Е-22-3. Хранение баллонов со смесями должно производиться в отдельном помещении (боксе).
Е-22-4. Баллоны, предназначенные для перезарядки, должны быть обязательно промыты инертным газом.
Е-22-5. Для защиты органов дыхания при работе со смесями арсина и диборана применять противогаз марки Е, а для смеси моносилана — марок А и М.
Е-22-6. Работа с гидридами должна производиться в инертной атмосфере в вытяжном шкафу.
Е-22-7. Наиболее опасным среди комплексных гид. РИДОВ является диборан (В2Н6). Он в большинстве случаев самопроизвольно воспламеняется при контакте с воздухом, а в смеси с ним в присутствии примесей взрывается. Диборан очень токсичен. Вдыхание небольших количеств его вызывает головную боль, головокружение и обморок. Он оказывает вредное действие на центральную нервную систему.
Неприятный запах диборана напоминает запах сероуглерода, ощущается только при концентрации от 2 до 4 мг/м3, в то время как предельно допустимая концентрация диборана при 8-часовой работе 0,11 мг/м3.
Е-22-8. Необходимо избытки диборана разлагать, барботируя его через ацетон. Ловушки необходимо охлаждать жидким азотом во избежание попадания диборана в вакуумный насос или вакуумную систему ла боратории.
Е-22-9. Особую осторожность следует соблюдать при вскрытии сосудов и запаянных стеклянных трубок с ди-
бораном. Кончик трубки после надпиливания следует отламывать стеклорезом.
Категорически запрещается вскрывать стеклянные ампулы с помощью раскаленной стеклянной палочки.
Е-22-10. Воспламенившийся диборан очень трудно погасить. Он горит в двуокиси углерода и реагирует с че-тыреххлористым углеродом. В азоте диборан также горит и может взрываться.
Тушить очаги возгорания диборана необходимо песком или бикарбонатом натрия, которые должны находиться на рабочих местах.
Е-22-11. Использовать диборан необходимо в минимальных для работы количествах.
ГЛАВА Е-23. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ С ГИДРАЗИНОМ
Е-23-1. Гидразин применяется для эпитаксиального наращивания пленок. Относится к чрезвычайно токсичным веществам. При работе с ним необходимо соблюдать требования, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил, и следующие меры предосторожности.
Е-23-2. К работе с гидразином должны допускаться лица, сдавшие экзамен по технике безопасности и получившие удостоверение на право допуска к работе с гидразином.
Е-23-3. Все операции с применением гидразина необходимо производить в вытяжном шкафу в промышленном противогазе марки «А», резиновом фартуке, анатомических перчатках, нарукавниках.
Е-23-4. Транспортировку гидразина необходимо производить в специальной герметичной таре из полиэтилена или фторопласта, снабженной соответствующей надписью.
Е-23-5. Хранение гидразина должно производиться в герметичной таре в специально отведенных местах, вдали от окислителей и открытого огня.
ГЛАВА Е-24. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ДИФФУЗИИ
В ПРОТОКЕ ГАЗОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ ГИДРИДОВ ДИФФУЗАНТА И ЖИДКИХ ДИФФУЗАНТОВ
Е-24-1. При работе на электрооборудовании необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в «Пра-вилах технической эксплуатации электроустановок по-
требителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-24-2. Эксплуатация баллонов со сжатыми газами должна соответствовать «Правилам устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-24-3. Печи должны быть оборудованы местными вытяжками от мест выделения вредных веществ.
Е-24-4. Температура наружных поверхностей печей не должна быть выше 40 °С.
Е-24-5. Перед выгрузкой изделий печи должны охлаждаться до температуры не выше 40 °С.
Е-24-6. Работающие должны быть обеспечены необходимыми средствами индивидуальной защиты.
ДИФФУЗИЯ В ПРОТОКЕ ГАЗОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ ГИДРИДОВ ДИФФУЗАНТА
Е-24-7. При проведении процессов диффузии с применением гидридов диффузанта (арсина, диборана, фос-фина и т.д.) должны соблюдаться требования, изложенные в гл. Е-22 настоящих Правил, и следующие меры безопасности.
Е-24-8. Оборудование, коммуникации, газораспределительная система должны быть герметичными. При наличии утечки газообразных диффузантов работа категорически запрещается.
Е-24-9. Диффузионная установка должна быть снабжена поглотителем гидридов элементов III—V групп во входном скафандре и иметь переключатель газа-диффу-занта из печи на выброс через поглотитель.
Е-24-10. На выходе газов из печи необходимо устанавливать поглотитель продуктов окисления гидрида — диффузанта.
Выброс гидридов в атмосферу запрещается.
Е-24-11. Диффузионная печь должна быть оборудована местной вытяжной вентиляцией.
