---

Б.4 Для определения времени проявления СІЙ на заготовку нано- $ -сят СПФ. Выдерживают при неактиничном освещении в течение 30 мин

$ Чь перед экспонированием. Экспонируют, затем удаляют лавсановую пленк

у

і « обрабатывают в проявителе. Замечают минимальное время ( ),

]~зфя котором фоторезистивмый слой полностью удаляется с поверхности

І заготовки. Оптимальное время проявления равно 1,5 і

Приложение В

(рекомендуемое)

Технологические инструкции

ВЛ Инструкция I "Раствор для химического обезжиривая

ВЛ Л Состав раствора: - натрий фосфорнокислый 12-водный по ГОСТ 9337, г/л ♦ ... 30-35

• натрий углекислый безводный по ГОСТ 83, г/л ........ 30-35

• моющее средство "Прогресс* или "Новость* по ТУ 38-10719. г/л . 4-5

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232. л ................... до I

ВЛ.2 Приготовление раствора

Растворяют предварительно натрий углекислый к натрий фосфорно­кислый в воде, прогретой до температуры 60 °С.

В приготовленный раствор добавляют моющее средство и тщательно

п еремешивают.

В .1.3 Замена раствора І

’ і

Замену раствора производят по мере загрязнения в зависимости оі интенсивности работы ванны обезжиривания, не менее одного раза в неделю. I

В.2 Инструкция 2 "Раствор для подтравливанил поверхности фоль­гированного диэлектрика*

В.2Л Состав раствора:

• аммоний надсернокислый по ГОСТ 20478, г/л 200-250

67

Колмва...-

Ин». N8 подл. .Подл. и д»т« Вядм. ииа. Nt Ии» 7дуВй.Х Подл, и д>тТ

• кислота серная по ГОСТ 4204, (плотность 1,84 г/см3), г/л . ,... . 10-20

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

Расчетное количество надсернокислого аммония растворяет в поло­вине необходимого объема воды, вводят при перемешивании серную кис­лоту, доводят до нужного объема. ,

f

Замену раствора производят после обработки віл раствора 4 м^ фольгированного диэлектрика.

• кислота серная по ГОСТ 4204, (плотность 1,84 г/см3), г/л 150-250

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

• кислота соляная по ГОСТ 3118, (плотность 1,19 г/см3), г/л 150-280

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

К 3/4 необходимого объема питьевой воды при помешивании малыми порциями приливает соляную или серную кислоту. Доливают воды до не­обходимого объема и тщательно перемешивают.

Колмрмм 2 && •орм*г М

ост 92-5075-$$

Замену раствора производят посд§ Обработки I м² заготовок ПП віл раствора, но не режа одного разд в месяц.

В.4Л Состав раствора:

• аммоний надсернокислый по ГОСТ 20428>-е/ж— 10—15

• гидроокись натрия Со ГОСТ 4328, г/л 30-50

• вода дистиллированная по ГОСТ 6709, л до I

В«4.2 Приготовление раствора

Расчетное количество надсернокислого аммония растворяет в поле

вине неЬбходимой для состава теплой воды. Отдельно растворяет не- больяими порциями при постоянном помешивании гидроокись натрия, вводят при помешивании в раствор надсернокислого аммония, доводят раствор до нужного объема водой.

В.4.3 Замена раствора

Замену производят после обработки віл раствора 2 м^ фольги­рованного диэлектрика.

В.5 Инструкция 5 "Раствор для проявления фоторезиста СПЗ-ВЩ-2"

• сода кальцинированная по ГОСТ 5100, г/л 10-12

• эмульсия ЭАП-40 по ТУ 6-02-892, мл/л I

• вода питьевая по^J ГОСТ Р 51232, л до I

69

OCT 92-5075-99

З

>. 2ЦБ-4

амечу раствора производят после обработки віл раствора 0,3 поверхности фоторезиста.

8. . 6 Инструкция 6 “Краска для ретуширования рисунка ПП, изгота ливаемой с использованием водно-целочепроявляемых фоторезистов"

9. .6Л Состав краски:

• отходы фоторезиста (без защитных пленок), г . Г

• нигрозин спирторастворимый по ГОСТ 9307, г/л • і

• растворитель 646 по ГОСТ І8І88, мл 51

В.6.2 Приготовление краски

Растворяет в растворителе 646 последовательно при перемешивані нигрозин, отходы фоторезиста.

Полученную краску фильтруют через один или два слоя капрона. Хранят краску в герметично закрытой таре. Срок годности краски ода месяц. Перед употреблением краску тщательно перемешивают.

В.7 Инструкция 7 "Медно-аммиачный раствор для травления меди"

• аммоний хлористый, г/л 170-190

• калий иодхстый, г/л 0,8-1,2

• аммиак до pH

8,5-9,О

• вода литьевая, л до I

Допускается отсутствие в составе раствора калия йодистого.

70

Копирочм С "Форм.: А4

В.7.2ЛЛ Исходные вещества:

• медь двухлористая двуводная, ч,, по ГОСТ 4167, г/л 270«»

• аммиак водный 25 %-кый, ч., по ГОСТ 3760, мл/л .450-54 - аммоний хлористый, ч., по ГОСТ 3773, г/д ,,, 170-1$

• калий йодистый, ч., по ГОСТ 4232, г/л 0,8-І,

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л '«»,,•••..««% до I

В.7,2.1.2 Методика приготовления

В минимальном количестве воды (1/5 от общего объема раствора) растворяют при температуре от 15 до 30 °С расчетное количество хлс ной меди. Полученный раствор небольшими порциями при перемешивания

и охлаждении вливают в расчетный объем 25 %-ного раствора аммиака; температура при этом не должна превышать 40 °С. Затем в полученный раствор вводят расчетное количество хлористого аммония, перемеиива смесь до полного растворения. '

Отдельно,в,воде от 0,5 до 1,0 л растворяют расчетное количесі калия йодистого, и полученный раствор смешивают о основным объемом раствора.

