1. Технические требования к элементам структурной схемы

2.2.1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой по­лярности, должен соответствовать требованиям, предъявляемым к техническим характеристикам магнита в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл. 2.

Таблица 2

Подвижность основных носителей заряда ц > см2В—’с—не более

Магнитная индукция в зазоре магнита В, Тл, не более

Допустимая неоднородность магнитного поля в облает» измерения, °/о (±)

5-Ю4

0,5

3

2.2.2. Погрешность измерения магнитной индукции не должна превышать. 3 %.

2.2.3. Источник постоянного тока изменяемой полярности должен удовлетво­рять требованиям к техническим характеристикам источника тока в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенных в табл. 3.




Таблица 3

Верхний предел удельного электрического сопротивле­ния р , Ом*см, не более

Значение электрического тока I, А, не более

Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, % (±)

1-Ю0

1,6-1 о1

1-ю-1

1-ю-2

1,0

1,0



  1. 4 Погрешность измерения силы электрического, тока не должна превы­шать 1 %.

  2. 5. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетво­рять требованиям к техническим характеристикам измерительного прибора в за­висимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл. 4.

Таблица 4

Удельное электри­ческое сопротивле­ние р , Ом'см не более

Чувствительность, В

Входное электричес­кое сопротивление , $мне менее

Погрешность изме­рения электрического напряжения, %, не более


1-10°

1-Ю1

1-ю-5

1-ю-6

1-Ю4

1-Ю5

1

1

1-Ю2

ыо-5

1-Ю6

1

    1. Коммутирующее устройство должно обеспечивать проведение измерений с использованием одного измерительного прибора. Сопротивление изоляции мон­тажа и контактов коммутирующего устройства должно быть не менее входного сопротивления измерительного прибора.

  1. ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА

  1. Держатель образца, обеспечивающий:

размещение образца с геометрическими размерами согласно п. 5.1;

соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов требованиям к входному сопротивлению измерительного прибора;

перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного поля (до­пустимое отклонение от перпендикулярности не более 3°);

возможность проведения измерений при затемнении образца.

    1. Криостат для проведения измерений при температуре кипения жидкого азота.

    2. Прибор для измерения магнитной индукции с погрешностью не более 3 % типа Ш-18.

    3. Индикатор часового типа по ГОСТ 577—88 для измерения толщины об­разца с погрешностью не более 1-Ю-3 см.

    4. Микрометр по ГОСТ 6507-—90 или индикатор многооборотный по ГОСТ 9696—82 для измерения толщины образца с погрешностью не более 4-Ю-4 см.

    5. Секундомер.

    6. Станки резки кристаллов алмазным диском типа Алмаз-6.

    7. Азот жидкий технический по ГОСТ 9293—74.

    8. Допускается использование инструментов и материалов, не уступающих указанным по метрологическим и техническим характеристикам.

  1. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ К ИЗМЕРЕНИЯМ

    1. Измерения выполняют на образцах в виде плоскопараллельных пластин, удовлетворяющих требованиям к характеристикам, образцов, приведенным в табл. 5.

Таблица 5

Поперечный линейный размер образца L, см, не менее

Толщина d,

образца см

Допустимое отклоне­ние от среднего по толщине образца, %

Отношение линейных размеров контактов к минимальному рас­стоянию между ними, не более

0,7

0,02-

-о,1

5,0

0,1

0,7

0,1-

-0,2

2,5

0,1



  1. На образец наносят четыре омических контакта, располагая их на бо­ковой поверхности или периферии пластины (черт. 3).


    1. Обработку поверхности образца и нанесение омических контактов осу­ществляют в соответствии с методическими указаниями, утвержденными в обя­зательном порядке.

  1. УСЛОВИЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ

    1. . Измерительную установку располагают в помещении вдали от'источни­ков сильного электромагнитного излучения.

    2. Измерения выполняют при фиксированной температуре в диапазоне (23 ±2) °С или при температуре кипения жидкого азота.

  2. ОПЕРАЦИИ ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ

    1. Измеряют толщину образца в трех точках: одной — в центре и двух — на периферии. За результат измерений принимают среднее арифметическое полу­ченных значений. Толщину образца измеряют с погрешностью не более 10-3 при контроле образцов толщиной более 0,06 см; с погрешностью не более 4-Ю-4 — при контроле образцов толщиной не более 0,06 см.

    2. Образец присоединяют к держателю. Держатель с образцом помещают в криостат с жидким азотом. Через образец пропускают электрический ток, ис­пользуя соседняюю по периметру образца пару контактов.

.§.2.1. Значение электрического тока устанавливают в соответствии с требо­ваниями табл. 3.

6.2.2. Регистрируют значения электрического тока и разности потенциалов,

возникающей на второй паре контактов:

^3. 4

( + ;1,2

)

U 3, 4

( ^1, 2

)

^1,4

< + /3, 2

)

^1.4

(—/3, 2

)

U 1, 2

( + 73, 4

)

U 1. 2

(~Z3, 4

)

U 2, 3

( + 7 1, 4

)

U 2, 3

(-Л.4

)



Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3).

  1. Устанавливают фиксированное значение магнитной индукции в зазоре электромагнита.

    1. Пропускают электрический ток через образец, используя противопо­ложную по периметру образца пару омических контактов.

Значение электрического тока устанавливают в соответствии с требо­ваниями табл. 3.6.3.3. Регистрируют значения магнитной индукции, электрического тока и разности потенциалов, возникающей на другой пар контактов:

^2, 4 ^2,4

( + 71, 3

( Л,3 '■

; +В) і и ; -в)

^2, 4

^2, 4

( 0,3

( + /1, 3

; +В)

; -В)

U1, 3

( + ^2,4 :

; +в)

^1,3

( ^2,4

; +В)

1,3

( ^2,4 ;

-В)

^1,3

( + ;2,4 :

; -В)



Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3).

ПРимечание. Значения электрического тока при измерениях в пределах пункта 6.2 или 6.3 должны быть одинаковы; значения электрического тока при выполнении измерений разных пунктов могут различаться.

  1. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ

    1. Вычисляют значения напряжений t/xU х* по формулам

1^3,4 (+О-С/3,4 (~/)4-^2,3 (+О-^2,3 (~Л1

ЦХ1— 4 ' (1)

1^1,4 W-U1 4 (-О+І/, 2 ( + 0-^1,2 (-01 ^2= 4~1

При вычислении значений напряжений Ux, UX2 алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

  1. Вычисляют значения коэффициентов , а2 по формулам

^3,4 ( + 0-^3,4 (“О

^2,3 ( + O-t/2,3 (“О (3)

^1,4( + 0-^14(-0

°2“ ^2,1 С + О-^,! (“О (4>

При вычислении коэффициентов и я2 алгебраически учитывают знаки ве-і личин, полученных при измерениях, и делят большую по абсолютной величине сумму на меньшую, чтобы получить результат более 1.

  1. Определяют поправочные коэффициенты /і =f(^і) и /2 = /(а2) по табл. 6.

Таблица 6

а

f

а

f

а

f

1,о

1,5

1,000

0,985

17,0

0,612

90,0

0,413

2,0

0,986

18,0

0,604

95,0

0,408

2,5

0,932

19,0

0,596

100,0

0,403

3,0

0,906

20,0

0,588

110,0

0,395

3,5

0,882

22,0

0,574

120,0

0,388

4,0

0,860

24,0

0,562

130,0

0,382

4,5

0,839

26,0

0,551

140,0

0,376



Продолжение табл. 6

а

!

а

і

а

f

5,0

0,821

28,0

0,541

150,0

0,371

5,5

0,804

29,0

0,536

160,0

0,366

6,0

0,789

30,0

0,532

170,0

0,361

6,5

0,774

32,0

0,524

180,0

0,357

7,0

0,761

34,0

0,516

190,0

0,353

7,5

0,750

36,0

0,509

200,0

0,350

8,0

0,738

38,0

0,503

250,0

0,335

8,5

0,727

40,0

0,496

300,0

0,324

9,0

0,717

45,0

0,483

350,0

0,315

10,0

0,699

55,0

0,461

450,0

0,301

11,0

0,682

60,0

0,452

500,0

0,295

12,0

0,668

65,0

0,444

■600,0

0,286

13,0

0,655

70,0

0,436

700,0

0,279

14,0

0,643

75,0

0,430

800,0

0,273

15,0

0,632

80,0

0,423

900,0

0,268

16,0

0,622

85,0

0,418

1000,0

0,263

  1. 7

    (5)


    У XI'fl Uxi'f2


    их=


    .4. Вычисляют среднее значение напряжения Uх по формулеВ

    (6)

    Ом-си,

    ычисляют значение удельного электрического сопротивления р, по формуле

4,532 -d

р= 1п2-/ ~ I 'Ulc'

где d толщина образца, см;

Ux — среднее значение напряжения, вычисленное по формуле (5);

/ — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 7.2.2, А.

  1. Вычисляют значения напряжений Uy и 77^ по формулам .

з (+Л+В)-17, 3 (-/,+B)-U, 3 (+/ -Bl+t/j з (-7,-B)J : . (7)

[1/2 4 (+z,4-В)—U24 (-Л+В)-U24 (4-7В)4-{72 4 (-7,-В)]

vy^=— 4 - . (8)

При вычислении значений напряжений Uyi, Uy алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

  1. Вычисляют среднее значение холловского напряжения по формуле

и

О)

Уі+иуг
иу~ 2
  1. Вычисляют значение коэффициента Холла R», см3/Кл, по формуле

10*-t7v-d

R.,= ;.В ■ , (10)

тде 17 у — среднее значение холловского напряжения, вычисленное по форму­ле (9), В;

d толщина образца, см;

I — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 6.2, А;

В — значение магнитной индукции, при котором проводились измерения по п. 6.2, Тл.

  1. Вычисляют значение концентрации основных носителей заряда N, см-3, по формуле тде г — фактор Холла, принимаемый равным Г,

е — заряд электрона =1,602-10-19 Кл.

  1. Вычисляют значение холловской подвижности основных носителей за­ряда р-н . см^В-'-с-1, по формуле

Р„= . (12)

    1. . Допускается проведение измерений и обработки результатов с исполь­зованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящей МВИ, в частности, использование установок типа «Холл-100», ТУ 25—04 (Ж.410.009), «Холл-200» или других, удовлетворяющих требованиям п. 3.1.1 настоящей мето­дики.

  1. ПРЕДСТАВЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ И НОРМЫ
    НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