Е-24-12. Диборан в смеси с кислородом взрывоопасен. Наличие кислородных трубопроводов в помещении, где работают с дибораном, не допускается.
Е-24-13. В случае нарушения герметичности газовой системы администрация обязана немедленно вывести людей из помещения и принять меры по ликвидации аварии.
Е-24-14. Все работающие с дибораном, арсином, фос-фином должны быть обеспечены промышленными противогазами соответствующей марки.
Е-24-15. При появлении признаков отравления гидридами элементов III—V групп необходимо вывести пострадавшего на свежий воздух, обеспечить покой, тепло и немедленно вызвать врача.
ДИФФУЗИЯ С ПРИМЕНЕНИЕМ ЖИДКИХ ДИФФУЗАНТОВ
Е-24-16. При проведении работ с жидкими диффу-зантами (треххлористым фосфором и трехбромистым бором) необходимо знать их свойства, изложенные в гл. Е-14 настоящих Правил. Работающие должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты.
Е-24-17. Треххлористый фосфор и трехбромистый бор должны храниться и транспортироваться в запаянных кварцевых ампулах, помещенных в герметично закрывающийся контейнер из полистирола или пенопласта, с размещением каждой ампулы в отдельном гнезде с амортизирующими прокладками.
Е-24-18. Хранение треххлористого фосфора и трехбро-мистого бора в незапаянных ампулах категорически воспрещается.
Е-24-19. Ампулы с треххлористым фосфором и трехбромистым бором должны храниться в местах, недоступных попаданию воды.
Е-24-20. Вскрытие ампул с треххлористым фосфором и трехбромистым бором необходимо производить в промышленном противогазе марки М, халате, резиновых нарукавниках, анатомических перчатках в присутствии инженерно-технического работника, ответственного за проведение данной работы.
Вскрывать ампулы с треххлористым фосфором и трехбромистым бором необходимо, не вынимая из защитной оболочки в вытяжном шкафу.
Е-24-21. Наличие воды на месте производства работ с жидкими диффузантами категорически запрещается.
Е-24-22. Аппаратура и оборудование, предназначенные для работ с жидкими диффузантами, должны быть герметичными.
Е-24-23. Остатки треххлористого фосфора и трехбро-мистого бора необходимо нейтрализовать. Ампулы и посуда, бывшие в употреблении, также должны быть нейтрализованы.
ГЛАВА Е-25. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ С ЧЕТЫРЕХХЛОРИСТЫМ КРЕМНИЕМ
Е-25-1. Все работы с четыреххлористым кремнием необходимо проводить в вытяжном шкафу. Оборудование и ведущие коммуникации должны быть герметичными.
Е-25-2. Работы с четыреххлористым кремнием должны производиться с использованием средств индивидуальной защиты: хлопчатобумажные халаты, анатомические перчатки, защитные очки, защитный резиновый фартук.
Е-25-3, Храниться и транспортироваться четыреххло-ристый кремний должен в стальных баллонах емкостью , покрытых внутри фторопластом.
Е-25-4. Нейтрализация отходов четыреххлористого кремния должна осуществляться на выходе из системы в ловушке.
Е-25-5. Баллоны с четыреххлористым кремнием должны храниться в деревянном ящике с сухим льдом под вытяжкой.
Е-25-6. Работа с четыреххлористым кремнием вблизи нагревательных приборов и влаги запрещается.
Е-25-7. Химическая посуда, применяемая для работы с четыреххлористым кремнием, должна быть чистой и сухой. Во избежание взрыва наличие влаги недопустимо.
Е-25-8. Особо чистый четыреххлористый кремний разрешается перевозить и хранить в запаянных кварцевых ампулах емкостью , уложенных в деревянные ящики со специальной мягкой уплотнительной набивкой. При этом каждая ампула в отдельности должна иметь мягкую упаковку.
Е-25-9. При вскрытии деревянного ящика и последующей распаковки ампул необходимо соблюдать максимальную осторожность. Одновременно можно брать из ящика не более одной ампулы.
Е-25-10. Четыреххлористый кремний необходимо хранить при температуре не выше 15 °С вдали от нагревательных приборов и отопительных систем.
Е-25-11. Вскрытие ампул с четыреххлористым крем-дием необходимо проводить в вытяжном шкафу на поддоне с бортами не ниже .
Е-25-12. При необходимости остатки четыреххлористого кремния разрешается гидролизовать путем медлен-нбго переливания его в сосуд с 2%-ным раствором вод-
ного аммиака. Оставлять открытую ампулу с четыре хлористым кремнием запрещается.
E-25-I3. При проливе четыреххлористого кремния необходимо залить данное место 2%-ным раствором водного аммиака или засыпать песком и затем смыть водой. Песок нейтрализовать в вытяжном шкафу.
ГЛАВА Е-26. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ С ТРИХЛОРСИЛАНОМ
Е-26-1. При работе с трихлорсиланом применение открытого огня недопустимо ввиду его взрывоопасности (пределы взрываемости в смеси с воздухом 1,59—90,5%).
Е-26-2. Хранить и транспортировать трихлорсилая разрешается только в герметичных сосудах и бочках из нержавеющей стали, снабженных запорной арматурой.
Е-26-3. В помещении должны находиться средства пожаротушения (сухой песок, асбестовое одеяло или накидка, огнетушитель, совок, лопата).
Е-26-4. Все работы с трихлорсиланом проводить в скафандрах, оборудованных вытяжной вентиляцией.
Е-26-5. Аппаратура и оборудование, используемые для работы с трихлорсиланом, должны быть герметичными.
Е-26-6. Все ремонтные работы на трубопроводах из-под трихлорсилана необходимо проводить после предварительной продувки их инертным газом в течение 1 ч и промывки четыреххлористым углеродом или четырех-хлористым кремнием.
Е-26-7. Учитывая взрывоопасность продуктов гидролиза трихлорсилана, все емкости, тара, трубопроводы и узлы, бывшие в соприкосновении с трихлорсиланом, немедленно после разгерметизации установки должны промываться четыреххлористым кремнием или четыреххлористым углеродом, а лишь затем подвергаться в случае необходимости ремонту.
При промывке тары, трубопроводов, емкостей, узлов, бывших в соприкосновении с трихлорсиланом, необходимо соблюдать меры предосторожности, указанные в главах Г-1 — Г-4 настоящих Правил.
Е-26-8. При работе с трихлорсиланом необходимо пользоваться инструментом в искробезопасном исполнении.
Е-26-9. При мойке и чистке аппаратуры из-под три-хлорсилана налеты удалять механическим путем запрещается.
Е-26-10. Все работы по демонтажу вентилей и трубопроводов с трихлорсиланом следует проводить в противогазе марки В или М (в случае тумана — с фильтром), халате, сапогах, анатомических перчатках, резиновом фартуке, резиновых нарукавниках.
ГЛАВА Е-27. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РЕЗКЕ, ШЛИФОВКЕ, ПОЛИРОВКЕ И ОТМЫВКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Е-27-1. Процесс обработки полупроводниковых материалов включает в себя:
а) резку монокристаллических дисков на пластины алмазными кругами;
б) шлифовку алмазными кругами различной зернистости с предварительной наклейкой полупроводниковых пластин на наклеечные блоки;
в) полировку пластин на блоках окисью хрома, двуокисью циркония и другими материалами.
В процессе полировки применяется этиловый спирт для лучшей чистоты обработки и охлаждения пластин.
После полировки пластины снимаются с наклеечных блоков путем разогревания на паровых банях. Далее пластины отмываются в органических растворителях и минеральных кислотах.
Е-27-2. При работе на станках должны соблюдаться меры электробезопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-27-3. Станки резки, шлифовки, полировки должны эксплуатироваться в соответствии с «Правилами техники безопасности и производственной санитарии при холодной обработке металлов», «Правилами и нормами безопасной работы с алмазным инструментом» (ГОСТ 16182-70).
Е-27-4. Во всех возможных случаях должно применяться мокрое шлифование и полирование.
При сухой шлифовке и полировке станки необходимо оборудовать защитными кожухами, пылеуловителями и
местными отсосами, соединенными с вытяжной вентиляцией.
Е-27-5. Станки резки полупроводниковых материалов необходимо оборудовать съемными кожухами с окнами из оргстекла для ограждения режущего инструмента.
Е-27-6. Установка алмазного инструмента на станки и его правка разрешается лицам, прошедшим обучение.
Е-27-7. Станки с алмазным инструментом должны быть оборудованы приспособлениями для безопасной правки.
Е-27-8. Режущий инструмент должен быть плоским и целым, края планшайб, на которых производится шлифовка полупроводниковых материалов, не должны иметь острых кромок и выколов.
Е-27-9. При работе на ультразвуковых установках необходимо руководствоваться «Гигиеническими требованиями к устройству и эксплуатации ультразвуковых установок» и разд. И настоящих Правил.
Е-27-10. Варку наклеечных мастик и приклейку полупроводниковых материалов необходимо производить в вытяжных шкафах.
Е-27-11. При работе с легковоспламеняющимися жидкостями необходимо соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Г-7, а при работе с кислотами — в гл. Г-3 настоящих Правил.
Е-27-12. Резку, шлифовку и полировку пластин из фосфида и арселида галлия и др. (типов A111 Bv и А II В VI ) необходимо производить в боксе.
Станки должны быть оборудованы местной вытяжной вентиляцией.
