Страница 2: ПІ 1.4.32-185-2001. Примірна інструкція з охорони праці при обслуговуванні установок газотранспортного осаджування кремнію (59089)

1.11.6. Водень хлористий рідкий (ТУ6-01-4689387-42-90).
Хлористий водень (НС1) за нормальних умов - безбарвний газ з

ядучим запахом.

Температура кипіння - мінус 85,1 °С.

Густина газу- 1,639 кг/м³.

Хлористий водень добре розчиняється у воді, утворюючи при цьому соляну кислоту. Він сильно "димить" у вологому повітрі через утворення з парами води крапель туману.

Хлористий водень сильно подразнює верхні дихальні шляхи, роз'їдає очі, шкіру, на зволоженій шкірі він спричиняє хімічні опіки.

ГДК хлористого водню в повітрі - 5,0 мг/м³. Клас небезпеки 3 -(ГОСТ 12.1.007-76).

1.11.7. Аміак рідкий (ГОСТ 6221 -90).

Аміак (ИНз) - безбарвний газ з різким запахом нашатирного спирту.

Температура кипіння аміаку - мінус 33,4°С.

Густина газу- 0,77 кг/м³.

Газоподібний аміак відноситься до горючих газів. Повітря, яке має вміст аміаку 16,5...26,8 % об'єму, - вибухонебезпечне. При температурі 650°С аміак самозаймається. Аміак швидко розчиняється у воді. Водний розчин його має сильні лужні властивості. Пари аміаку подразнюють легені, слизові оболонки очей, порожнини рота, горла, носа. Висока концентрація аміаку в повітрі може спричинити ядуху, пошкодження слизових оболонок очей і навіть призвести до втрати зору. Контакт аміаку зі зволоженою шкірою спричиняє сильні опіки.

ГДК аміаку в повітрі - 20 мг/м³. Клас небезпеки 4 -(ГОСТ 12.1.005-88).

Рідкий аміак або струмінь газу при попаданні на шкіру спричиняють сильні опіки.

1.11.8. Кремній чотирихлорстий (SіС1₄) (ТУ6-09-197-88) за нормальних умов - безбарвна рідина з різким ядучим запахом.

Температура кипіння - 57,6°С.

В присутності вологи в повітрі гідролізується з виділенням хлористого водню.

Чотирихлорстий кремній сильно подразнює слизові оболонки дихальних шляхів, очей. Довготривале вдихання його парів призводить до захворюваннь легенів. Попадання на шкіру чотирихлорстого кремнію спричиняє сильні опіки.

ГДК суміші парів та аерозоля чотирихлорстого кремнію - 1 мг/м³. 2 клас небезпеки-(Г0СТ 12.1.007-76).

1.11.9.Трихлоретилен (С2НСl3) (ГОСТ 9976-94, ТУ6-09-1012-79).

Трихлоретилен - прозора безбарвна летюча рідина, що має густину при 20°С - 1,46 г/см³, погано горить. Температура кипіння 73,б°С. Температура самозаймистості 380°С. Пари трихлоретилену з повітрям утворюють вибухонебезпечну суміш.

Концентраційні межі розповсюдження полум'я:

• нижня - 12,0 % (по об'єму);

• верхня - 40,7 % (по об'єму).

Температурні межі розповсюдження полум'я від 30°С до 58°С.

При контакті трихлоретилену з лугами і нагріванні можливе утворення самозаймистого токсичного дихлорацетилену. При контакті з відкритим полум'ям до 1 КУС і на сонячному світлі - розкладається з утворенням дуже отруйного газу - фосгену. В присутності металів, смоляних та жирних кислот трихлоретилен може розкладатися з утворенням хлористого водню.

Пари трихлоретилену мають наркотичну і загальнотоксичну дію, становлять загрозу для нервової системи, органів дихання, серцево-судинної системи (особливо міокарду), очей, мають комулятивний ефект. При подовженій дії на шкіру трихлоретилен спричиняє ураження типу екземоподібних дерматитів і хімічних опіків з пухирцями, сухість, тріщини, втрату чутливості. В організм людини трихлоретилен може попасти інгаляційним шляхом, через шкіру, органи травлення.

Гранично допустима концентрація (ГДК) парів трихлоретилену у повітрі робочої зони виробничих приміщень-10 мг/м³, третій клас небезпеки~(ГОСТ 12.1.005-88).

1.11.10. Водень (Н2) - горючий газ без кольору та запаху (ГОСТ 3022-80).

Температура кипіння водню - мінус 252,8°С.

Густина газу- 0,09 кг/м3.

Відносна густина (за повітрям) - 0,07.

З повітрям і киснем водень утворює вибухонебезпечні суміші.

Межа вибуховості з повітрям - 4...75 % об,

з киснем - 4...73 % об.

1.11.11. Аргон (Аг) - безбарвний інертний газ без запаху (ТУ 6-21 -12-79, ГОСТ 10157-79).

Температура кипіння аргону - мінус 185,9°С.

Густина газу- 1,78 кг/м³.

Відносна густина (за повітрям) - 1,38.

Аргон - негорючий, вибухобезпечний та нетоксичний газ, але при накопичуванні у приміщенні спричиняє явища кисневої недостатності. При наявності в повітрі понад 25 % об'єму аргону можлива ядуха.

1.11.12 . Кисень (О2) - безбарвний газ без запаху га смаку (ГОСТ 5583-78).

Температура кипіння кисню - мінус 182,97°С.

Густина газу- 1,43 кг/м³.

Кисень не горить, але підтримує горіння. При контакті з маслами га жирами вибухає.

1.11.13. Азот (N2) - безбарвний газ без запаху та смаку
(ГОСТ 9293-74).

Температура кипіння азоту - мінус 195,8°С. Густина газу- 1,25 кг/м³. Відносна густина (за повітрям) - 0,97.

Азот не отруйний газ, але при наявності його б повітрі понад 84 % спричиняє ядуху.

1.11.14. Оксид азоту(І) або закис азоту (N20) - безбарвний газ зі
слабким приємним запахом і солодкуватим смаком.

Температура кипіння оксиду азоту(І) - мінус 88,5°С.

Густина газу- 1,98 кг/м³.

Відносна густина (за повітрям) - 1,45.

Закис азоту відноситься до негорючих речовин. Підтримує горіння. При температурі понад 500°С оксид азоту(І) розкладається з виділенням кисню і поводить себе як сильний окислювач.

Вдихання невеликої кількості оксиду азоту(І) приводить до притуплення больової чутливості, внаслідок чого цей газ іноді застосовують у суміші з киснем для наркозу. Висока концентрація оксиду азоту (І) спричиняє ядуху внаслідок витіснення повітря з легенів.

ГДК оксиду азоту(ї) в повітрі - 5 мг/м³. 3 клас небезпеки -(ГОСТ 12.1.005-88).

12. Всі приміщення, де проводяться роботи з отруйними та ви-бухо- пожежонебезпечними газовими сумішами, газами і рідинами повинні бути обладнані пристроями автоматичного виміру концентрації газів та сигналізації, які сповіщають про порушення приточно-витяжнсї вентиляційної системи, забезпечені засобами пожежогасіння, а також мати телефонний зв'язок з пожежною охороною та медпунктом.

13. Горючі гази, які є технологічними відходами, повинні проходити стадію доспалювання або розбавляння до концентрацій, які нижче вибухонебезпечої межі. Спалюючі пристрої (скрубери) під час роботи повинні зрошуватись водою та мати постійнодіючі запальники.

14. Скрубери повинні бути обладнані пристроями сигналізації, які сповіщають про припинення горіння запальника та зменшення витрати води для зрошування.

15. Скрубери повинні мати окрему витяжну вентиляцію.

16. Витяжні системи місцевих відсосів, які видаляють відпрацьовані технологічні гази, токсичні домішки продуктів згоряння і виключають попадання токсичних газів в атмосферу виробничих приміщень, повинні мати блокування з пусковими пристроями технологічного обладнання (установок) для того, щоб воно не могло працювати при непрацюючій витяжній системі місцевих відсосів.

12. Все електрообладнання має бути надійно заземлене.

13. Балони з отруйними та вибухонебезпечними газами повинні установлюватись у спеціальних шафах для балонів з постійно діючою витяжною вентиляцією. В шафі треба розміщати не більше одного балона з моносиланом або з газовими сумішами на його основі та не більше 4-х балонів із сумішами на основі інших гідридних газів. Шафа з балонами повинна бути забезпечена:

• триразовим обміном повітря;

• аварійною витяжною вентиляцією;

• кріпленням для балонів.

Аварійна вентиляція разом із системою основної вентиляції повинна забезпечувати щонайменше восьмиразовий обмін повітря.

19. Розміщення балонів із отруйними вибухонебезпечними газами усередині установок або поряд із ними безпосередньо в виробничих приміщеннях не дозволяється.

20. Використовувати балони з газами треба до залишкового тиску не меншого як 0,5 атм., щоб запобігти попаданню повітря в балон (крім балонів із дихлорсиланом).

Надлишковий тиск балонів з дихлорсиланом змінюється залежно від температури навколишнього середовища (від 0,3 кгс/см² при 20°С до 1 кгс/см² при 30°С) і не зменшується з використанням речовини.

21. Бокові штуцери вентилів балонів, які використовуються для отруйних та вибухонебезпечних газів та газових сумішей, повинні мати ліву нарізку різьби.

22. Згідно з Законом України "Про охорону праці" (далі Законом) ст. 49 особи, які не виконують вимог законодавчих та інших нормативних актів з охорони праці, залежно від характеру порушень притягаються до дисциплінарної, матеріальної, адміністративної та кримінальної відповідальності.

2. ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПЕРЕД ПОЧАТКОМ

РОБОТИ

1. Необхідно перевірити та надягти необхідні засоби індивідуального захисту.

2. Включити загальнообмінну вентиляцію та витяжну вентиляцію установок і скруберів за 30 хвилин до початку роботи.

3. Необхідно перевірити справність приладів і обладнання, його герметичність.

1. Зробити зовнішній огляд обладнання та впевнитись у відсутності видимих пошкоджень.

2. Необхідно перевірити роботу витяжної вентиляції установок і скруберів, наявність води для охолодження реакторів та зрошування скруберів.

3. Необхідно перевірити роботу пристроїв блокування та сигналізації.

4. Необхідно перевірити надійність признання балона з технологічним газом до газової системи установки.

1. Герметичність приєднання балона до газової системи перевірити шляхом обмилювання різьбових з'єднань балона з редукором і редукора з газовою системою 3...5% розчином мила.

2. Герметичність газової системи технологічної установки перевіриш шляхом опресування інертним газом.

3. Можливий витік сумішей моносилану, фосфіну, диборану, арсину визначати також шляхом обмилювання розчином мила.

4. Можливий витік хлористого водню та кремнію чотнри-хлористого визначати:

- за зміною жовтого кольору лакмусового папірця на рожевий;

- за появою білої хмаринки при змочуванні вірогідних місць ви
току серветкою, змоченою розчином аміаку, або при обдуванні парами
аміаку.

2.3.4.5. Можливий витік аміаку визначається:

• за появою білої хмаринки при змочуванні вірогідних місць вірогідного витоку серветкою, змоченою концентрованою соляною кислотою;

• за знезабарвленням реактивного (хроматографічного) паперу, який просякнутий розчином роданіду заліза.

2.4. Необхідно перевірити:

• наявність та справність заземлення установки (установок);

• відсутність оголених дротів та відкритих струмовідних частин;

• наявність захисних обшивок установок;

• горіння в скруберах запальників;

• наявність технологічних газів;

• наявність засобів пожежогасіння;

• наявність медичної аптечки та засобів для надання першої долікарської допомоги;

• готовність обладнання до роботи, про що зробити відповідний запис у журналі підготовки обладнання.

5. Впевнитися в наявності та достатності освітлення на робочому місці.

6. Підготувати робоче місце, інструмент, оснастку, прилади.

7. В разі відсутності якогось із засобів індивідуального захисту, виявленні несправностей або інших недоліків на робочому місці сповістити керівника роботи (відповідального за проведення даної роботи). До роботи стати тільки після усунення всіх несправностей та недоліків.

3. ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПІД ЧАС ВИКОНАННЯ

РОБОТИ

3.1. Наладчики, що обслуговують установки газотранспортного
осаджування кремнію та його сполук, виконують такі роботи:

1) проводять підготовку обладнання для проведення технологіч
них процесів:

епітаксіального нарощування кремнію, осаджування полікристалічного кремнію, осаджування нітриду кремнію, осаджування діоксиду (двоокису) кремнію, карбідизації графітових підставок;

2. приєднують (від'єднують) балони з газами і сумішами до газової магістралі установок;

3. включають (виключають) установки;

4. провадять ремонт та наладку установок в разі виходу їх із ладу;

5. провадять профілактичні роботи;

6. слідкують за роботою витяжної вентиляції, наявностю води для охолодження реакторів та зрошення скруберів;

7. слідкують за горінням запальників у скруберах;

2. Під час роботи треба бути уважним, не відволікатися від роботи та не відвертати увагу інших.

3. Перед ремонтом або заміною деталі, вузла газової системи газову систему належить продути азотом протягом ЗО хвилин. При попаданні в газову систему рідини продувку збільшують до 2-х годин.

4. Під час проведення ремонтних та профілактичних робіт для захисту очей від попадання бризок рідини треба користуватись захисними окулярами. Під час заміни балонів, заливки рідини в робочу по-

судину, а також в разі аварії треба користуватись протигазом із коробкою відповідної марки (див. таблицю 1).

3.5. Під час заміни балонів треба дотримуватись певних правил.