металлизации отверстий.
А.8 Инструкция 8 ’’Раствор для химического меднения отверстий печатных плат" ■
А.8.1 Состав раствора
Медь сернокислая, х.ч. по ГОСТ 4165, г/л 30-35
Калий-натрий виннокислый, ч.д.а. или х.ч. по
ГОСТ 5845 или ТУ6-09-2677, г/л 170-190
Никель сернокислый, х.ч. по ГОСТ 4465 или никель двухлористый 6-водный, ч.д.а. по ГОСТ 4038, г/л 4-5
Натрия гидроокись, х.ч. по ГОСТ 4328, г/л 40-60
Натрий углекислый безводный, х.ч. по
ГОСТ 83, г/л 30-35
Формалин технический (37%), высший по
ГОСТ 1625, мл/л 2-15
Спирт этиловый по ГОСТ 18300, мл/л . 10-20
Натрия тиосульфат кристаллический по ГОСТ 244,
1,6 %-ныЙ раствор, мл/л 0,1-0,15
Вода дистиллированная по ГОСТ 6709 или
вода деионизованная по OCT II 029.003, л . до I
А.8.2 Приготовление раствора
В 200 мл дистиллированной или деионизованной воды растворяют медь сернокислую и никель сернокислый. Отдельно растворяют в 500 мл воды компоненты в следующей последовательности: натрия гидроокись,
31
X
X
Ё-. < о
О1 Z
№
X
в-
S
І ® п ш.
5 ;-С Ж .Z.
я;
X
м-iw-SJkJU—
Ф. 2 ЇІЕЦ
OCT 92-5077-99 .
калий-натрий виннокислый, натрий углекислый и в этот раствор при тщательном перемешивании вводят раствор сернокислой меди и сернокислого никеля, а затем этиловый спирт* Стабилизатор тиосульфат натрия готовят в виде 1,6 %-ного раствора и вводят в раствор химического меднения из расчета от 0,1 до 0,15 мл на I л раствора (допускается применение других стабилизирующих добавок). Формалин вводят в раствор химического, меднения во время от 15 до 20 минут до сначала работы»
Стабилизацию раствора химического меднения производят ежеднев- /;но по окончании работ, для чего в рабочий раствор вводят Т,6 %-ный раствор тиосульфата натрия Из расчета от 0,1 до 0,15 мл/л, тщатель- „ЙЬ перемешивают и выдерживают раствор в рабочей ванне'при включенной /системе непрерывной фильтрации в течение времени от 30 до 60 мин. ..Не реже одного раза в неделю раствор следует профильтровать в от- /.дельную емкость через систему непрерывной фильтрации или через ' ' ' ■ ■ ■ , ■ .'у ■ ' '
фильтр, состоящий из двух слоев хлориновой ткани и одного слоя филь- ^роральной бумаги по ГОСТ 12026‘между ними. Образовавшийся на дне /и/стенках рабочей ванны и в системе непрерывной фильтрации шлам
..ре^рменцуется удалять раствором аммония надсернокислого (концентра- ’ ция не менее 10 г/л), для чего этим раствором заполняют рабочую
ванну, включают систему непрерывной фильтрации на время от 1,5 до
2 часов., После этого ванну освобождают от раствора надсернокислого /дммбния, промывают питьевой водой и заполняют 3 %-ным раствором •гидроокиси натрия и обрабатывают им при включенной системе фильтра- . ции не менее двух часов. После удаления щелачи ванну промывает питьевой, а затем дистиллированной или деионизованной водой.
Анализ раствора на содержание меди сернокислой и гидроокиси натрия проводят ежедневно, на содержание калия-натрия виннокислого- . два раза в неделю.
32
udzkgr&r °
200-250
до I
Инв. № подл. 1 Подл, и дата | Вэам. ина. Ng | Ине. N5 дубл.' | Подо, и дата
200-250
до I
ОСТ 92-5077-99
Срок эксплуатации раствора химического меднения от трех до шести месяцев. В случае сохранения работоспособности раствора срок не орраничевается и определяется по качеству металлизации отверстий.
А.8.3 Корректирование раствора
А.8.3.1 Корректирование раствора химического меднения производят на содержание сернокислой меди и свободной щелочи путем добавления рассчитанных по результатам анализа объемов корректировочных растворов, предварительно профильтровав их через фильтр из хлориновой ткани.
A.8.3.1.1 Состав корректировочного раствора I Медь сернокислая, х.ч. по. ГОСТ 4165, г/л .... Вода дистиллированная по ГОСТ 6709 или деионизованная по OCT II 029.003, л . .
