Проверку регистрации эллипсометрического изображения (п. 12 таблицы) производят следующим образом. Устанавливают угол падения луча равным 45°. Ввертывают в плечо анализатора объектив. Устанавливают компенсатор в положение «45°» или «315°». Устанавливают на столик фокусировки кремниевую пластину, обработанную до 14-го класса чистоты. Устанавливают фотоаппарат типа «Зенит В» (без объектива) на его посадочное место. Регулируя положение столика фокусировки, получают отраженный луч на экране видоискателя фотоаппарата типа «Зенит В». Вращением гайки механизма фокусировки тубуса анализатора получают резкое изображение поверхности. Убеждаются,
что интенсивность свечения поверхности меняется при попеременном вращении барабанов поляризатора и анализатора. Наличие резкого изображения на экране видоискателя фотоаппарата обеспечивает получение такого же изображения на фотопленке при съемке (описание фотоаппарата «Зенит В»).
Примечание. При съемке рекомендуется пользоваться тросиком, так как при использовании в качестве источника света оптического квантового генератора типа Л Г-56 для фотопленки «Фото-65» по ГОСТ 5554—70 выдержка лежит в пределах от одной до нескольких секунд.
Проверку точности определения момента погасания луча (п. 13 таблицы) производят следующим образом. Устанавливают угол падения луча равным 45 или 70°. Ставят полированную кремниевую пластину, обработанную до 14-го класса чистоты, на столик фокусировки. Выводят зеркало до упора, направив отраженный луч на фотодиод. Получают максимальный сигнал на индикаторном устройстве, регулируя положение столика фокусировки. Последовательным вращением барабанов поляризатора и анализатора настраивают микроскоп на минимальный отраженный сигнал и отсчитывают углы поворота анализатора и поляризатора. Расстраивают микроскоп, повернув анализатор и поляризатор на угол ± (5—8) ° от положения минимума. Повторяют настройку ранее описанным методом и вновь добиваются минимального сигнала. Отсчеты углов поворота поляризатора и анализатора при минимальном сигнале не должны отличаться более чем на ±4' от первоначального значения. Проводят настройку — расстройку 8—10 раз.
Проверку максимальной электрической мощности (п. 16 таблицы) производят при помощи миллиамперметра типа Э 381 с верхним пределом измерения 1000 мА и вольтметра типа Э 381 с верхним пределом измерения 300 В.
Проверку сопротивления электрической изоляции (п. 2.4) производят мегомметром Ml 101 на 1000 В. При этом тумблер «сеть» должен быть выключен. Сопротивление изоляции измеряют поочередно между контактами сетевой вилки, а также между этими контактами и корпусом микроскопа.
Проверку электрической изоляции входных силовых цепей (п. 2.5) производят установкой УПУ-1М. При этом тумблер «сеть» должен быть отключен. Испытательное напряжение прикладывают поочередно между контактами сетевой вилки микроскопа, а также между этими контактами и корпусом. Подъем и снижение испытательного напряжения осуществляют со скоростью не более 100 В/с.
Проверку настройки тубуса поляризатора на равномерность освещения (п. 2.6) производят непосредственным наблюдением при работе со всеми диафрагмами визуального тубуса при установленном объективе в тубусе анализатора.
Проверку фиксации двух положений зеркала (п. 2.7) производят опробованием.
Проверку плавного перемещения зеркала (п. 2.8) производят опробованием.
Проверку легкого перемещения фотодиода и легкого на- ворачивания фотокамеры (п. 2.9) производят опробованием.
Проверку смещения изображения (п. 2.10) производят измерением величины смещения изображения на матовом стекле, установленном в плоскости кадра, при помощи прозрачной масштабной линейки и лупы 5х.
Проверку вращения столика приборного (п. 2.11) производят опробованием.
Проверку мертвого хода приборного столика (п. 2.12) производят измерением по индикатору МЧ 02 кл. 0 по ГОСТ 577—68 при прямом и обратном ходе механизма столика. Разность отсчетов не должна превышать установленного допуска.
Проверку надписей штрихов шкал (п. 2.13) производят
визуальным наблюдением и при помощи лупы 5х.
Проверку на отсутствие дефектов на поверхности линз,,
а также разрушений отражающего слоя на зеркальных поверхностях (пп. 2.14, 2.15) производят визуально.
Проверку расфокусировки микроскопа (п. 2.16) произво
дят визуально через фотоаппарат при вращении и перемещении приборного столика.
Проверку работоспособности микроскопа (п. 2.24) производят наружным осмотром, опробованием механизмов и проведением контрольных проверок по всем требованиям настоящего
стандарта после испытания микроскопа в упакованном виде транспортированием на грузовом автомобиле, движущемся по дорогам с неусовершенствованным покрытием на расстояние 100 км со средней скоростью 20—30 км/ч. Контроль производят на одном микроскопе не реже одного раза в год.
Поверку чувствительности усилителя (п. 2.17) производят при помощи генератора ГЗ-ЗЗ следующим образом: выход гене
ратора соединяют экранированным проводом со входом усилителя; регулировкой выхода генератора добиваются отклонения стрелки индикаторного прибора усилителя на всю шкалу, регулятор усилителя при этом устанавливают на максимум; выходное напряжение генератора, измеряемое по вольтметру генератора, должно быть не более 100 мкВ.
Проверку частоты настройки усилителя (п. 2.18) производят при помощи генератора ГЗ-ЗЗ настройкой его в резонанс по максимальному отклонению индикаторного прибора усилителя. Контрольной частотой настройки усилителя является частота механического модулятора.
Проверку полосы пропускания усилителя (п. 2.19) производят с помощью генератора ГЗ-ЗЗ. На генераторе устанавливают частоту механического модулятора. Регулировкой выхода генератора добиваются отклонения стрелки индикаторного прибора до конца шкалы (100 делений). Затем, вращая ручку установки частоты генератора поочередно в обе стороны, устанавливают стрелку индикаторного прибора на отметку «70». В обоих случаях снимают значение верхней и нижней частот. Затем из верхнего значения частот вычитают нижнее. Полученная разность должна лежать в пределах 20—30 Гц.
Проверку максимального уровня шумов (п. 2.20) производят после отключения от входа усилителя кабеля с фотодиода.
При этом стрелка индикаторного прибора должна отклониться не более чем на одно деление в начале шкалы.
Проверку микроскопа на устойчивость к нагреванию (п. 2.21) производят в камере тепла в течение 4 ч после достижения в ней предельной температуры (45°С) осмотром.
Проверку перекрытия штрихов шкалы (п. 2.22) производят наружным осмотром и опробованием.
Проверку плавности вращения лимбов (п. 2.23) производят следующим образом. На барабан, при помощи которого лимб приводят во вращение вручную, должна быть намотана нить, на конце которой закреплен груз 50 кг. При этом должно наблюдаться свободное опускание груза.
Проверке подвергают все барабаны.
МАРКИРОВКА, УПАКОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ
Каждый микроскоп должен иметь маркировку, содержащую следующие данные:
товарный знак предприятия-изготовителя;
условное обозначение микроскопа;
дату изготовления;
Государственный знак качества по ГОСТ 1.9—67;
обозначение настоящего стандарта.
Вся товаросопроводительная документация должна иметь изображение Государственного знака качества.
Перед упаковыванием все поверхности микроскопа, не защищенные лакокрасочными покрытиями, должны быть покрыты консервационной смазкой ГОИ-54п по ГОСТ 3276—63. Вблизи нестойких к коррозии деталей размещают силикагель КСМ по ГОСТ 3956—54 в мешочках из отбеленной х/б ткани по ГОСТ 11680—65. Микроскоп завертывают в оберточную бумагу по ГОСТ 8273—57 и помещают в герметичный чехол из полиэтиленовой пленки марки А толщиной 0,2 мм по ГОСТ 10354—63.
Консервация микроскопа и комплектующих изделий должна обеспечивать в течение одного года защиту от коррозии при транспортировании и хранении на складе при соблюдении правил транспортирования и хранения, указанных в настоящем стандарте или другой технической документации, утвержденной в установленном порядке. При хранении более одного года микроскоп подлежит переконсервации.
Упаковочный лист должен быть подписан лицом, производившим упаковку, и заверен подписью представителя технического контроля.
Тара и упаковка должны обеспечивать защиту микроскопа от повреждений во время транспортирования. На боковых сто-ронах тары по ГОСТ 2991—69 должны быть нанесены маркировка по ГОСТ 14192—71 и Государственный знак качества.
Транспортирование микроскопа в упаковке допускается любым видом транспорта.
Микроскоп в упакованном виде хранят в закрытом, сухом, отапливаемом помещении при отсутствии в окружающей среде паров кислот, щелочей и других агрессивных примесей. Температура воздуха в помещении должна быть от 5 до 40°С, относительная влажность — не более 95%.
ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ
Изготовитель должен гарантировать соответствие микроскопа требованиям настоящего стандарта при соблюдении потребителем условий эксплуатации и хранения, установленных стандартом.
Гарантийный срок эксплуатации микроскопа устанавливается 18 месяцев со дня ввода в эксплуатацию.
ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ
Микроскоп должен быть надежно заземлен. Болтовые контакты для заземления не должны быть окрашены. Над ними должен быть нанесен знак «Заземление».
Для защиты от прямого попадания излучения на работающих оптический квантовый генератор должен быть установлен в специальном корпусе.
Для обеспечения безопасности оператора при визуальном наблюдении эллипсометрического изображения и индикации минимума в микроскопе должен быть установлен специальный светофильтр.
К работе на микроскопе допускаются лица, проверенные на знание правил безопасности при работе на установках свыше 1000 В
.Редактор Е. И. Глазкова
Технический редактор Л. Б. Семенова
Корректор С. М. Гофман
Сдано в наб. 24.08.73,
Подп. в печ. 04ЛО.73
0,75 п. л.
Тир. 2000
Издательство стандартов. Москва, Д-22, Новопресненский пер., 3
Тип. «Московский печатник». Москва, Лялин пер., 6. Зак. 1642
