Затем объем эталонной камеры увеличивают, изолируют камеры одну от другой и определяют величину течи по скорости изменения перепада давления между полостями камер.
Метод следует применять для контроля суммарной негерметичности изделий, когда недопустим контакт изделий с технологической жидкостью, применяемой при вакуумно-жидкостном методе, или при невозможности удаления жидкости с поверхности изделия после испытания.
Метод применяют для обнаружения течей, эквивалентный нормализо - к „ ванный поток через которые более 1,3 • 10 м . Па/с
( I • І0~ї л.мкм рт ст/с).
Контроль герметичности изделия дифференциальным методом должен проводиться в два этапа:
@За/>/. і/зґ. Jff. 3(7 JVГ- 37— ■ 1 —' ' - ■ '■ ■- — —
ССТ 92-9555-52 Лист Ю
на первом этапе определять негерметичность с величиной потока до 1,3«10 м3. Па/с (10 л.мкм рт.ст./с) по величине значения давления в полостях рабочей и эталонной камер;
на втором этапе определять негерметичность с величиной потока от 1,3»Ю“3 м3 Па/с до 1,3-10“5 м3 Па/с (от 10 л.мкм рт.ст./с до Ы0”^ л«мкм рт.ст./с) по скорости изменения перепада давления в полостях рабочей и эталонной камер.
Колебания температуры воздуха в помещении в процессе испытаний должны быть не более - І^С. Наличие сквозняков не допускается.
Рекомендуемая принципиальная схема испытаний дифференциаль - ным методом приведена на черт. 2.
Испытания изделий на герметичность дифференциальным методом должны проводиться в следующей последовательности.
Выполнить операции, указанные в пп. 3.3.1 - 3.3.3.
Собрать установхсу согласно принципиальной схеме (черт. 2).
Проверить установку на герметичность в течение времени,в 3 .раза превышающего время испытаний изделия. Величина течи установки должна быть не более величины течи Q , заданной в технической документации на изделие.
Установить в камере I изделие 3 и для уменьшения свободного объема заполнитель 2, после чего закрыть крышку камеры и произвести ее герметизацию.
L 4.3.5, Проверить наличие в изделии негерметичности с величиной потока до 1,3*10 м3 Па/с (10 л-мкм рт.ст./с), для чего закрыть все ’вентили установки;чвключить механический насос 12 и, открыв вентили 10 и 9, откачать полости 8 и 13 эталонной камеры до давления(2-4) кПа .[(I5-3Q) мм рт.ст.], закрыть вентили 9,10, выключить механический насос “12 и заполнить его атмосферным воздухом, открыв и закрыв вентиль II;
открыть вентиль 5 и после выравнивания давления в полостях рабочей л эталонной 8 камер измерить давление по вакуумметру 7. Если давление соответствует (49^4,7) кПа [(358±3€) мм рт.ст.^ и величина его в течение -2-^ мин, не изменяется, то течи с величиной потока до 1,3»І0”3 м3Па/с > (10 л«мкм рт.ст./с) в изделии отсутствуют.5.9,10,14,16,17 - вентиль вакуумный; 7 -вакуумметр образцовый; 8,13 - камера эталонная;
12 - насос вакуумный механический; 15 - микроманометр типа МКВ-250
' ■ ’Л ’ * ' *► ■ ** ' • ' «fa • ' '
гг-5Ў55-зв ла
І-ІО^ ‘л-мкм рт.су./о), ДЛЯ чего определить время Гц ввдержж г.
■ «Г * • • • »
‘ к) ■ ■ j • *'•' ». * < ■ •, > і • ' к. • V * .. ь • ,нов потока от 1,3 •10“® до 1,3 -Ю~5 іА Па/d (от 10 до " *
I ;Я _
ОСТ 92"#555~<£2 , Диет p '
4>3.6. Проверить наличие 1э изделии негерметичности о величи*
... «і длтз і Ііэам. ина М І Инп. У/ дубл. | Подп. я дата
Открыть вентиль 9 эталонной камеры ІЗ, последовательно плавно через зо-ронщ открыть вентили 16,14,17 и^после выравнивания давления в полостях рабочей ! и эталонной 8 камер закрыть вентили 5 и 16;
сделать выдержку изделия в камере в течение расчетного време- ни и зафиксировать перемещение^стдкостного поршня в измерительной трубке микроманометра 15.
zjZ г
Изделие считается герметичным, если измеренное перемещенлёУыё- иее или равно заданному перемещению д£ .В случае, если измерен- ное перемещение^более заданного перемещения △ L , то необходимо •повторить операции, указанные в п.4.3.6. ,
После окончания испытаний плавно открыть вентили 5,16
и 4, напустить атмосферный воздух в рабочую и эталонную камеры, от
крыть крышку и вынуть изделие.
В случае необходимости подсчитать негерметичность изделия по формуле:
л . ,(3)
Ґ'к
к . - .
где Q - суммарный поток газа из микронешготностей изделия, іАпа/с; •
Г* - расчетное время выдержки изделия в камере, с;
д L< - измеренное перемещение жидкостного поршня в измеритель-.
ной трубке микроманометра, мм.
Примечания.*
• I. Проверку герметичности установки следует проводить один раз в смену перед проведением испытаний изделий на герметичность.
Объемы заполнителей 2 и 6 следует подбирать экспериментальным путем такими, чтобы при открытии вентиля' 5 в полостях камер I и 8 устанавливалось давление, равное 49+4,7 кПа (368+36 ш рт.ст.) по вакуумметру 7.
Ике. At пол л I Полп. и лага I В.ач ине Лй I Ин». At дубл. |Поди.
ОСТ 92-9555-82 Лист
Материал заполнителей должен обладать малой величиной газопроницаемости и газовццеления.
Формула (I) позволяет определять время выдержки изделия в камере при измерении перепада давлений с помощью микроманометра.
3.8. Пример записи технических требований в конструкторской документации на испытание изделий на герметичность дифференциальным методом с эквивалентным нормализованным потоком через течи не более 1,3-105 м3.Па/с (ПГ1 л.мкм рт.ст./с) по ОСТ 92-9555-82.
Испытать на герметичность дифференциальным методом - негерметичность 1,3-ПГ5 М3. Па/с (1-Ю"1 л.мкм рт.ст./с) ОСТ 92-9555-82.
5 ВАКУУІ^ІНО-ДЕЖІАЦИОШГій І4ЕТОД ИСПЫТАНИЙ
НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ
Сущность вакуумно-деформационного метода заключается в тол, _ что изделие помещают в вакуумную камеру, в полости камеры создают разрежение и измеряют величину упругой деформации корпуса изделия, происходящей под действием разности давлений. О герметичности изделия судят по изменению величины упругой деформации корпуса изделия в течение определенного промежутка времени.
Метод следует применять при контроле суммарной негерметичности за- полненных газом до атмосферного или небольшого избыточного давления изделий, имеющих металлические или металлостекляиные герметизированные корпуса, способные к деформации под воздействием разности давлений примерно в 93 КПа (I кгс/см^).
Метод применяют для обнаружения течей, эквивалентный нормализо - ванный поток через которые белее 6,7«10 м3-Па/с (5-Ю л-мкм рт.ст/с)
Рекомендуемая принципиальная схема испытаний вакуумно-деформационным методом приведена на черт. 3.
Испытание изделий на герметичность проводить в следующей последовательности :
I
I U30. Я&.
* ліоЗйе і г-z.it л.-.Зик.’>'19-2Unit tn подл
Поди, и лата
Вдам. ин». 5t I Ин». № дуил. | Подо, и дата |
—I ■
. I I 2Принципиальная схема установки для испытаний изделий на герметичность вакуумно-деформационным методом
I - устройство измерительное; 2 - вакуумметр; 3 - изделие; 4 - камера вакуумная; 5,7, 9 - вентиль вакуумный; 6 - насос механический; 8 - приспособление для установки изделия
Черт. 3
ОСТ 92- <J555'-£Z Лист /4*
Ина .У noj.i Пол» и aatj Bum. ина ,У<Ян» 5» дчб.1.Ноэн
OCT 92-9555-82 Лист 16
Выполнить операции, указанные в пп. 3.3.1-3.3.2.
Собрать установку согласно принципиальной схеме (черт.З).
Протереть поверхность приспособления 8, на которой должно быть размещено контролируемое изделие, салфеткой, смоченной в спирте.
Разместить изделие 3 на приспособлении 8 таким образом, чтобы наконечник измерительного устройства і пришел в соприкосновение с поверхностью корпуса изделия и совпал с его геометрическим центром или местом, оговоренным в конструкторской документации, где имеется достаточная для измерений деформация оболочки изделия. Допустимое отклонение наконечника от точки измерения должно быть не более 5 % от длины меньшей стороны изделия.
Включить контрольно-измерительную аппаратуру согласно инструкций по эксплуатации.
Установить первоначальные показания измерительного устройства таким образом, чтобы при проведении контроля изменения в показаниях находились в пределах шкалы.
