---

Наименование

Тип, марка

Обозначение документа

ОСТ 92-1577-78

ГОСТ 23844-79

12.4JU -хз Г0СТ-ЖЭІ-7Э-

12Л132-ХЗ ГОСТ Ж22-73-

ГОСТ 14681-80

ГОСТ £-75

ГОСТ 4644-75'

84

ГОСТ ІІ08-74Ґ

Воздух сжатый

Хладон ИЗ

Халат белый женский Халат белый мужской . Напальчники резиновые Перчатки резиновые

Бязь

Перчатки из трикотаж­ного полотн

а

Примечание. Перечень оборудования, приборов, приспособлений и материалов монет уточняться, исходя из производственных условий.

OCT 42-9555-82 Лист 35

ШИЛОЕЕНИЕ З Справочное

РАСЧЕТ ВРЕМЕНИ ВЦЩЕКИ. Г, ИЗДЕЛИЯ В ТЕРМО-
KAXSEE И ВРЕМЕНИ 0БЕЗГА2ИВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ
ИЗДЕЛЬЯ Г_о

1. Задать значение давления в полости изделия после погруже­ния его в жидкость Р_и в следующих пределах:

р <р <р ₍₁₎

^ГА ‘ и ^гя е„->-273 > I^і'

где Р_А - атмосферное давление, /Па;

• давление в полости изделия после погружения в жид­кость и стабилизации его температуры, Иа;

• температура жидкости,°С;

0 - температура изделия перед погружением в жидкость,⁰С.

2. По значениям давления Р, и температуры Р₇ , до которой может быть охлаждено испытываемое изделие, определить с помощью номограммы (черт.6) давление в полости охлажденного изделия и время Г (ключ к номограмме показан пунктирной линией).

3. Определить значение величины течи в изделии, которая может

б

JU I

ыть обнаружена до начала обезгаживания его поверхности по следую­щей формуле:

-

в условиях пониженной. хемперафура

■«*=

OCT 92- 9555-гг Лист 37

—II,м ■■■■йнйчйііі.» I •

температуры по -следующей-' формуле •

’ •" ■'■ '■> ^,J '2

'Ж*‘^;. .■', W-.”

-Лл A

Ж*

.

жм

«ЙЙ

■ me

t₉ V. время обезгаживания поверхности изделия, мин;

к; изделия в процессе сбезгаяивания;
' т. то А тг Ідл Л и ■

аератори 60°С герметизмрованного изделия объемом 10 см³ перед погружением.его в этиловый спирт с температурой 20°С и время обез-

не' более 2 %.

Определить диапазон изменений давления Р_и

X* ™ ■Й*’і ’ 1b **'•■

100415^Р <136320, Па Выбираем - Р_и = II99OO. Па.

Определить по номограмме (черт.6) значения

г_п- 86450 Ца, 4 =-7,5 мин.

Определить значение велжчиин течи в издали

ЙО формуле (I):

Q по формуле (2): :£> .

С

1,85-10^ Т

(П 9700-86450)^{Х ,Э}

4,7S-I0~⁵

г

во-а.те-іо-Міэтоо

т'г⁴

ле (4):

І

Определить время видержки изделия в условиях пониженной темпе* ратурн по формуле (3):

_r= b5-IO~-7,5-IC>J2± = 205 .мин.

^a 4.75-I0^-5

Определить время обезгаживания поверхности изделия пофор<у-

ПРІШОХЕНЖ За Справочное

ПРИМЕР РАСЧЕТА НЕГЕРІ-ЕЖ-ИОСЛІ Q ИЗДЕЛИЯ И ВРЕМЕНИ ВЗДЕРЖКИ Г₃ ИЗДЕЛИЯ В КАМЕРЕ ПРИ В^'ШШО-ДЕЗОВЇАЦИ- ОННОМ МЕТОДЕ ИСПЫТАНИЙ НА ПВЕТИЧНОСТЬ

О

Инв. ,*w подл По.^п _{и дат1} Вдам. нив, А» Инв. 5« дубл.Иолп. и дата

пределить суммарную негерметичность микросхемы при следующих исходных данных:

объем микросхемы, заполненный газом, И = 0,72 • 10$ м³;

разрешающая способность измерительного устройства $ = 0,5 мкм ( 0,5 • І0⁶ м );

максимальная деформация крышки корпуса микросхемы = 40 мкм ( 40 • Ю'⁵ м );

давление в вакуумной камере в начале выдержки Р « 1,33»І0³ Па ( 10 мм рт.ст.);

давление газа в полости микросхемы Р - 9,8 • І0^?і Па ( 750 мм рт.ст.);

допустимая величина течи в микросхеме Q_ppri = 6,5*10“' —

( 5 • I0“³ л»мкм рт.ст./с).

1. Определяем время выдержки микросхемы в вакуумной камере по формуле (7). Для уверенной фиксации результатов измерений принимаем /а у/ =1 мкм > д'

Тогда

Т = _x_bIO±_ _{= 2|?}2.10®с

^& 6,5. IO-⁷ 40-Ю"⁶

2. Ф

   си£.ЯУ./ШТ-27

   
   

   А99_2

   . 2. ГО5-І—115035Определяем допустимое повышение давления з вакуумной камере в процессе выдержки по формуле (4)

n I-I0"°(98-I0³ - І.ЗЗ-І0³) лтл - , __ТЕ- ™

△ г_вк^х 210 1ха 1,5 мм рт.ст.)

40- І0”⁶

3. Определяем величину суммарной негерметичности микросхемы по формуле (б), приняв, что величина деформации крьипси в конце выдержки составила у = 38 мкы ; лу* = 2 мкм

(2-Ю^-6- 2I0j_4Q40__M40*I0“⁶-M0“⁶) , _

Q «= 6,5. IO"⁷ 11,8-10

* с

—6

І.Ю'⁶(40.іб⁶+2І0Л^- 2’Ю"⁶)

98 - IO³

микросхема должна быть забракована.

CQ

————■

Обозначение
документа

ГОСТ 3-75

ГОСТ

ГОСТ

ГОСТ

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Справочное

ПЕРЕЧЕНЬ ССЫЛОЧНЫХ Д0КУЇЕНТ0В

Наименование

: Лист

12.0.003-74

12.0.004-79

12.I.004-85

ГОСТ 12.1,005-76

ГОСТ

ГОСТ

ГОСТ

12.4.131-83

ГОСТ 949-73 ■

гост

ГОСТ

ГОСТ

1012-72

1108-84

2405-80

¹ (£)3^м, Ф. 2.105-1 —650М

Перчатки хирургические резиновые.

Технические условия

ССБТ.Опасные и вредные производст­венные факторы .Классификация

ССБТ.Организация обучения работаю­щих безопасности труда.Общие поло­

женил

ССБТ.Пожарная безопасность.Общие требования

ССБТ.Воздух рабочей зоны.Общие са­нитарно-гигиенические требования ССБТ.Системы вентиляционные,Общие требования

ССБТ.Халаты женские.Технические

условия

ССК?.Халаты мужские.Технические

условия

Баллоны стальные малого и среднего объема для газов на Р_р< 19,6 Ша (200 кгс/см^).Технические условия

Бензины авиационные.Технические

условия

Перчатки и варежки кроенъш.Общие

технические условия

Манометры,вакуумметры и маяовакуум- метры показывающие.Общие технические

18,34

.

®3ам. аз8. WJOWr-M

ОСТ ,92-9555-£'2..Лисх.40_

Няв. X подл. flojn. я літа Взам. инв М Ина. М дубл.Подп. и дата

' У

¹ "■

Наименование

Ікв. М лоти І Поап. к**тя | Bpm, иии .4

। икв. тчгдчол. | uojn. я _лл ,«

М

Обозначение
документа

ОСТ 92-0019-78

ОСТ 92-0069-86

ОСТ 92-0158-79

ОСТ 92-0692-83

ОСТ 92-0908-80

ОСТ 92-1527-79

ОСТ 92-1577-78

%

*

ОСТ 92-1615-74

ОСТ 92-4281-74

jmi0.334.00I ТУ

етоды и режимы сушки изделий перед испытаниями на герметичность Приборы точной механики.Обеспечение и контроль чистоты производственных помещений и рабочих мест на ответ­ственных участках сборки Гидравлические и пневматические испытания изделий на прочность и герметичность.Общие требования бе— . вопасности

Испытания на герметичность.Требода­ния к оснастке и помещению

Растворы для гидравлических испыта­ний. Технические требования

Контроль герметичности изделий с применением масс-спектрометрических гелиевых течеискателей.Методы испы­таний

Воздух сжатый и азот газообразный. Технические требования и методы контроля

Полупроводниковые приборы и микро­схемы.Меры защиты от статического электричества

Методы,средства и режимы подготовки поверхностей изделий перед испытания­ми на герметичность.Контроль качества бчистки

Лист

3.8,22

4

4,28

4

5,33

19

4,34

18

3

33

Течи гелиевые.Технические условия■ — ■ ■ ■ ■ — . - ■■■

ОСТ 92-9555-82 Лист 42

Нн» Лі пол і Похп к 1>и йчм мн» .4 Ии» X, з^бл.Попп.

Обозначение документа ТУ-5І-940-80

Наименование

Лист

СНиП 2.09.02-85

СНиП П-33-75

СНиП П-92-76

ПУЗ (раздел 7)

Гелий газообразный

"Положение о порядке проведения инструктажа и обучения работающих безопасности труда в объединениях, • на предприятиях и в организациях

Министерства", утвержденное прика­зом У 205 от 13.12.84

"Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей и •. Правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок пот­ребителей", утвержденные Госэнерго­надзором Минэнерго СССР 21.12.84 "Типовые правила пожарной безопас­ности для промышленных предприятий", утвержденные Главным управлением пожаркой охраны МВД СССР 21.08.75

Приказ Министерства здравоохранения » 700 от 19.06.84

"Правила проектирования, монтажа, приемки и эксплуатации вентиляцион­ных установок", утвержденные ЦК профсоюза 27.01.69

Производственные здания. ⁴ Отопление, вентиляция и кондицио­нирование воздуха

Вспомогательные здания и помеще?«ия промышленных предприятий I

"Правила устройства электроуста­новок", утвержденные Главтехуправ- лением и Госэнергонадзором Минэнер­го СССР 05.06.80 ! I

U3& Я У', fO&/S--£7

5,33

29

30

29

27

27,29

Обозначение документа

Наименование

Лист

П

OCT 92-8605-75

омещения производственные для изго­товления изделий микроэлектроники. Тех­нические требования