3,-fOO£-^
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ
ТЕРМИНЫ, ОПРЕДЕЛЕНИЯ И БУКВЕННЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ
Издание официальное
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ
СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР
Москв
а
УДК 001.4 :621.385.833(083.74) Группа П00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
М
ГОСТ
21006—75
Термины, определения и буквенные обозначения
Electron microscopes.
Terms, definitions and letter symbols
Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. № 1835 срок действия установлен
с 01.07. 76 до 01.07. 81
Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.
Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ понятия.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов — синонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой «Ндп».
Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.
В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).
В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивалентов.
К стандарту дано справочное приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических приборов.
С
Издание официальное
★
Перепечатка воспрещена
О Издательство стандартов, 1975Термин |
Буквенное обозначение |
Определение |
1. Электронный микроскоп D. Elektronenimikroskop
|
— |
Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики |
О
Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)
Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп
D. Durchstrahlungs-Elektro- nen-microskop
Е. Transmission electron microscope
Растровый электронный микроскоп (РЭМ)
Ндп. Сканирующий электронный микроскоп
D. Rasterelelektronenmikros- kop
Е. Scanning electron microscope
Отражательный электронный микроскоп
D. Reflexions-Elektronenmik- roskop
Е. Reflection electron microscope
Эмиссионный электронный микроскоп
D. Emissions-Elektronenmik- r о stop
E. Emission electron microscope
Зеркальный электронный микроскоп
D. Spiegelelektronenmikroskop
E. Mirror electron microscope 7. Автоэлектронный проектор Ндп. Микропроектор
Микроскоп-проектор
Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект
Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом
Электронный микроскоп, формирующий изображение
объекта электронными пучками, отраженными этим объектом
Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом
Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала
Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электрического ПОЛЯ
КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ микроскопов
Т 8. Электронная пушка электронного микроскопа Электронная пушка D. Elektronenstrahler , Е. Electron gun Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе ермин |
Буквенное обозначение |
Определение |
9. Электронное зеркало D. Elektronenspiegel Е. Electron mirror |
—• |
Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на об- |
10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ) |
— |
Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом |
11. Электронная линза электронного микроскопа Линза D. Elektronenlinse Е. Electron lens |
|
Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе |
12. Магнитная линза электронного микроскопа Магнитная линза
|
|
Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем |
13. Электростатическая линза электронного микроскопа Электростатическая линза
|
|
Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем |
14. Формирующая линза |
|
Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта |
15. Конденсорная линза электронного микроскопа Конденсор D. Kondensorlinse Е. Condenser lens |
|
Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект |
16. Двойной конденсор электронного микроскопа Двойной конденсор D. Doppelkondensor Е. Double condenser |
|
Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсорных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект |
17. Объективная линза электронного микроскопа Объектив
|
|
Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта |
18. Дифракционная линза |
|
Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной ЛИН- |
Термин |
Буквенное обозначение |
Определение |
19. Промежуточная линза электронного микроскопа Промежуточная линза
|
— |
Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы |
20. Проекционная линза электронного микроскопа Проекционная линза Ндп. Проектив D. Projektiv Е. Projector |
|
Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины |
21. Регистрирующая система электронного микроскопа Регистрирующая система |
|
Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе |
22. Фотокамера электронного микроскопа Фотокамера D. Aufnahmekammer Е. Photographic chamber |
|
Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках |
23. Вакуумная система электронного микроскопа Вакуумная система
|
|
Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе |
24. Юстировочная система электронного микроскопа Юстировочная система |
|
Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа |
25. Отклоняющая система электронного микроскопа Отклоняющая система
|
|
Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями |
26. Стигматор D. Stigmator Е. Stigmator |
|
Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма |
27. Полюсный наконечник электронного микроскопа Полюсный наконечник
|
|
Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой области |
28. Колонна электронного микроскопа Колонна
|
|
Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа |
Термин |
Буквенное обозначение |
Определение |
29. Шлюзовое устройство электронного микроскопа Шлюз 1). Schleuse Е. Air lock |
— |
Устройство, предназначенное для ввода н вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума |
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ
ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ
Светлопольное изображение
D. I lellfeldabbildung
Е. Bright-field image
Темнопольное изображение
D. Dunkelfeldabbildung
Е. Dark-field image
Микродифракция
Feinbereichsbeugung
Selected ared diffraction
Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы
Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками
Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ
ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом Термин |
Буквенное обозначение |
Определение |
36. Катодолюминесцентное изображение D. Abbildung mit Kathodolu- mineszenz E. Cathodoluminescence mode |
— |
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом |
37. Изображение в наведенном электронным зондом токе
Probenstromen
|
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда |
38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении |
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом |
39. Изображение в Оже-электронах |
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов |
40. Изображение в прошедших электронах |
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект |
41. Изображение картин каналирования электронов
|
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте |
42. Изображение при Y-мо- дуляции |
|
Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки |