Технические требования к элементам структурной схемы
2.2.1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой полярности, должен соответствовать требованиям, предъявляемым к техническим характеристикам магнита в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл. 2.
Таблица 2
Подвижность основных носителей заряда ц > см2В—’с—не более |
Магнитная индукция в зазоре магнита В, Тл, не более |
Допустимая неоднородность магнитного поля в облает» измерения, °/о (±) |
5-Ю4 |
0,5 |
3 |
2.2.2. Погрешность измерения магнитной индукции не должна превышать. 3 %.
2.2.3. Источник постоянного тока изменяемой полярности должен удовлетворять требованиям к техническим характеристикам источника тока в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенных в табл. 3.
Таблица 3
Верхний предел удельного электрического сопротивления р , Ом*см, не более |
Значение электрического тока I, А, не более |
Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, % (±) |
1-Ю0 1,6-1 о1 |
1-ю-1 1-ю-2 |
1,0 1,0 |
4 Погрешность измерения силы электрического, тока не должна превышать 1 %.
5. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям к техническим характеристикам измерительного прибора в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл. 4.
Таблица 4
Удельное электрическое сопротивление р , Ом'см не более |
Чувствительность, В |
Входное электрическое сопротивление , $м’ не менее |
Погрешность измерения электрического напряжения, %, не более |
1-10° 1-Ю1 |
1-ю-5 1-ю-6 |
1-Ю4 1-Ю5 |
1 1 |
1-Ю2 |
ыо-5 |
1-Ю6 |
1 |
Коммутирующее устройство должно обеспечивать проведение измерений с использованием одного измерительного прибора. Сопротивление изоляции монтажа и контактов коммутирующего устройства должно быть не менее входного сопротивления измерительного прибора.
ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА
Держатель образца, обеспечивающий:
размещение образца с геометрическими размерами согласно п. 5.1;
соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов требованиям к входному сопротивлению измерительного прибора;
перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного поля (допустимое отклонение от перпендикулярности не более 3°);
возможность проведения измерений при затемнении образца.
Криостат для проведения измерений при температуре кипения жидкого азота.
Прибор для измерения магнитной индукции с погрешностью не более 3 % типа Ш-18.
Индикатор часового типа по ГОСТ 577—88 для измерения толщины образца с погрешностью не более 1-Ю-3 см.
Микрометр по ГОСТ 6507-—90 или индикатор многооборотный по ГОСТ 9696—82 для измерения толщины образца с погрешностью не более 4-Ю-4 см.
Секундомер.
Станки резки кристаллов алмазным диском типа Алмаз-6.
Азот жидкий технический по ГОСТ 9293—74.
Допускается использование инструментов и материалов, не уступающих указанным по метрологическим и техническим характеристикам.
ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ К ИЗМЕРЕНИЯМ
Измерения выполняют на образцах в виде плоскопараллельных пластин, удовлетворяющих требованиям к характеристикам, образцов, приведенным в табл. 5.
Таблица 5
Поперечный линейный размер образца L, см, не менее |
Толщина d, |
образца см |
Допустимое отклонение от среднего по толщине образца, % |
Отношение линейных размеров контактов к минимальному расстоянию между ними, не более |
0,7 |
0,02- |
-о,1 |
5,0 |
0,1 |
0,7 |
0,1- |
-0,2 |
2,5 |
0,1 |
На образец наносят четыре омических контакта, располагая их на боковой поверхности или периферии пластины (черт. 3).
Обработку поверхности образца и нанесение омических контактов осуществляют в соответствии с методическими указаниями, утвержденными в обязательном порядке.
УСЛОВИЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ
. Измерительную установку располагают в помещении вдали от'источников сильного электромагнитного излучения.
Измерения выполняют при фиксированной температуре в диапазоне (23 ±2) °С или при температуре кипения жидкого азота.
ОПЕРАЦИИ ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ
Измеряют толщину образца в трех точках: одной — в центре и двух — на периферии. За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений. Толщину образца измеряют с погрешностью не более 10-3 при контроле образцов толщиной более 0,06 см; с погрешностью не более 4-Ю-4 — при контроле образцов толщиной не более 0,06 см.
Образец присоединяют к держателю. Держатель с образцом помещают в криостат с жидким азотом. Через образец пропускают электрический ток, используя соседняюю по периметру образца пару контактов.
.§.2.1. Значение электрического тока устанавливают в соответствии с требованиями табл. 3.
6.2.2. Регистрируют значения электрического тока и разности потенциалов,
возникающей на второй паре контактов: |
|||||
^3. 4 |
( + ;1,2 |
) |
U 3, 4 |
( ^1, 2 |
) |
^1,4 |
< + /3, 2 |
) |
^1.4 |
(—/3, 2 |
) |
U 1, 2 |
( + 73, 4 |
) |
U 1. 2 |
(~Z3, 4 |
) |
U 2, 3 |
( + 7 1, 4 |
) |
U 2, 3 |
(-Л.4 |
) |
Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3).
Устанавливают фиксированное значение магнитной индукции в зазоре электромагнита.
Пропускают электрический ток через образец, используя противоположную по периметру образца пару омических контактов.
Значение электрического тока устанавливают в соответствии с требованиями табл. 3.6.3.3. Регистрируют значения магнитной индукции, электрического тока и разности потенциалов, возникающей на другой пар контактов:
^2, 4 ^2,4 |
( + 71, 3 ( Л,3 '■ |
; +В) і и ; -в) |
^2, 4 ^2, 4 |
( 0,3 ( + /1, 3 |
; +В) ; -В) |
U1, 3 |
( + ^2,4 : |
; +в) |
^1,3 |
( ^2,4 |
; +В) |
1,3 |
( ^2,4 ; |
-В) |
^1,3 |
( + ;2,4 : |
; -В) |
Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт. 3).
