ПІ 1.4.32-185-2001. Примірна інструкція з охорони праці при обслуговуванні установок газотранспортного осаджування кремнію (33269)

ДЕРЖАВНИЙ КОМІТЕТ ПРОМИСЛОВОЇ ПОЛІТИКИ УКРАЇНИ

ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ

ПРИ ОБСЛУГОВУВАННІ УСТАНОВОК ГАЗОТРАНСПОРТНОГО ОСАДЖУВАННЯ КРЕМНІЮ

КИЇВ

ПІ 1.4.32-185-2001

ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ ПРИ ОБСЛУГОВУВАННІ УСТАНОВОК ГАЗОТРАНСПОРТНОГО ОСАДЖУВАННЯ КРЕМНІЮ

Київ

1. ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ

1. Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки для персоналу, який забезпечує підготовку та обслуговування установок піролітичного осаджування кремнію та його сполук для проведення технологічних процесів. Вона може бути використана як основа для розробки інструкцій, що діють на підприємствах по виробництву продукції мікроелектроніки.
2. Роботи на установках газотранспортного осаджування кремнію та його сполук відносяться до робіт із шкідливими речовинами і підвищеною небезпекою відповідно до ГОСТ 12.1.007-76 і "Переліку робіт з підвищеною небезпекою", затв. Держнаглядохоронпраці

30.11.1993 р. №123.

1.3.Згідно з Законом України "Про охорону праці" (далі Законом) до самостійного виконання робіт допускаються особи:

• яким виповнилось 18 років (ст. 15 Закону);
• які пройшли медичний огляд відповідно до наказу №45. Мінохорони здоров'я України від 30 березня 1994 р. та не мають медичних протипоказань;
• які пройшли інструктаж (навчання) з охорони праці, в тому числі при виконанні робіт з підвищеною небезпекою, ознайомлені з правилами поведінки при виникненні аварій та надання першої допомоги потерпілим від нещасних випадків (ст. 20 Закону).
• які пройшли професійний добір і склали іспит на право працювати з газами, агресивними та легкозаймистими хімічними речовинами, на право експлуатації посудин під тиском, на право технічної експлуатації електроустановок споживачів напругою до 1000 В і мають кваліфікаційну групу не нижче III (керівник робіт, бригадир або старший групи - не нижче III або IV);

-які пройшли інструктаж на робочому місці з записом в журналіінструктажу.

1.4. Персонал, який виконує роботи на установках газотранспортного осаджування кремнію та його сполук, зобов'язаний:

• знати та виконувати вимоги нормативних актів про охорону праці (правила, стандарти, норми, положення, інструкції);
• знати та виконувати правила поведінки з устаткуванням та іншими засобами виробництва;
• користуватись засобами колективного та індивідуального захисту;
• дотримуватись зобов'язань з охорони праці, передбачених колективним договором, угодою, трудовим договором та правилами внутрішнього трудового розпорядку підприємства (установи), в тому числі;

а)вчасно починати та закінчувати роботу, дотримуватись встановленого часу технологічної та обідньої перерв;

б)не виконувати роботи, не передбачені змінним завданням;

в)не знаходитись на роботі у позаробочий час без відповідногодозволу керівника;

• проходити у встановленому порядку попередні та періодичні медичні огляди;
• співробітничати з власником у справі організації безпечних і нешкідливих умов праці, особисто вживати посильних заходів щодо усунення будь-якої виробничої ситуації, яка створює загрозу його життю чи здоров'ю або людей, які його оточують, і навколишньому середовищу.
• повідомляти про небезпеку свого безпосереднього керівника або іншу посадову особу (ст. 18 Закону).

