О
Ине, Ng подл. Подл, м дета
водно-воздушной смесью в модуле удаления раствора
Допускается переход 5 не выполнять
О ' • • 6 Промыть ПП проточной водой в модуле промывки линии
Р Т- 15-30 °С, t . 2-3 мин
М Вода питьевая
О 7 Осветлить покрытие олово-свинец на ПП в модуле осветления
Р Т • 15-30 °С, Г - О,5-І,0 мин
И Раствор в соответствии с приложением В по В.9
О 8 Промыть ПП проточной водой в модуле промывки
Р Т « 15-30 °С, t « 2-3 мин
М Вода питьевая
О 9 Сушить ПП в модуле сушки
Р Т * 40-50 °С. t* 2-3 мин
О 10 Демонтировать ПП с присобления-спутника
Т
92-5075-99
.Подставка-штатив заводского изготовления|
Ин». N? подл. |
Подл, и дат* |
Bum. ин* N2 |
Ии*. N# дубл. L Подп. и дат* |
|
/ШЯ |
«Ду/г/г |
|
Г |
|
А |
|
Опер. |
Код, наименование операции |
Обозначение документа |
||
|
Б |
Код, наименование оборудования |
|||||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единицы или материала |
Обозначение, код |
||||
|
0 II Удалить ретушь с поверхности ПП И Растворитель 646 или ацетон Марля бытовая < 0 12 Провести сплошной визуальный контроль качества травления и осветления по 3.4.18-^3.4.22 Т Микроскоп МВС-9 или микроскоп МПБ-2 и^и лупа 10-кратного увеличения ' * * • * J- • |
||||||
Окончание таблицы 16
«Ь
ОСТ 92-6075-99
|
Ии». № подл. |
Подл, м да** |
Вми*. ина Hi |
Йи«. НІ дубл. J Подл, и дет» |
|
|
|
|
1 1 |
Таблица 17 - Карта типовой технологической операции травления меди перекисно-медно-
хлоридным раствором
|
А |
|
Опер. |
. , . —— —-,7-" ■ -■ -————— Код, наимЫюванне операции . । Обозначение документа |
||
|
Б |
Код, наименование оборудования |
||||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единица) или материала |
Обозначение, код |
|||
А Травление
Б Комплекс "Титак-бООАЛН* или линия травления * Chemcut - 547 *
с модулем кислого травления или комплекс модулей для травления ■ снятия краски КМ-8 !
О I Монтировать заготовки ПП на приспособление
Т Приспособление-спутник заводского изготовления
О 2 Уложить .заготовки на конвейер модуля загрузки
О 3 Травить медь до полного удаления ее с участков непроводящего
рисунка в модуле травления
Р
$СТ 92-5075-99
Т « 35-40 °С, d » 1,22-1.28 г/см^, pH « минус ОД - минус 0,4 • овжсЕмтедза»- восстановительный потенциал 510-540 мВ, Р « 0,1-0,2 МПа, время выбирают я соответствии с приложением СМ Раствор в соответствии с приложением В по В. 10 >
О 4 Удалить остатки травильного раствора с поверхности ПП водно-воздушной
смесью в модуле удаления раствора
Допускается переход 4 не выполнять
Окончание таблицы 17
|
А |
|
Опер. |
• - ■ 1 "" і - "' 1 ■ - Код, наименование операции | Обозначение документа |
||
|
Б |
Код, наименование оборудования |
||||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единицы Или материей^ |
ОбозначениВі ИоД 1 |
|||
•ИйІММвамММмМйМММ»
V|
Ина. NS поди. |
Діодл. и дата |
Вмм. ине. Нв |
Мна-Х? дувЯчл |
Подл, и дата |
|
|
|
|
|
|
О 5 Промыть ПП проточной водой
Р Т » 15-30 °С, t - 0,5-3,0 мин
И Вода питьевая
О * 6 Удалить фоторезист или сеткографическую краску с поверхности ЯП в
модуле снятия в соответствии с таблицами 20 или 22
О 7 Сушить ПП
Р Т = 40-50 °С, или Т =» 15-30 °С (для сжатого воздуха), t » 1-3 мин
М Воздух сжатый
О 8 Демонтировать ПП с приспособления-спутника
Т Подставка-штатив заводского изготовления
О 9 Провести сплошной визуальный контроль качества
травления по 3.4.18 - 3.4.22
Т Микроскоп МБС-9 или микроскоп МПБ-2, лупа 10-кратного увеличения
|
Ина. № події. |
Подл, и дата |
Взам. мне. 142 |
Ина. N9 дубл. |
Подл, и дате |
|
|
|
|
С |
|
Таблица IB - Карта типовой технологической операции травления меди раствором хлорного железа
|
А |
Опер. |
Код, наименование операции |
. і |
Обозначение документа |
||
|
Б |
* |
Код, наименование оборудования |
|
|
||
|
К/М |
Наименование детали, сб. Единицы или материала |
|
ОбоЗН44ейиО| КОД |
|||
А Травление
Б Комплекс "Титан-600А-ТНя или комплекс модулей для травления
и снятия краски КМ-8
О I Монтировать заготовки ПП на приспособление-спутник
Т Приспособление-спутник заводского изготовления
О 2 Уложить заготовки на конвейер модуля загрузки
О 3 Травить медь до полного удаления ее с участков непроводящего
рисунка в модуле травления
Р Т = 35-40 °С, da 1,32-1,40 г/см$, Р « 0,1-0,2 МПа, время выбирают в соответствии с приложением С
М Раствор в соответствии с приложением В по B.II
О 4 Промыть ПП проточной водой в модуле промывки
Р Т « 15-30 °С, t • 0.5-2,0 мин
М Вода питьевая
П
Ина. Ms Нодя.