А.8.3.1.2 Приготовление раствора I
В небольшом объеме воды растворяют медь сернокислую и доводят объем раствора водой до 1л. Допускается для растворения меди сер- . нокислой использовать готовый раствор химического меднения.
А.8.3.1.3 Сослав корректировочного раствора 2 Натрия гидроокись, х.ч. по ГОСТ 4328, г/л ....... Вода дистиллированная по ГОСТ 6709 или деионизованная по OCT II 029.003, л
А.8.3.1.4 Приготовление раствора 2
В небольшом объеме воды растворяют едкий натр и доводят объем раствора водой до I л.
А.8,3.2 Корректирование раствора на содержание спирта этилового проводят один раз в неделю перед началом работы добавлением 3 мл спирта на I л раствора химического меднения.
А.9 Инструкция 9 "Раствор ускорителя"
А.9.1 Состав раствора
Натрия гидроокись, х.ч. по ГОСТ 4328, г/лхй
01
со
X
20—60 22
1« X X
£
п 03
4 ю «I
X
г * о
е;
о с
01
OCT 92-5077-99
Вода дистиллированная по ГОСТ 6709 или деионизованная по OCT II 029.003, л .......
...до I
А.9.2 Приготовление раствора
А.9.2.1 В 2/3 объема воды растворяют гидроокись натрия и доводят объем раствора водой до I л.:
А.9.3 Замена раствора л..-/;
А.9.З.I Замену раствора производят после обработки I м зато- товок печатных плат в одном литре раствора, но не реже одного раза в месяц.
А. 10 Инструкция 10 ‘’Сернокислый электролит меднения с добавкой спирта4
А.10.I Состав электролита ’
Медь сернокислая (в пересчете на металл), г/л ......56-59 Кислота серная (плотность 1,83 г/см$), г/л ........ 50-60
Спирт этиловый, мл/л ...........................,.. 10-20
Вода дистиллированная или деионизованная, л ....... до I
А.10.2 Приготовление электролита /
Исходные материалы:
медь сернокислая 5-водная, ч.д.а по ГОСТ 4165, г/л .... 220-230 кислота серная (плотность 1,83 г/см$), ч.д.а по
ГОСТ 4204, г/л 50-60
спирт этиловый по ГОСТ- 18300, мл/д 10-20
вода дистиллированная по ГОСТ 6709 или деионизованная по
OCT II 029.003, л
до I
Расчетное количество сернокислой меди растворяют в минимальном объеме воды при температуре от 60 до 70 °С. Очищают приготовленный раствор от примесей в соответствии с ОСТ 92-6078, приложением Д. В очищенный раствор сернокислой меди при-перемешивании вводят малыми порциями разбавленную серную кислоту. Электролит доливают во-
дой до необходимого объема и тщательно перемешивают.
34
Инв. № подл. I Подп. и дате | Взам. ина ■ N2 | Инв. № ду бл. | Подп. и дата
ОСТ 92-5077-99
. , Проводят химический анализ электролита на содержание сернокислой меди, серной кислоты. При необходимости электролит корректируют Си вводят этиловый спирт. -
Электролит прорабатывают электрическим током. Начальная плотность тока должна быть 0,5 А/дм^. В процессе проработки постепенно повышают плотность тока до рабочей. В качестве катода используют отходы фольгированного диэлектрика или медную фольгу по ТУ 48-0318-49. Соотношение катодной и анодной поверхности должно .-.быть от 1:1 до 1:2. Следует применять аноды медные марки МО.
< - Электролит проработан, если при рабочей плотности тока в течение : рдного часа осаждается покрытие, соответствующее по внешнему виду требованиямГОСГ 9.301.
А.10.3 Эксплуатация электролита
Очистку от органических и механических примесей в процессе эксплуатации электролита производят в соответствии с ОСТ 92-5078, О приложением Д не реже одного раза в месяц при двусменной работе ван- ' НЫ.
Корректирование электролита по основным компонентам производят __ по результатам анализа, который проводят не реже одного раза в неделю. Корректирование по спирту производят один раз в начале недели, вводя спирт из расчета 2 мл/л.
Замену электролита производят после прохождения электричества в количестве не менее 500 А'Ч/л.
Инв. N2 подл. I Поди, и дата } Взам. ине N2 | Инв. № дубя. } Подл, и дата
Приложение Б
(рекомендуемое)
Методика удаления продуктов травления
из отверстий МПІІ
Б. I Обработку заготовок МШ с целью удаления из отверстий продуктов травления в вице серо-зеленого шлама проводят в вытяжном шкафу в винипластовой ванне по следующей технологии:
обработать заготовки в растворе серной кислоты при температуре от 18 до 30 °С в течение времени от 5 до 10 с.