1. На робочому місці повинно знаходитись не менше двох працівників.
2. Працівникам забороняється залишати робоче місце без нагляду.
3. При обслуговуванні установок газотранспортного осаджування кремнію та його сполук можуть мати місце такі небезпечні та шкідливі чинники:

а)фізичні:

• ураження електричним струмом;
• вибухонебезпека;
• ураження від самозаймання газових сумішей;
• підвищення або зниження температури робочої зони;
• недостатня освітленість робочої зони;

б)хімічі:

• можливе отримання хімічних опіків;
• можливе отруєння;
• токсична та подразнююча дія на організм людини (шкірний покрив, слизові оболонки очей та органів дихання, нервову та серцеву системи) робочих газів та рідин, газоподібних продуктів хімічних реакцій.

1.8.Для робіт зі шкідливими та небезпечними умовами праці персоналу видасться за встановленими нормами спеціальний одяг,спеціальне взуття та інші засоби індивідуального захисту:

• халат лавсановий (білий або світлих тонів) ГОСТ 12.4.103-83;
• ковпак (шапочка) лавсановий (білий або світлих тонів) ГОСТ 12.4.011-89;
• взуття шкіряне (тапочки) ГОСТ 12.4.137-84;
• рукавички гумові тип II ГОСТ 12.4.103-83;
• рукавички гумові технічні ГОСТ 20010-93;
• фартух з прогумованої тканини ГОСТ 12.4.029-76;
• килимок діелектричний гумовий ГОСТ 4997-75;
• окуляри захисні ГОСТ 12.4.013-85;
• респіратор РПГ-67 ГОСТ 12.4.004-74;
• протигаз фільтруючий ГОСТ 12.4.121-83;
• коробки фільтруючі відповідної марки (дивись таблицю 1, ГОСТ 12.4.122-83);

За встановленими нормами також видається мило.

1.9.Персонал, який здійснює підготовку та обслуговування установок піролітичного осаджування плівок, зобов'язаний дотримуватисьвимог санітарних норм та особистої гігієни:

• розпочинати роботу тільки у необхідних засобах індивідуального захисту;
• утримувати протягом зміни робоче місце в чистоті і порядку;
• їсти та зберігати їжу тільки у спеціально відведених місцях;
• зберігати харчові продукти, в тому числі й молочні, що видаються на підприємстві, в холодильниках, які використовуються тільки з цією метою;
• перед тим, як вийти на технологічну перерву (для відпочинку, паління або з інших причин), необхідно вимити з милом руки, обличчя і прополоскати ротову порожнину;
• після закінчення роботи вимити з милом забруднені частини тіла або прийняти душ, прополоскати ротову порожнину.

1. Працюючий персонал зобов'язаний дотримуватись правил пожежної безпеки, знати місця розташування засобів пожежогасіння, знати порядок їх використання та вміти ними користуватись.
2. Властивості технологічних газів і рідин та їх небезпечні чинники.

1.11.1.Суміш газова моносилану з аргоном або воднем(ТУ6-02-1228-82)- безбарвний токсичний газ. Властивості газовоїсуміші визначаються властивостями компонентів, з яких вона складається.

Моносилан (SiН4)

За нормальних умов - це безбарвний токсичний газ з неприємним ядучим запахом, що нагадує сірководень.

Температура кипіння - мінус 112°С,

густина газу -1,45 кг/м3.

Моносилан хімічно активний, на повітрі самозаймистий, в присутності кисню окислюється зі спалахом навіть при низьких температурах. Пожежонебезпека моносилану виявляється при наявності кисню більше ніж 0,7 % об'єму. Моносилан у суміші з інертним газом або воднем при концентраціях до 4% об. не є вибухонебезпечним.

Водою або розбавленими лугами моносилан розкладається з утворенням кремнієвої кислоти (або силікатів) та водню. Враховуючи, що при контакті моносилану з повітрям, відбувається миттєве окислення з самозайманням, оцінка його токсичності визначається по продукту згоряння - діоксиду кремнію. Гранично допустима концентрація (ГДК) двоокису кремнію в повітрі - 1,0 мг/м3, 3 клас небезпеки (ГОСТ 12.1.005-88).

