---

При наличии мест негерметичности в объекте контрольный газ под действием разности давлений проникает в полость вакуумной камеры, а затем в камеру масс-спектрометра течеискателя. регистрация сигна­ла от поступившего в анализатор контрольного газа осуществляется '

в

И к ». М под л. І П ОДП, и лата I В«ам, инв. Л"; Ипв .Ц лубл. Подо, и да«а

ыносным прибором течеискателя.

Нетод следует применять для контроля суммарной негерметичности вешнее

изделий, допускаашдаГ^вакуумирование окружающей-среды, к которым

предъявляются высокие требования по герметичности.

с

Чувствительность метода составляет по гелию от 1,3*10 до

1,3*10”^м³*Па/с (от Ы0"¹ до 1«10”^л*мкм рт.ст/с) _ ₂

по аргону от І,3*І0“4 до 6,7-Ю”⁷ м³. Па/с (от I до

5*Ю“3 л-мкм рт.ст./с); __z

по азоту от 1,3*10"⁴ до 1,3*10^ іАпа/с (от I до ”3

І-ІО^ л.мкм рт.ст./с).

предоарнтедоне заполненных контрольным газом^ приведена на черт.4.

Допускается схема испытаний без использования высоковакуумного

ненных контрольным газом⁷, следует проводить в вакуумной камере срав­нением с потоком от контрольной течи в последовательности, указанной в ОСТ 92-1527-79,'с учетом особенностей принципиальной схемы:

> измерение фона контрольного газа в вакуумной системе и потокаПринципиальная схема установки для испытаний

изделий, -нредварительно- заполненных контрольным при из гот о Злении

газоьГ, мае с-сп ектроме трическим ме тодом

I - течеискателъ; 2 - ВПУ течеискатёля; 3 - вентиль дросселирующий течеискателя; 4,6 - вакуумметр с манометрическим преобразователем;

о,9,II,12,13,15,17,19 - вентиль вакуумный; 7 - камера вакуумная;

8 - затвор высоко вакуумный; 10 - изделий; 14 - насос вакуумный ме • ханический; 16 - насос высоковакуумный; 18 - течь контрольна

я

3«хЦЙ<-=Х_

Ф. 2.105-1—6503

5от контрольной течи необходимо проводить при помещенном в камере я

из дати/; -предварите ль і іо з апол: ієн ном- контро ліні іг-.д-г&зо?,?;—

проводить измерение фона контрольного газа в вакуумной систе­

ме до высоковакуумного затвора 8 (при закрытом затворе 8);

’ негерметичность изделия, предварательно-запоженного-контроль—

-ньм-газомў следует подсчитывать по формуле:

м* ими і кг чим 'ні і о I miw¥ M *uVOi>

(8)

температуры.

где Q - поток контрольного газа из микронеплотностей изделия, м³- Па/ с;

• показание ВПУ течеискателя по фону контрольного газа в вакуумной системе и по потоку контрольного газа из микронеплотностей изделия, мВ;

• суммарное показание ВПУ течеискателя по фону контроль­ного газа в вакуумной системе и по потоку контрольного газа из микронеплотностей изделия и от контрольной те­чи, їй;

• показание ВПУ течеискателя по фону контрольного газа в вакуумной системе до высоковакуумного затвора 8, мВ;

Qjc,₇- поток контрольного газа через контрольную течь, гАпа/с; при изготовлении негерметичность изделия, предварительна заполненного*смесью контрольного газа с воздухом, рассчитывать по формуле:

концентрация контрольного газа в смеси, %;

для повышения точности определения негерметичности изделия ре­комендуется осуществлять охлаждение стенок вакуумной камеры и одно­временно проводить нагрев изделия с целью поддержания его заданно

йОСТ 92- 2555-82 Лист 22

•предварительно не заполненных контрольным газ o.m^v,“приведена на черт.5.

Допускается схема испытаний с использованием высоковакуумного • насоса, установленного мезду контрольными ячейками и механическим, насосом.

полненных контрольным газ ом сл е дуе т проводить масс-спектрометрп- ческим методом с предварительной опрессовкой в среде контрольного газа (гелия) в следующей последовательности.

(9)

• в

  где t

  I/

  ремя опрессовки изделия, ч;

• в нутренний объе.м изделия, м³;

-

опр

абсолютная величина давления опрессовки, Па;

Й - величина негерметичности, указанная в технической доку­ментации на изделие, м³. Па/с;

• чувствительность испытаний (минимальная уверенно обнару- кивае.’лая течь) м³. Па/с,

открыть крышку опрессовочной камеры 16 и загрузить партию из­делий 17, затем закрыть крышку опрессовочной камеры;

включить насос II, открыть вентиль 14 и откачать опрессовоч­ную камеру до давления, соответствующего значению минус I по мано- вакуумметру 15;

О 2 105-1—€^'>5схоьта ус’

вентиль дросселирующий течеискателя

баллон с гелием

ячейки контрольная; 9 ' мано вакуумметр; Гб -

• течь контрольная;

ІІ - камера Опрессовочная; 17

гелиЯд Ца герметичность гасо^сдерр^етрїгїесі^

» s '

iZ і°Е1' ‘38-SS$S-^_l ICO

изделие

закрыть вентиль 14 и выключить насос II; открыть вентиль 18 и с помощью редуктора на баллоне 19 заполнить гелием опрессовочную -ка­меру ДО заданного значения давления; закрыть вентиль 18. Давление опрессовки но .долгою превышать максимальное давление, указанное в соответствующей технической документации для данного' вида изделий. Давление контролировать по мановакуумметру 15;

выдергать изделия в опрессовочной камере в течение расчетного времени;

по окончании времени опрессовки произвести Сброс гелия из опрес­совочной камеры, открыв вентили 14 и 13. Открыть крышку камеры и из­влечь изделия;

выдержать изделия в нормальных атмосферных условиях для удале­ния гелия, адсорбированного внешними поверхностями, в течение>не ме­нее 20 мин. Максимальное время выдержки изделия в нормальных ат­мосферных условиях определяется по формуле

Г = 6-Ю⁷-’/ , мин, (/0)

где V - объем изделия, занятый газом, м^.

