О

>

І ІЗ Охладить отработанный раствор в теплообменнике

Р ТІ 20-25 °С

О 14 Откачать отработанный раствор в нижнюю часть электролизной ванны

О 15 Восстановить травящую способность раствора

Р Д - 20 А/см2, J х 3100-3300 A, t~ I мин

О 16 Очистить катоды от медного порошка с помощью вращающихся щеток

О . 17 Промыть щетки и смыть медный осадок в отстойник

М Раствор в соответствии с приложением В по В.3.1.2

О 18 Прекратить процесс регенерации раствора при достижении концентрации

ионов железа двухвалентного, равной 6 г/л

О 19 Выгрузить медный осадок из фильтров-отстойников модуля регенерации

C

ОСТ 92-5075-99

D


Ин». N9 подл.

Подч. и ДАТ»

8э«м. ми». N9


А/

ЖЖ

Ии». Nx дубл. ] Поди, и де**



Таблица 20 - Карта типовой технологической операции удаления СГЕ& воднощелочного проявления

А

z-

Опер.

' Код, наименование операции

Обозначение документа

Б

Код, наименование оборудования

К/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Обозначение, код



А Удаление фоторезиста

Б Установка снятия СПЬ типа ГТМ 1,254.001 или модуль удаления

фоторезиста комплекса "Титан-бООА-ТН"

.0 I Поместить заготовки на конвейер *

Т Приспособление-спутник заводского изготовления (для слоев многослойной ІШ)

0 2 Удалить фоторезист и ретушь в распылительном модуле установки

Р Т раствора = 18-25 °С, t • 2,5-4,0 мин

М Раствор для удаления фоторезиста в соответствии с приложением В по

B

ТТ7

.I3.I.3 или B.I4

0

ОСТ 92-5075-99

3 Промыть заготовки в модуле промывки установки

Ї Р Т « 18-25 °С

М Вода питьевая

О 4 Сушить заготовки сжатым воздухом в модуле сушки установки

Р Т ж 18-25 °С

М Воздух сжатыйa

E гл к


Ин». N5 подл.

/£>М6ЛІ


ІОДП. и дата Взлм. нив. N9 йу/УчГ.^Л


Окончание таблицы 20


Ина. <<9 дубл. J Подп. и дато


I 1 I

і I


А


Опер.

- ~ ■■■ 1

Код, наименование операции > | Обозначение документа

Б

Код, наименование оборудования

К/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Обозначение, код

q a «wo"


0 5 Снять заготовку с конвейера

Т Подставка заводского изготовления

0 6 Провести сплошной визуальный контроль поверхности. Фоторезист

должен быть полностьо удален с поверхности заготовки, не допускается окрашивание диэлектрического основания в цвет применяемого фоторезиста

Т Микроскоп МБС-9


ОСТ 92-5075-99































Ии». № подл.


/Л^/Z


ПєдЛ Й


7W


Ий«. Ml ^убл.


ТаблицЬхЙІ - Карта типовой технологической операции удаления органопроявляемого CItt


ер.


Код, наименоеанне операции


Код, иаименоеанме оборудования


ЮМ


Наименование детали, сб. адмрицм или материала


Обозначение документа


Обозначение, код


Удаление фото Установка СПБ типа "Strippi с дистиллятором С100 или типа АУБ


I Вклочить установку и охладить


Machine. С *


ста


00.00,000

идеи хлористый до температуры 14-18 °С


2 Поместить заготовки ПЛ на конвейер

Приспособление-спутник заводского изготовления (для слоев многослойных ПЛ)


V ■ 0,1-1,0 ц/мин

3 Удалить фоторезист


UV ft I


Метилен хлористый 4 Удалить фоторезист

Р - 3,5-10® - 4,0-10® Па,
Метилен хлористый


сл


тановки


олее 2 мим


распылительной камере I

* 14-18 °С, время удаления нё


l распылительной камере 2 установки Т * 14-18 °с


5 Удалить фоторезист в распылительной камере 3 установки


ОСТ 92-5075-99
































пі&дл, ^Подп. и Вмм. кН*. Н? Ии». Ng дуби,

//лМ $м/&


Оконч


А


Огйр.

Код, наименование операции

Обозначение документа

6

Код. наименование оборудмаиил

К/М

Намменоаан»«е'>етми| сб. единицы или материала

Обозначение, код

t удаления СДЬ со слоев


таблицы 21


Р - 3.5-І05 - 4,0-Ю5 Па. Т°С» многослойных ПЇІ не более 1,0 wwv

Метилен хлористый

  1. Сушить заготовку сжатым воздухом

Т * 18-25 °С

Воздух сжатый

  1. Снять заготовку с конвейера Подставка заводского изготовления


мадере сушки установки


8 Провести сплошной визуальный контроль качества удал


я фоторезиста.


а ио го


Фоторезист должен быть полностью удален с поверхности заготов Не допускается окрашивание диэлектрического основания в цвет пр фоторезиста, заметное вымывание связующего и оголение стекловолокна

Микроскоп МВС-9


ОСТ 92-5075-99






























Ина. № подл.

и дат*


A, /Аглр

Bum. ин« №


Ии». N9 дубл.Д -Подл, и Д«т«






8

А


Опер.

Код, наименование операции | Обозначение документа 1

Б

Код, наименование оборудования |,

К/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Обозначение, код

А Удаление краски

Б Комплекс "Титан-600А-7Н", комплекс модулей для травления и снятия КМ-8,

комплекс оборудования для травления и снятия краски КПИ 1.240.015, линия типа * Chemcut - 547* с модулем кислого травления и снятия I

0 I Удалить краску с заготовки в модуле снятия

Р Т раствора = 30-45 °С, t ~ 1-3 мин

М Раствор для снятия краски в соответствии с приложением В по B.I3.I.I и

ВЛЗ.І.2

0 2 Промыть заготовки проточной водой в модуле промывки линии

Р Т * 45-60 °С

М Вода питьевая

0 3 Промыть заготовки проточной водой в модуле промывки линии

Р Т « 18-25 °С

И Вода питьевая

0 4 Декапировать заготовки

Р Т « 18-35 °С

Таблица 22 - Карта типовой технологической операции удаления трафаретной краски


5


типа СТЭ.І2.І-5І, ЇНИ, ФПК-ТЦ


66"^д0?“26 100


МММ


Ин». NS поди. Подл, и дат»

ІРОНІЇ!- fyilfSW

Вэ«М. МИ» М


Подл, и дат»


А


Опер.

Код, наименование операции । Обозначение документа

Б

Код, наименование оборудования

К/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Обозначение, код

Окончание таблицы 22


М Раствор для декапирования в соответствии с приложением В по В.3.1.2

О 5 Промыть заготовки проточной водой в модуле промывки

Р Т « 18-25 °С

М Вода питьевая

О 6 Сушить заготовку в модуле сушки линии

Р Т = 45-55 °С или Т » 18-25 °С

М Воздух горячий или воздух сжатый

О 7 Провести сплошной визуальный контроль полноты снятия краски.

На поверхности платы не должно быть остатков краски. Не допускается, окрашивание диэлектрического основания в цвет применяемой краски

Т Микроскоп МБС-9 или МПБ-2

О 8 Проверить чистоту отмывки на установке контроля чистоты отмывки ПП х

типа КПМ 3.240.054 в соответствии с приложением И

Т Тераомметр


ОСТ 92-5075-99



































Ии». № подл.

^Лодл. і» дата

В ЗАМ. ии«. Ng


У


И..-, Ng Дуб^ Подл. и дате



Таблица 23 * Карта типовой технологической операции удаления трафаретной краски типа СТЗ.ІЗ

А


Опер.

1 111 ■ і

Код, наименование операции |

Обозначение документа

Б



Код, наименование оборудования


К/М


Наименование детали, сб. единицы или материале

Обозначение, код



А Удаление краски

Б Установка снятия пленочного фоторезиста типа *Sfripping Machine. С'1*

С дистиллятором С100 или типа ЛУБ 228.00.00.000

О I Включить установку и охладить метилен хлористый до температуры 14-18 °С

О 2 По_местить заготовки ПП на конвейер

О 3 Удалить защитный слой краски в распылительной камере I установки

Р Т . 14-18 °С, Р на форсунках • ГІ05 - ЗЧО5 Па, t = 2-3 мин

М Метилен хлористый

О 4 Удалить защитный слой краски в камере I установки

Р Т - 14-18 °С. Р . І-І05 - 3-Го5 Па

М

ОСТ 92-5075-99

Метилен хлористый

О 5 Удалить краску в распылительной камере 3 установки

Р Т - 14-18 °С, Р « 1-ю5 - 3-ю5 Па

М Метилен хлористый


Окончание таблицы 23

А


Опер.

Код» наименование операции

Обозначение документа

Б

Код, наименоаание оборудования

К/М

Наименование детали, сб. единицы или материале

Обозначение, код




О

0

w С m к


Ин». № подл.

Діодп. и дата

Взам. мь«. N2

Ина. № дублей

Подл- И дата


Д(г/9.ГН>






6 Сушить заготовку сжатым воздухом в отсеке сушки установки

Р Т - 18-25 °С