Закрыть крышку вакуумной камеры 4, открыть вентиль 5 и произвести откачку камеры до давления не менее допустимого по ТУ на изделие, но не более 1330 Па (10 мм рт.ст.) с помощью насоса 6. Давление контролировать по вакуумметру 2.
Во время откачки камеры наблюдать за изменением показаний измерительного устройства.
После достижения заданного разрежения з камере зафиксировать максимальную величину деформации У корпуса изделия, после чего наблюдать за показаниями измерительного устройства в течение интервала. времени , определяемого расчетным путем (см. п. 5.3.16).;,
Давление в вакуумной камере в процессе выдержки контролируемого изделия в течение времени должно быть стабильным.
Допускается увеличение давления в вакуумной камере за период выдержки на величину, определяемую по формуле:
где
в.к
^в.к
/д у/-4 Р
І7
- допустимое повышение давления в
течение
- перепад
времени выдержки 2^ ,
давления между полостью
(4)
вакуумной камере в Па;
контролируемого из-
Му/
5.3.II,
д
делия и
авлонием в вакуумной камере, Па;- величина, устанавливаемая в соответствии с разрешающей способностью измерительного устройства или принимаемая больше разрешающей способности измерительного устройства, исходя из удобства измерений или расчетов
мкм;
- максимальная величина деформации корпуса изделия, мкм По истечении времени зафиксировать величину деформа-
У
ции
корпуса изделия, произвести разгерметизацию камеры, пре^ари - тельно закрыв вентиль 6 и открыв вентиль 10.Определить величину изменения деформации корпуса изделия по формуле:
(5)
Изделие считается негерметичным в любом из следующих случаев: если при создании разрежения в камере показания измерительного устройства не изменились в пределах, определяемых вариацией показаний измерительного устройства;
если при создании разрешения показания измерительного устройства сначала увеличились, достигнув максимального значения, а затем при выдержке изделия при неизменном по величине разрежении начали уменьшаться
.
П
Ина. .4 подл. Подп. и дата Втлм. ннв'Лі Пив. .У, дубі. Подл, и дата
^/^7
о окончании-испытаний извлечь изделие из камеры,выклю- чить механический насос 7,заполнить атмосферным воздухом насос,открыв вентиль 8,выключить контрольно-измерительную аппаратуру,В случао необходимости подсчитать негерметичность изделия по формуле:
П - П - (ЛРд.к-. Гр')(Уо - 1J fa і
где Q - суммарный поток газа из микронеплотностей корпуса изделия, м^.Па/с;
6^/?- Д°ЦУстимая величина течи изделия,заданная в технической до куме нтации, .Па/с.
Формула (6) справедлива при условии 0'^2,
Время выдержки изделия в камере после достижения заданной величины разрежения определять по фор.чуле:
7^ > V /л У/ /'ба/
Qdon ~ »0
где V - внутренний объем изделил,заполненный газом,
• время выдержки изделия в камере после достижения заданной величины разрежения,с.
Примечания:
Работу с изделием необходимо осуществлять в напальчниках по ГОСТ 14681-80 (резиновых перчатках по ГОСТ 3-75).
При работе с микросхемами и другими радиоэлектронике:и изделиями необходимо принимать меры по защите от электростатического электричества по XT 92-1615-74.
/
Зам, изв. ЯУ.10945-87Измерительные устройства типа МИГ-1 и ИЧ IOMH и другие в условиях эксплуатации используются в качестве индикаторов малых перемещений без нормирования точности. Аттестация этих устройств проводится в соответствии с НТД, действующей на предприятии.
Пример расчета негерметичности Q изделия и времени выдержки 7^ изделия в камере приведен в приложении За.
3.17. Пример записи технических требований в конструкторской документации на испытание изделий на герметичность вакуумно-деформационным методом с эквивалентным нормализованным потоком через течи не более 6,7’10”' мЗ’Па/с (5’10”^ л.мкм рт.ст./с) по ОСТ 92-9555-62: "Испытать на герметичность вакуумно-деформационным методом- негерметичность 6,7’ІО”7 м^’Па/с (5’10”3 л.мкм рт.ст./с) ОСТ 92-9555-82"
>
(г) Нов. изз. ЯУ.10945-87
1 іле » 1'1
МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКЙ ЕЕТОД ИСПЫТАНИЙ
НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ
Сущность масс-спектрометрического метода заключается в том, что изделие, заполненное контрольным газом (гелием, аргоном, азотом) помещают в вакуумную камеру, соединенную с течеискателем.