С целью ускорения удаления гелия с поверхности допускается после извлечения изделий из опрессовочной камеры производить- обдув— сжаты* азотом ку изделий сухим сжатым воздухом* или помещать их на 10 мин в камеру тепла, в которой предварительно установлена максимальная темпера­тура эксплуатации изделия.

* 6.5.7. Закрыть вентиль 12 и плавно полностью открыть дроссели­

рующий клапан 3 течеискателя. Показание по средней шкале стрелоч-

OCT Ласт Z5

і

ного, прибора блока измерения' давления течеискателя ПТИ-ІО не должно превышать 60-70 делений. Показания магнитного вакуумметра ПТИ-7,

6.5?8. Закрыть вентиль 10 и снять установившееся показание ВГ1У

• течеискателя, соответствующее фону гелия в системе . Измере-

i ние фона гелия следует произвести не меяеё трех раз. Цо результатам.

ЛЗМвреНЯЙ необходимо определить среднюю величину фона гелия Я оис~

теме

5.5.9. Открыть вентиль 10 и снять установившеєся показание ВПУ течсиркателя по остаточному фону гелия в системе и от контрольной

течиХ^', затем *закрыть вентильні0 и клапан 3. У<*т ’

6.5.10. Определить показание. ВДГ. течеискателя до потоку гелия .

течи:

6

«ж

.Э.П. Определить дану деления ВНР уачеискателя по формуле

?» лч •

да)

«И

в

F

|Ц

контрольные ячейки и закрыть

« 6.5.14. Открыть вентили I:

.'Од^^новтрольннх ячеек. до д

( 5.10^.10^ мм рт.ст.). Зат

ОСТ 5&-М&5Ч&2

ветствуюш&е лотбДу гелия ив проверяемого. издеЖя и фоновому потоку гелия / контрольной ячейке <*_я . Затем закрыть дросселирующий кла­пан 3, забыть вентиль 5.

(

'яя

ІЗ) .

-

Sjjg -г-ценп деления ВПУ течеискателя, иг» Па/с-їв.;'

показание ВПУ течеискателя по потоку гелця из‘микроне- плотностей ИЗДЄДВД и Фону гелия в контрольной ячейка, ЫЙ

-‘Причем;

QHHQ нескольких иЗДёЯиЙ:-э ка&- X

больше рассчитанного по форму- .

(13, необходимо провести контроль герметичности наждоф изделия поочередно.

f ’ л,/ ч- •-•vr.jL ' ЗДЛіИ Ялі*- і-*-?' йЬ. ■ ’..гЛ''’jt*'■ ^л • • . ' -^>л

заполнить атмосферной воздухом контрольные ячейки и из­влечь изделия. Выключить течеискателъ и насос.

П

ССТ 92 -9555-22

Лист 27

римечание. Выносные приборы течеискателей ПТИ-7, ПТИ-7А, а также блок измерения ионного тока БИИТ-9 течеискателя ПТИ-10 в насто­ящем стандарте называются выносными приборами (ВПУ).

6.5.21. Пример записи технических требований в конструкторской документации на испытание изделий на герметичность масс-спектрометри­ческим методом с допустимой суммарной негерметичностью изделия не более I,3*10“$м³«Па/с л.мкм рт.ст./с) с предварительной опрес­

совкой в среде гелия с абсолютным давлением 0,2 МПа (2 кгс/сг.г) в течение 48+ 2ч (давление и время опрессовки указываются,если изделие

при UAromoiaCHUU

не было предварительно- заполнено контрольным газо^Тпо ОСТ 92-0555-52-

Испытать изделие на герметичность масс-спецтрометрическим мето- дом-гелий -0,2 Ша (2 кгс/см^) - 48+_2ч - негерметичность - І,З.І0“⁹м³-Па/с (Ы0"⁵л.мкм рт.ст/с) ОСТ 92-0555Ч52.

7. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

   1. О

      подл. І Поли, н лата і Птзмсн пив. № I Him. ■*>« Дубл. [ Подпись и дата

      пасными факторами в процессе испытаний на герметичность в со­ответствии с ГОСТ 12.0.003-74 являются:

подвижные части производственного оборудования;

пожженная температура жидкого азота, применяемого для охлажде­ния оборудования;

напряжение свыше 10003 в электрической цепи;

пожароопасность применяемых рабочих сред.

соответствии со №$HbO2-7G I—а^-

к

на

на

атегория производства в соответствии со СНиП П-М.2-72 и класс помещений по ПУЗ; в которых проводятся испытания с применением спирта и уайт-спирита, устанавливается разработчиками проектной документации строительство в зависимости от количества указанных веществ.

технологической

р

М подл. I Пидп. н tai» | Вимен ин». № | Ни». ДУОЛ. f подпись

едственно из сосуда Дьюара в металлический тонкостенный стакан с длинной ручкой, а затем из стакана через воронку в ловушку. Диаметр стакана должен быть не менее 80 мм, длина ручки - не менее 400 мм.

потребителей" для установок с напряжением свыше 1000В (главы ЭШ-12, и-шмерго сс^гі. /г. Ыг

БП-І, БП-2, раздел БІ), утвержденных Госэнергонадзором 1£т04т69г.

фикационную группу по электробезопасности не ниже II.