3,-fOO£-^



ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

ТЕРМИНЫ, ОПРЕДЕЛЕНИЯ И БУКВЕННЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ

ГОСТ 21006-75


Издание официальное



ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ
СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР

Москв

а


УДК 001.4 :621.385.833(083.74) Группа П00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

М

ГОСТ
21006—75

ИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

Термины, определения и буквенные обозначения

Electron microscopes.

Terms, definitions and letter symbols

Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. № 1835 срок действия установлен

с 01.07. 76 до 01.07. 81

Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, тех­нике и производстве термины, определения и буквенные обозна­чения величин электронных микроскопов.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изло­жения, не допуская нарушения границ понятия.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный тер­мин. Применение терминов — синонимов стандартизованного тер­мина запрещается. Недопустимые к применению термины-синони­мы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой «Ндп».

Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте при­ведены в качестве справочных их краткие формы, которые раз­решается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.

В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизован­ных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивален­тов.

К стандарту дано справочное приложение, содержащее терми­ны общих понятий электронно-оптических приборов.

С

Издание официальное

тандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы — курсивом.

Перепечатка воспрещена

О Издательство стандартов, 1975Термин

Буквенное обозначение

Определение

1. Электронный микроскоп

D. Elektronenimikroskop

  1. Electron Microscope

  2. Microscope electronique

Микроскоп, формирующий изображение объекта электрон­ными пучками средствами электронной оптики

О

  1. Просвечивающий электрон­ный микроскоп (ПЭМ)

Ндп. Трансмиссионный элек­тронный микроскоп

D. Durchstrahlungs-Elektro- nen-microskop

Е. Transmission electron mic­roscope

  1. Растровый электронный микроскоп (РЭМ)

Ндп. Сканирующий электрон­ный микроскоп

D. Rasterelelektronenmikros- kop

Е. Scanning electron micros­cope

  1. Отражательный электрон­ный микроскоп

D. Reflexions-Elektronenmik- roskop

Е. Reflection electron micros­cope

  1. Эмиссионный электронный микроскоп

D. Emissions-Elektronenmik- r о stop

E. Emission electron micros­cope

  1. Зеркальный электронный микроскоп

D. Spiegelelektronenmikroskop

E. Mirror electron microscope 7. Автоэлектронный проектор Ндп. Микропроектор

Микроскоп-проектор


Электронный микроскоп, фор­мирующий изображение объек­та электронными пучками, про­ходящими сквозь этот объект


Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зон­дом


Электронный микроскоп, формирующий изображение

объекта электронными пучка­ми, отраженными этим объек­том

Электронный микроскоп, фор­мирующий изображение объек­та электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом

Электронный микроскоп, фор­мирующий изображение объек­та, являющегося катодом элек­тронного зеркала

Электронный микроскоп, фор­мирующий изображение объ­екта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электричес­кого ПОЛЯ


СНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ микроскопов

Т

8. Электронная пушка элек­тронного микроскопа

Электронная пушка

D. Elektronenstrahler

, Е. Electron gun


Эмиссионная система, пред­назначенная для ускорения электронов в электронном мик­роскопе


ермин

Буквенное обозначение

Определение

9. Электронное зеркало

D. Elektronenspiegel Е. Electron mirror

—•

Электронно-оптический эле­мент электронного микроскопа, предназначенный для измене­ния направления осевых сос­тавляющих скоростей электро­нов электронного пучка на об-

10. Видеоконтрольное устрой­ство растрового электронного микроскопа (ВКУ)

Система визуального наблю­дения процессов, протекающих в растровом электронном мик­роскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом

11. Электронная линза элек­тронного микроскопа

Линза

D. Elektronenlinse

Е. Electron lens


Электронно-оптический эле­мент, предназначенный для фо­кусировки электронных пучков в электронном микроскопе

12. Магнитная линза элект­ронного микроскопа

Магнитная линза

  1. Magnetische Linse

  2. Magnetic lens


Электронная линза электрон­ного микроскопа, предназна­ченная для фокусировки элек­тронных пучков магнитным полем

13. Электростатическая линза электронного микроскопа

Электростатическая линза

  1. Elektrische Linse

  2. Electric lens


Электронная линза электрон­ного микроскопа, предназна­ченная для фокусировки элек­тронных пучков электрическим полем

14. Формирующая линза


Электронная линза электрон­ного микроскопа, формирую­щая электронный зонд в плос­кости объекта

15. Конденсорная линза элек­тронного микроскопа

Конденсор

D. Kondensorlinse

Е. Condenser lens


Электронная линза электрон­ного микроскопа, предназна­ченная для фокусировки элек­тронных пучков, освещающих объект

16. Двойной конденсор элек­тронного микроскопа

Двойной конденсор

D. Doppelkondensor

Е. Double condenser


Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсорных линз, предназна­ченная для фокусировки элек­тронных пучков, освещающих объект

17. Объективная линза элек­тронного микроскопа

Объектив

  1. Objektivlinse

  2. Objective lens


Электронная линза электрон­ного микроскопа, формирую­щая первое увеличенное изо­бражение объекта

18. Дифракционная линза


Электронная линза электрон­ного микроскопа, формирую­щая промежуточное изображе­ние объекта или его дифрак­ционной картины в предметной плоскости промежуточной ЛИН-



Термин

Буквенное обозначение

Определение

19. Промежуточная линза электронного микроскопа

Промежуточная линза

  1. Zwischenlinse

  2. Intermediate lens

Электронная линза электрон­ного микроскопа, формирую­щая промежуточное изображе­ние объекта или его дифрак­ционной картины в предметной плоскости проекционной линзы

20. Проекционная линза электронного микроскопа Проекционная линза Ндп. Проектив

D. Projektiv

Е. Projector


Электронная линза электрон­ного микроскопа, формирую­щая увеличенное конечное изо­бражение объекта или его диф­ракционной картины

21. Регистрирующая система электронного микроскопа

Регистрирующая система


Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в элек­тронном микроскопе

22. Фотокамера электронного микроскопа

Фотокамера

D. Aufnahmekammer

Е. Photographic chamber


Часть регистрирующей систе­мы электронного микроскопа, предназначенная для фото­графирования изображения в электронных пучках

23. Вакуумная система элек­тронного микроскопа

Вакуумная система

  1. Vakuumanlage

  2. Vacuum system


Система, предназначенная для создания вакуума в элек­тронном микроскопе

24. Юстировочная система электронного микроскопа

Юстировочная система


Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью элек­тронно-оптической системы электронного микроскопа

25. Отклоняющая система электронного микроскопа

Отклоняющая система

  1. Ablenksystem

  2. Deflection system


Электронно-оптический эле­мент электронного микроскопа, предназначенный для отклоне­ния электронного пучка элек­трическими или магнитными полями

26. Стигматор

D. Stigmator

Е. Stigmator


Электронно-оптический эле­мент электронного микроскопа, предназначенный для исправ­ления приосевого астигматизма

27. Полюсный наконечник электронного микроскопа

Полюсный наконечник

  1. Polschuh

  2. Pole piese


Часть магнитопровода элек­тронного микроскопа, концен­трирующая поле магнитной линзы в приосевой области

28. Колонна электронного микроскопа

Колонна

  1. Mikroskoprohr

  2. Alicroscope column


Совокупность конструктивно объединенных электронно-опти­ческих и механических элемен­тов электронного микроскопа

Термин

Буквенное обозначение

Определение

29. Шлюзовое устройство

электронного микроскопа

Шлюз

1). Schleuse

Е. Air lock

Устройство, предназначенное для ввода н вывода из колон­ны электронного микроскопа сменных элементов без суще­ственного нарушения в ней ра­бочего вакуума



ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ
ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

  1. Светлопольное изобра­жение

D. I lellfeldabbildung

Е. Bright-field image


  1. Темнопольное изображе­ние

D. Dunkelfeldabbildung

Е. Dark-field image

  1. Микродифракция

  1. Feinbereichsbeugung

  2. Selected ared diffraction


Изображение, сформирован­ное в просвечивающем элек­тронном микроскопе электрон­ными пучками, содержащими нерассеянные в объекте элек­троны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы

Изображение, сформирован­ное в просвечивающем элек­тронном микроскопе только рассеянными в объекте элек­тронными пучками

Дифракционное изображение малого участка объекта, сфор­мированное в задней фокаль­ной плоскости объективной линзы и увеличенное электрон­ными линзами просвечивающе­го электронного микроскопа



ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ
ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

  1. Изображение во вторич­ных электронах

  1. Abbildung mit sekundarel- elektronen

  2. Secondary-Emission mode

  1. Изображение в отражен­ных электронах

  1. Abbildung mit Riickstreu- elcktronen

  2. Backscattered Electron mode

  1. Изображение в поглощен­ных электронах

  1. Abbildung mit Probens- tomen

  2. Absorbed specimen current mode


Изображение, сформированное в растровом электронном мик­роскопе с использованием вто­ричных электронов от объекта

Изображение, сформированное в растровом электронном мик­роскопе с использованием от­раженных от объекта электро­нов

Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объ­ектом


Термин

Буквенное обозначение

Определение

36. Катодолюминесцентное изображение

D. Abbildung mit Kathodolu- mineszenz

E. Cathodoluminescence mode

Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуж­даемого в объекте электрон­ным зондом

37. Изображение в наведен­ном электронным зондом токе

  1. Abbildung mit induzierten

Probenstromen

  1. Induced Current mode


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него элек­тронного зонда

38. Изображение в рентге­новском характеристическом излучении


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгенов­ского излучения, возбуждаемо­го в объекте электронным зон­дом

39. Изображение в Оже-элек­тронах


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов

40. Изображение в прошед­ших электронах


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе электронами, про­шедшими сквозь объект

41. Изображение картин ка­налирования электронов

  1. Abbildung mit Channelling Diagrammen

  2. Electron Channeling Pat­tern mode


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования элек­тронных пучков в объекте

42. Изображение при Y-мо- дуляции


Изображение, сформирован­ное в растровом электронном микроскопе сложением видео­сигнала с током (напряжени­ем) кадровой развертки