ПРимечание. Значения электрического тока при измерениях в пределах пункта 6.2 или 6.3 должны быть одинаковы; значения электрического тока при выполнении измерений разных пунктов могут различаться.
ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ
Вычисляют значения напряжений t/xU х* по формулам
1^3,4 (+О-С/3,4 (~/)4-^2,3 (+О-^2,3 (~Л1
ЦХ1— 4 ' (1)
1^1,4 W-U1 4 (-О+І/, 2 ( + 0-^1,2 (-01 ^2= 4~1
При вычислении значений напряжений Ux, UX2 алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.
Вычисляют значения коэффициентов , а2 по формулам
^3,4 ( + 0-^3,4 (“О
^2,3 ( + O-t/2,3 (“О (3)
^1,4( + 0-^14(-0
°2“ ^2,1 С + О-^,! (“О (4>
При вычислении коэффициентов и я2 алгебраически учитывают знаки ве-і личин, полученных при измерениях, и делят большую по абсолютной величине сумму на меньшую, чтобы получить результат более 1.
Определяют поправочные коэффициенты /і =f(^і) и /2 = /(а2) по табл. 6.
Таблица 6
а |
f |
а |
f |
а |
f |
1,о 1,5 |
1,000 0,985 |
17,0 |
0,612 |
90,0 |
0,413 |
2,0 |
0,986 |
18,0 |
0,604 |
95,0 |
0,408 |
2,5 |
0,932 |
19,0 |
0,596 |
100,0 |
0,403 |
3,0 |
0,906 |
20,0 |
0,588 |
110,0 |
0,395 |
3,5 |
0,882 |
22,0 |
0,574 |
120,0 |
0,388 |
4,0 |
0,860 |
24,0 |
0,562 |
130,0 |
0,382 |
4,5 |
0,839 |
26,0 |
0,551 |
140,0 |
0,376 |
Продолжение табл. 6
а |
! |
а |
і |
а |
f |
5,0 |
0,821 |
28,0 |
0,541 |
150,0 |
0,371 |
5,5 |
0,804 |
29,0 |
0,536 |
160,0 |
0,366 |
6,0 |
0,789 |
30,0 |
0,532 |
170,0 |
0,361 |
6,5 |
0,774 |
32,0 |
0,524 |
180,0 |
0,357 |
7,0 |
0,761 |
34,0 |
0,516 |
190,0 |
0,353 |
7,5 |
0,750 |
36,0 |
0,509 |
200,0 |
0,350 |
8,0 |
0,738 |
38,0 |
0,503 |
250,0 |
0,335 |
8,5 |
0,727 |
40,0 |
0,496 |
300,0 |
0,324 |
9,0 |
0,717 |
45,0 |
0,483 |
350,0 |
0,315 |
10,0 |
0,699 |
55,0 |
0,461 |
450,0 |
0,301 |
11,0 |
0,682 |
60,0 |
0,452 |
500,0 |
0,295 |
12,0 |
0,668 |
65,0 |
0,444 |
■600,0 |
0,286 |
13,0 |
0,655 |
70,0 |
0,436 |
700,0 |
0,279 |
14,0 |
0,643 |
75,0 |
0,430 |
800,0 |
0,273 |
15,0 |
0,632 |
80,0 |
0,423 |
900,0 |
0,268 |
16,0 |
0,622 |
85,0 |
0,418 |
1000,0 |
0,263 |
7
(5)
У XI'fl Uxi'f2
их=
(6)
Ом-си,
ычисляют значение удельного электрического сопротивления р, по формуле4,532 -d
р= 1п2-/ ~ I 'Ulc'
где d — толщина образца, см;
Ux — среднее значение напряжения, вычисленное по формуле (5);
/ — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 7.2.2, А.
Вычисляют значения напряжений Uy и 77^ по формулам .
[Щ з (+Л+В)-17, 3 (-/,+B)-U, 3 (+/ -Bl+t/j з (-7,-B)J : . (7)
[1/2 4 (+z,4-В)—U24 (-Л+В)-U24 (4-7В)4-{72 4 (-7,-В)]
vy^=— ■ 4 - . (8)
При вычислении значений напряжений Uyi, Uy алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.
Вычисляют среднее значение холловского напряжения по формуле
и
О)
Уі+иугВычисляют значение коэффициента Холла R», см3/Кл, по формуле
10*-t7v-d
R.,= ;.В ■ , (10)
тде 17 у — среднее значение холловского напряжения, вычисленное по формуле (9), В;
d — толщина образца, см;
I — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 6.2, А;
В — значение магнитной индукции, при котором проводились измерения по п. 6.2, Тл.
Вычисляют значение концентрации основных носителей заряда N, см-3, по формуле тде г — фактор Холла, принимаемый равным Г,
е — заряд электрона =1,602-10-19 Кл.
Вычисляют значение холловской подвижности основных носителей заряда р-н . см^В-'-с-1, по формуле
Р„= . (12)
. Допускается проведение измерений и обработки результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящей МВИ, в частности, использование установок типа «Холл-100», ТУ 25—04 (Ж.410.009), «Холл-200» или других, удовлетворяющих требованиям п. 3.1.1 настоящей методики.
ПРЕДСТАВЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ И НОРМЫ
НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