ для паралельності оптичних паралельних пластин настільки велике, що немає потреби калібрувати мікрометри за межами підприємства в акредитованій лабораторії.

  1. Використання еталона порівняння як додаткового засобу калібрування

На виробництві зазвичай застосовують еталони порівняння (див. змінену PUMA-діаграму на ри­сунку В.6). Тоді оператор машинним інструментом може перевіряти й іноді коригувати установлення засобів вимірювальної техніки. Еталони порівняння потрібні для засобів вимірювальної техніки, про­мислові допуски яких змінюються через довгий період часу.

Щоб відобразити вплив еталона порівняння на бюджет невизначеності, використовують і відпо­відно змінюють приклад з мікрометром (див. В.2). Потрібно показати, як еталон порівняння видаляє, змінює і додає складники невизначеності (позначені ** в таблиці В.11) у початковому бюджеті неви­значеності (приклад подано у В.2), основаному лише на калібруванні мікрометра. Новий бюджет невизначеності буде відображати, як еталон порівняння покращив ситуацію, тобто зменшив невизна­ченість вимірювання в заводських умовах.

У цьому разі еталон порівняння міг би бути кінцевою мірою завдовжки 25 мм. Таким чином, було б раціонально застосувати цифровий мікрометр, тому що його легше встановити, використовуючи кінцеву міру. З цієї опорної точки (25 мм) вимірюють діаметри вала. Припускають, що зміна діаметрів валів становить менше ніж ± 0,2 мм на 25 мм.

Калібрування мікрометра все ще потрібне. Методику калібрування треба вдосконалювати і, крім того, вона має охоплювати вплив невеликих відхилів від вимірювальної точки, тобто 25 мм. Новий МРЕмі-сн не може бути менше ніж 3 мкм, що дає різницю показів 1 мкм на коротких відстанях (під час калібрування і за значення aML.CH 1,5 мкм).