Используют серную кислоту плотностью 1,83 г/см$ по ГОСТ 4204;
промыть заготовки проточной питьевой водой по ГОСТ 2874 при температуре от 18 до 30 °С в течение времени от 300 до 600 с;
промыть заготовки проточной водой при температуре от 40 до 55 °С в течение времени от 600 до 900 с;
произвести ультразвуковую очистку заготовок в соответствии с таблицей I,- операцией 010, сушку в соответствии с операцией 015, контроль качества в соответствии с операцией 020. *
Примечания:
I Обработку и промывку заготовок производят при их покачивании с частотой от 20 до 30 колебаний в минуту и амплитудой от 10 до 20 мм.
2 Замену серной кислоты производят при снижении плотности до 1,78 г/см$.
36
Коп про» алjfyCLflfOf Форма? А4
угчій.п .і ніі^г^Іггц‘тіттттс,г^.цаа‘[.?.'йіт;
Приложение В? ;. (рекомендуемое) Методика определения глубины травления B.I Перед определением глубины травления диэлектрика поверхность шлифа протирают тампоном из промышленных отходов по ГОСТ 4644, смоченным одним из растворові для выявления структуры меди, приведенных в таблице B.I, в течение времени от 2 до 5 с, после чего поверхность протирают насухо. Инв, № подл, і Подл, и дата | Взам.инв. N2 | Инв. № дубл. | Подп. и дата Наименование компонента |
Обозначение доку- |
Содержание |
|
мента на поставку |
|
I Калий двухромовокислый |
ГОСТ 4220 |
20 г/л |
Кислота серная |
ГОСТ 4204 |
80 мл/л |
Натрий хлористый |
ГОСТ 4233 |
40 г/л |
Вода дистиллированная |
ГОСТ 6709 |
|
или деионизованная |
OCT II 029,003 |
до I л |
2 Перекись водорода 33 %-ная |
ГОСТ 10929 |
I об.ч. |
Аммиак водный 25 %-ный |
ГОСТ 3760 / |
I об.ч. |
3 Кислота уксусная 99,5 %-ная |
ГОСТ 61 |
I об.ч. |
Вода дистиллированная |
ГОСТ 6709 |
|
или деионизованная |
OCT II 029.003 |
до I л |
4 Кислота азотная 65 %-ная |
ГОСТ 4461. |
I об.ч. |
Вода дистиллированная |
ГОСТ 6709 |
|
или деионизованная |
OCT II 029.003 |
26 об.ч. |
5 Кислота соляная |
ГОСТ 3118 |
I об.ч. |
Вода дистиллированная |
ГОСТ 6709 |
|
или деионизованная |
ОСТ II 029,. 003 s • * |
14 об.ч. |
Таблица В.I
37
Ф. 2 ЦЄ-4
XonnoOtaA__ir. #///7/У/У Z>Z>X-
»,ф.ди„‘,{д,т.,А£
. «с
OI
Z
О1
'Z
® . Х-. ;•*.
« J? СО
2
■ х
:••в ч о
к ч о
С, ■
ОІ Z
ей X
OCT 92-5077-99
/;/’ В.2 Замер глубины травления диэлектрика производят с помощью металлографическогоизмерительногомикроскопатилаЖЧ-9. ?
. ■■
:окуляр с увеличением !0х со шкалой.
< В.2.3 Определяют цену деления шкалы (Е), для чего кладут на предметный столик объект - микрометр шкалой вниз, наблюдая в окуляр добиваются перемещением глазной линзы окуляра резкого изображения его шкалы. -
Фокусируют микроскоп на резкое изображение шкалы объект-микро- метра в плоскости шкалы окуляра и поворотом окуляра добиваются параллельности штрихов обеих шкал.
Выбирают в центре поля определенное число делений шкалы объект- микрометра и подсчитывают число делений шкалы или сетки окуляра, укладывающееся в выбранном числе делений шкалы объект-микрометра.
Цену деления (Е) окулярной шкалы или сетки в миллиметрах вычисляют по формуле
CB. I)
где L - число делений шкалы объект-микрометра;
. Т - цена делений шкалы объект-микрометра, мм;
Д/ - число делений шкалы или сетки окуляра.
.. В.2.4 Устанавливают на предметный столик микроскопа образец поверхностью шлифа вниз, фиксируют.
Поворотом окуляра выставляют перекрестие шкалы параллельно торцам контактных площадок.
Вращением рукояток предметного столика устанавливают перекрестие шкалы вполтную к торцам контактных площадок на левой (правой) стороне шлифа.. '
Вращением рукояток предметного столика перемещают шлиф " ’ 38