вз4м. кмА Не
Ина. .-А дубя. I Подл, и да*<
Окончание'таблицы 18
Код, наименование операции
- Обозначение документа
К/М
Код, наименование оборудования
Наименование детали, сб. единицы или материала
Обозначение, код
JVас ад
о т о т
ромыть ПП раствором соляной кислоты в модуле струйной обработкиТ - 15-30 °С, t - 0,3-0,5 мин
Раствор в соответствии с приложением В по В.3.1.2
Промыть ПП проточной водой в модуле промывки
Т « 15-30 °С. t « 2-3 мин
Вода питьевая_
Удалить фоторезист или сеткографическую краску с поверхности ПП
в модуле снятия в соответствии с таблицами 20 или 22
Сушить ПП в модуле сушки
Т - 15-30 °С, f - 1-3 мин
Воздух сжатый
Демонтировать ПП с приспособления-спутника
Подставка-штатив заводского изготовления
П
ОСТ 92-5075-99
ровести сплошной визуальный контроль качества травления по 3.4.18 - 3.4.21 Микроскоп МБС-9 или микроскоп МПБ-2 или лупа 10-кратного увеличения£4
|
Ина. № подл. |
ДЬдп. * дат* |
Вэам. м*а N? |
Ина. Ng дубя*. |
Подл, к дат* |
|
/ЖД |
|
|
Ж. |
1 |
К
О
Б
Таблица 19 - Карта типовой технологической операции травления меди железо-медно-хлоридным раствором с непрерывной электрохимической регенерацией *
|
А |
|
Опер. |
'1 Код, наименование операции | |
Обозначение документа |
|||
|
Б |
|
|
|
Код, наименование оборудование |
|
||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единицы или материале |
Обозначение, код |
|||||
|
К |
|
|
|
Травление |
|
||
I Монтировать заготовки ПП на приспособление-спутник
Приспособление-спутник заводского изготовления
Уложить заготовки на конвейер модуля загрузки
Травить медь до полного удаления ее с участков непроводящего рисунка ПП в модуле травления
Т - 35-40 °С, pH = 0, время выбирают в соответствии с приложением С ч
« ОД-0,2 МПа
Раствор в соответствии с приложением В по В.12
Промыть ПП проточной водой в модуле промывки
« 15-30 °С, t = 0,5-2,0 мин
Вода питьевая
У
ОСТ 92-5075-99
далить сеткографическую краску с поверхности ПП в модуле снятия соответствии с таблицей 22|
Ине, N9 подл. |
Подл. М ДЛТ4 |
Вз*м. мн«. N2 |
Им.. Не дубя |
Подл, м д«т« |
|
|
|
уда ■ |
Ж |
■ |
Продолжение таблицы 19
|
А |
|
Опер. |
t Код, наименование операции । |
Обозначение документа | ^1 |
||||
|
Б |
|
* |
|
Код, наименование оборудования |
"" V |
|||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единицы или материала |
Обозначение, код |
||||||
О б Сушить ПП в модуле сушки
Р Т « 15-30 °С. t « 1-3 мин
О 7 Демонтировать ПП с приспособления-спутника
Т Подставка-штатив заводского изготовления
О %8 Провести сплошной визуальный контроль качества травления
по 3.4.18-3.4.21
Т Микроскоп МБС-9 или микроскоп МПБ-2 или лупа 10-кратного увеличения
О 9 Откачать отработанный раствор в промежуточную камер/
О 10 Установить с помощью реле времени время цикла регенерации
Р / « I мин
О
ест 92-5075-99
- II Установить переключатель рода работ "накладка-автомат* при работающйбустановке травления в положение "автомат". При достижения концентрации ясно» железа двухвалентного в растворе 12 г/л происходит автоматическое включение установки регенерации
О • 12 Откачать отработанный раствор ив промежуточной камеры в теплообменник
- Окончание таблицы 19
|
А |
|
Опер. |
1 ( ! Код, наименование операции । Обозначение документа |
||
|
Б |
Код, наименование оборудования |
||||
|
К/М |
Наименование детали, сб. единицы или материала |
Обозначение, код |
|||
|
Ина. № подл. |
Подл, м дата |
Вэам. мна М | Ина. N9 дуб*. |
Подл, м дата t |
|
|
|
1 |
I |