Продукт згоряння моносилану - двоокис кремнію справляє токсичну дію на організм людини, яка спричиняє головний біль, запаморочення, нудоту, жар, непритомний стан.

1.11.2.Дихлоретан (SіH2Cl2) ДХС-120 (ТУ48-0513-027.0-89)- рідина з температурою кипіння 8,3°С. Балони, які заповнені рідкимдихлорсиланом, при кімнатній температурі мають надлишковийтиск ~ 0,5 атм.

За нормальних умов дихлорсилан - це безбарвний газ, при взаємодії з повітрям "димить"внаслідок реакції з вологою повітря з утворенням парів НС1, має характерний різкий запах соляної кислоти. Дихлорсилан самозаймається на повітрі, утворює вибухонебезпечні суміші.

Температура спалаху у відкритому тиглі 51 °С.

Температура самозаймання:

• у вологій атмосфері 197°С;
• в осушеній атмосфері 170°С.

Нижня концентраційна межа займистості (2,5±0,2) %

Верхня концентраційна межа займистості (98,8±0,6) %

Нижня температурна межа займистості (-59°С)

Категорія вибухонебезпечної суміші II С.

ГДК дихлореилану у повітрі-1,0 мг/м3, 2 клас небезпеки -(ГОСТ 12.1.007-76).

Дихлорсилан є токсичним. Уражає слизові оболонки органів дихання, очі, нервову систему. Може спричинити виразки на шкірі.

Продукт згоряння дихлореилану - двоокис кремнію спрвляє токсичну дію на організм людини. Симптоми отруєння дихлорєиланом:

подразнення слизових оболонок очей, ротової порожнини, горла, носа, легенів, головний біль, запаморочення, жар, нудота, непритомний стан.

1.11.3. Суміш газова фосфіну з аргоном (ТУ301-07-26-90) або воднем (ТУ6-02-590-84) - безбарвний токсичний газ.

Небезпека газової суміші обумовлюється наявністю в суміші фосфіну і залежить від його процентного вмісту.

Фосфін (РНз) - безбарвний токсичний газ без запаху. Повітря зі слідами фосфіну має запах гнилої риби.

Температура кипіння фосфіну - мінус 87,4°С

Густина газу- 1,53 кг/м3.

Суміші фосфіну з повітрям нестійкі, вибухонебезпечні.

межа займистості у повітрі - (0,5... 100) % об'єму.

При температурі 300°С і понад фосфін розкладається на фосфор та водень. ГДК фосфіну в повітрі - 0,1 мт/м3. Клас небезпеки 2 -(ГОСТ 12.1.007-76).

Фосфін негативно впливає на нервову систему, порушує обмін речовин, уражає кровоносні судини, органи дихання, печінку, нирки.

Симптоми отруєння фосфіном: дере в горлі, кашель, ядуха, головний біль, запаморочення, шум у вухах, потіння, спрага, блювота, непритомність.

1.11.4. Суміш газова диборану з аргоном - безбарвний сильно токсичний газ. Токсичність суміші зумовлена наявністю в суміші диборану.

Диборан (ВгН6) - безбарвний сильно токсичний газ з неприємним запахом, який нагадує запах сірковуглецю і який можна відчути тільки при концентраціях від 2 до 4 мг/м3.

Температура кипіння диборану - мінус 92,52°С.

Густина газу- 1,24 кг/м3.

Диборан - сильний відновник. Він в більшості випадків самозаймається при контакті з повітрям, а у суміші з повітрям в присутності домішок вибухає. Диборан утворює з повітрям вибухонебезпечні суміші в межах від 1,4 до 92 % об. ГДК-0,1; 1 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.005-88.

Вдихання невеликої кількості диборану спричиняє головний біль, запаморочення, непритомний стан. Диборан уражає центральну нервову систему, спричиняє подразнення дихальних шляхів, може призвести до еремії легенів, тимчасового ураження нирок та печінки. Контакт зі шкірою може спричинити дерматит.