После отстаивания в течение часа раствор фильтруют через капр -новую или хлориновую ткань.

После приготовления раствора измеряют величину pH на рН-метре величина pH должна быть от 8,5 до 9,5. В случае отклойения величи­ны pH ниже 8,5 корректируют раствор аммиаком водным 25 %-кым до укі занкых пределов.

Общий объем раствора доводят водой до заданного объема.

Приготовление раствора для травления производят в эмалирование или титановой емкости, или в стальной, футерованной винипластом, фторопластом или пектапластом.

71

• >■ _ •

Ф. 2ЦЕ-4

В,7.2.2 Вариант 2

• медь двухлористая двуводная, ч., по ГОСТ 4167, г/л .. 100-Г

• аммоний хлористый, ч., по ГОСТ 3773, г/л I00-L

• аммиак водный, 25 %-ный, ч., по ГОСТ р7б0, мл/л 200-ЭС

• калий иодиетый, ч., по ГОСТ 4232, г/л 0,8-1,

• вода питьевая по ГОСТ Р 5X232, л до I

• медь (металл) в веде прутков медных по ГОСТ 1535, или отработанных анодов медных по ГОСТ 767, или заготовок ПП

на фольгированном медь» диэлектрике, г/л .......... 70-80

• аммоний хлористый, ч., по ГОСТ 3773, г/л 120-13

• аммиак жидкий технический по ГОСТ 6221.

В.7.2.2.3 Методика приготовления

Стартовый раствор травления готовят по методике В.7.2.Х.2 настоящей инструкции.

Выход на рабочий состав раствора производят травлением в стар­товом растворе меди металлической (в веде медных прутков, отработан ных анодов или заготовок ПП) • До выхода на рабочую плотность (от 1,14 до 1,16 г/см$, что соответствует содержанию меди от ХЮ до 120 г/л) корректируют раствор по мере накопления меди сухим хлорис­тым аммонием. Периодичность корректирования - через каждые 10 г/л стравленной меди. Количество хлористого аммония рассчитывают по ре­зультатам химического анализа, исходя из соотношения - на I г меди ж, растворе должно приходиться 1,7 г хлористого аммония.

Одновременно с введением хлористого аммония производят коррек­тировку pH путем автоматической подачи газообразного аммиака.

> * < •

7

2

ОСТ 92-5075-9$

В.7,3 Корректирование раствора в процессе эксплуатации

Корректирование производится автоматически в следующей после­довательности:

t

- при снижении значения pH ниже заданного нижнего предела под ется газообразный аммиак до достижения pH, равного. верхнему предел; (диапазон регулирования должен составлять от 0,2 до 0,4 единиц pH) - при повышении плотности раствора выше заданного верхнего пр< дела подается корректированный раствор.

При ручном способе корректирования допускается использование -водного раствора аммиака и хлористого аммония в сухом виде.

• калий иодистый, ч., по ГОСТ 4232, г/л 0,8-1,2

• аммиак водный 25 %-ный, ч., по ГОСТ 3780,мл/л 50-100

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

Расчетное количество калия йодистого растворяют отдельно в boj .от 0,5- до 1,0 л, и полученный раствор смешивают с раствором хлористо Го аммония.

В полученную смесь вливают расчетное количество водного раство ра аммиака, доводят водой общий объем раствора до заданного и пере­мешивают.

Для приготовления раствора используют эмалированные или пласт­массовые емкости.

травления"

• аммиак водный, 25 %-ный, ч., до ГОСТ 3760, мл/л 50-101

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

Аммиак растворяют в заданном количестве воды. Затем раствор ; водят водой до необходимого объема.

" ■ .

Замену раствора производят после обработки 0,5 м^ заготовок

ПП в I л раствора.

В .9 Инструкция 9 "Раствор для осветления оловянно-свинцового покрытия”

• тиомочевина, ч., по ГОСТ 6344, г/л 90-IC

• кислота соляная (плотность 1,19 г/см$), ч., по ГОСТ ЗП8, мл/л . 50-6С

• спирт этиловый по ГОСТ 18300, мл/л .................. 5-7

• вода питьевая по ГОСТ Р 51232, л до I

В подогретой от 45 до 50 °С воде, взятой в количестве 4/5 оби объема, растворяют расчетное количество тиомочевины, добавляют рш четное количество соляной кислоты, перемешивают. Затем вводят в pi

74

К

Формат А4

отрим .JJtsajHCf Jtf05 О

О

_ OCT 92-5075-^9

вор спирт этиловый, доливают до заданного объема водой и Тщательно перемешивают,

Раствор корректированию не подлежит.

Замену, раствора производят после обработки в I л его I м² по­

верхности ПП. ♦ ’

В, 10 Инструкция 10 "Перекисно-мадно-хлоридный раствор для трав- , ления меди"

- медь хлорная (в пересчете на металл), г/л , 100-ПС

- кислота соляная (в пересчете на основное