1.11.5.Суміш газова арсину з аргоном або воднем - безбарвнийтоксичний газ. Токсичність суміші зумовлена арсином, який входить доїї складу.

Арсин (АsН3) - безбарвний токсичний газ з неприємним запахом, який нагадує запах часнику.

Температура кипіння арсину - мінус 62,48°С.

Густина газу- 1,24 кг/м3.

У повітрі арсин легко загоряється блакитнуватим полум'ям. Продуктом згоряння арсину є вода та миш'як (або окис миш'яку). Отруйна дія арсину уповільнена. Спочатку симптоми виявляються слабко, ознаки тяжкого отруєння (остуда, загальна слабкість, головний біль, запаморочення, нудота, блювота, слизові оболонки синіють, сеча набуває кров'янистого кольору) з'являються через деякий час (від 2 до 10 годин). ГДК арсину в повітрі - 0,1 мг/м3. Клас небезпеки 1 -(ГОСТ 12.1.005-88).

1.11.6.Водень хлористий рідкий (ТУ6-01-4689387-42-90).Хлористий водень (НС1) за нормальних умов - безбарвний газ з

ядучим запахом.

Температура кипіння - мінус 85,1 °С.

Густина газу- 1,639 кг/м3.

Хлористий водень добре розчиняється у воді, утворюючи при цьому соляну кислоту. Він сильно "димить" у вологому повітрі через утворення з парами води крапель туману.

Хлористий водень сильно подразнює верхні дихальні шляхи, роз'їдає очі, шкіру, на зволоженій шкірі він спричиняє хімічні опіки.

ГДК хлористого водню в повітрі - 5,0 мг/м3. Клас небезпеки 3 -(ГОСТ 12.1.007-76).

1.11.7.Аміак рідкий (ГОСТ 6221 -90).

Аміак (ИНз) - безбарвний газ з різким запахом нашатирного спирту.

Температура кипіння аміаку - мінус 33,4°С.

Густина газу- 0,77 кг/м3.

Газоподібний аміак відноситься до горючих газів. Повітря, яке має вміст аміаку 16,5...26,8 % об'єму, - вибухонебезпечне. При температурі 650°С аміак самозаймається. Аміак швидко розчиняється у воді. Водний розчин його має сильні лужні властивості. Пари аміаку подразнюють легені, слизові оболонки очей, порожнини рота, горла, носа. Висока концентрація аміаку в повітрі може спричинити ядуху, пошкодження слизових оболонок очей і навіть призвести до втрати зору. Контакт аміаку зі зволоженою шкірою спричиняє сильні опіки.

ГДК аміаку в повітрі - 20 мг/м3. Клас небезпеки 4 -(ГОСТ 12.1.005-88).

Рідкий аміак або струмінь газу при попаданні на шкіру спричиняють сильні опіки.

1.11.8. Кремній чотирихлорстий (SіС14) (ТУ6-09-197-88) за нормальних умов - безбарвна рідина з різким ядучим запахом.

Температура кипіння - 57,6°С.

В присутності вологи в повітрі гідролізується з виділенням хлористого водню.

Чотирихлорстий кремній сильно подразнює слизові оболонки дихальних шляхів, очей. Довготривале вдихання його парів призводить до захворюваннь легенів. Попадання на шкіру чотирихлорстого кремнію спричиняє сильні опіки.

ГДК суміші парів та аерозоля чотирихлорстого кремнію - 1 мг/м3. 2 клас небезпеки-(Г0СТ 12.1.007-76).

1.11.9.Трихлоретилен (С2НСl3) (ГОСТ 9976-94, ТУ6-09-1012-79).

Трихлоретилен - прозора безбарвна летюча рідина, що має густину при 20°С - 1,46 г/см3, погано горить. Температура кипіння 73,б°С. Температура самозаймистості 380°С. Пари трихлоретилену з повітрям утворюють вибухонебезпечну суміш.

Концентраційні межі розповсюдження полум'я: