ГОСТ 4.64-80. Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей (69429)








ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР

СИСТЕМА ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА ПРОДУКЦИИ

ОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ

НОМЕНКЛАТУРА ПОКАЗАТЕЛЕЙ

ГОСТ 4.64-80

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ
Москв

а



ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

Система показателей качества продукции

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ

Номенклатура показателей

Product-quality index system.
Semiconductor materials.

Nomenclature of indices


ГОСТ
4.64-80*



Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 12 мая 1980 г. № 2059 срок действия установлен

c 01.07.31

Настоящий стандарт устанавливает номенклатуру основных показателей качества объемных монокристаллов іполупроводнико- вых материалов, включаемых в ТЗ на НИР по определению пер­спектив развития этой группы продукции, государственные стан­дарты с перспективными требованиями, а также номенклатуру показателей качества, включаемых в разрабатываемые и перспек­тивные стандарты на продукцию, ТЗ на ОКР, технические усло­вия, карты технического уровня и качества продукции.

Коды ОКП приведены в справочном приложении 1.

  1. НОМЕНКЛАТУРА ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА ОБЪЕМНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ
    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Номенклатура показателей качества, единицы измерения, ус­ловные обозначения, а также характеризуемые свойства, приведе­ны в табл. 1.

Алфавитный перечень показателей качества полупроводнико­вых материалов приведен в справочном приложении 2.

Издание официальное Перепечатка воспрещена

* Переиздание (февраль 1985 г.) с Изменением № 1, утвержденным в марте 1985 г. Пост. Лі 545 от 13.03.85 (И У С 6—85).

© Издательство стандартов, 1985

2—558Показатель качества и единица измерения

Условное обоз­начение показа­теля качества

Характеризуемое свойство

  1. Удельное электрическое сопро­тивление, Ом-см

    1. Номинальное значение удель­ного электрического сопротивления, Ом-см

    2. Интервал номинальных значе­ний удельного электрического сопро­тивления, Ом- см

    3. Интервал значений удельного электрического сопротивления, Ом-см

  2. Относительное отклонение удель­ного электрического сопротивления от среднего значения по длине моно­кристаллического слитка, %

  3. Радиальное относительное от­клонение удельного электрического сопротивления от среднего значения по торцу монокристаллического слит­ка, %

  4. Относительное отклонение сред­них значений удельного электричес­кого сопротивления торцов от номи­нального значения удельного элек­трического сопротивления, %

  5. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка

  6. Отклонение плоскости торцово­го среза от плоскости ориентации, °

  7. Концентрация атомов оптичес­ки. активных примесей, см-3

    1. Концентрация атомов оптичес­ки активного кислорода, см-3

7.Й. Концентрация атомов оптичес­ки активного углерода, см-3

  1. Геометрическая характеристика поперечного сечения монокристалли­ческого слитка

    1. Диаметр монокристаллического слитка, мм

    2. Интервал номинальных значе­ний диаметров, мм

    3. Площадь поперечного сечения монокристаллического слитка, мм2

  2. Отклонение диаметра монокрис­таллического слитка от номинально­го значения, мм

  3. Длина монокристаллического слитка, мм


Ри

Электрофизическое свойство

Ри,—рна


Р1—Рз


8Р/

Электрофизическое свойство

5?Z?

Электрофизическое свойство

8Рн

Электрофизическое свойство

|й£/|

Кристаллографическое свойство

а

Кристаллографическое свойство

8Рн

Химический состав

Мэ,


Nc


d




S



—

I





Продолжение табл. 1

Показатель качества и единица измерения

Условное обоз­начение показа­теля качества

Характеризуемое свойство

И. Плотность дислокаций, см~2

Nd

Структурное совершен­ство

12. Время жизни неравновесных

т

Электрофизическое

носителей заряда, -мкс, или диффузи­онная длина, мм

свойство

13. Суммарная длина малоугловых границ, мм или доли диаметра

МУ г

Структурное совершен­ство

14. Концентрация основных носите­лей заряда, см-3

N

Электрофизическое свойство

15. Относительное отклонение от номинального значения концентра­ции основных носителей заряда, %


Электрофизическое свойство

  1. Подвижность основных носите­лей заряда, см2/(В.с)

  2. Внешние дефекты (трещины, раковины, сколы)

  3. Внутренние дефекты

    1. Раковины, трещины

Г8.2. Наличие второй фазы

  1. Наличие двойниковых границ

  2. Наличие свирл-дефектов

Iі

Электрофизическое свойство

Структурное совершен­ство



Примечания:

  1. Допускается использование других показателей качества, связанных с особенностями отдельных полупроводниковых материалов, по согласованию с потребителями.

  2. В качестве удельного электрического сопротивления используется один из показателей 1.1—1.3.

В качестве геометрической характеристики поперечного сечения монокрис­таллического слитка используется один из показателей 8.1—8.3.

Внутренние дефекты характеризуются показателем 18 или комплексом по­казателей 18.1—18.4.

  1. Для германия вместо показателя 4 используется показатель: «Относи­тельное отклонение значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения удельного электрического сопротивления, %».

(Измененная редакция, Изм. № 1).

  1. ПРИМЕНЯЕМОСТЬ ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА

Применяемость -показателей качества полупроводниковых ма­териалов приведена в табл. 2—6.

2*



Кремний монокристаллический

Номер показате­ля каче­ства

Кремний монокри­сталличес­кий для полупро­воднико­вых прибо­ров и ми­кросхем

Кремний монокри­сталличес­кий для эпитакси­альных структур

Кремніий монокри­сталличес­кий для силовой полупро­воднико­вой тех­ники

Кремний монокри­сталличес­кий для фотопри­емников

Кремний монокри­сталличес­кий для источни­ков тока

Кремний монокри­сталличес­кий для детекторов ядерных излучений

Кремний монокри­сталличес­кий водо­родный

1

+

+

+

+

+

+

+

2

■ 1 ■

+

+

—


+

—г-

3

+

+

+


—


—

4

+

+


-4-

—

—

—

5

+

+

+


+

+ ■

Т“

6

+

+

+

+

—

+

-X-

7.1

+

+

+

+

—

+

”Т“

7.2

-4-

-4—

—

——

——

—

——•

8


+

+

+

+

+

+

9

— _

4-

ч-

—

—


•

10

- -

+

+

+

+

+

—

11

- -

+

+

4-

—

+


12

-Ь

-+-

+

+

+

+

+

13

—

■

•4-

—

—

-4-

+

17

+

+

+

+

+

+

-L-

18.1

+

+

+

+

+

+

+

18.4

±







Таблица 3



Германий монокристаллический

Номер показа­теля качества

Германий моно­кристаллический для полупровод­никовых прибо­ров и микросхем

Германий моно­кристаллический для эпитаксиаль­ных структур

Германий моно­кристаллический для оптоэлек­троники

Германий моно­кристаллический для ядерной спектрометрии

1

+

+

-н


2

±

-4-

—

т

3

4-

■4-

—


4

+

+

—

—

5

+

+

4_

+

6

—

—

—


8

+

+

+

+

9




-4-

10

+

"Т"

+

+

11


+


+



Продолжение табл. 3

Номер показа* теля качества

Германий моно­кристаллический для полупровод­никовых прибо­ров и микросхем

Германий моно­кристаллический для эпитаксиаль­ных структур

Германий моно­кристаллический для оптоэлек­троники

Германий моно­кристаллический для ядерной спектрометрии

12

ч-

—

+

13

±


—-

—

14

——

—

—

4“

16



—


17

+

+

+

+

18.1

+

+

+

+

18.2


—

——

Ч-

18.3

+

+

+

+

Таблица 4



Антимонид индия монокристаллический

Номер показателя качества

Антимонид индия для п олупр оводн иковых приборов

Антимонид индия для эпитаксиальных структур

1






5

+

+

6

-4-

+

8

+

+

10

Ч-


11

+

+

12

Ч-


13

—

- -

14

+

--

15

-

— —

16

+

— »

17

+

— _

18

+


Скачать бесплатно
Предыдущий документ
Следующий документ
Следующая страница


Нормативні акти про охорону праці Основні законодавчі акти Будівельні норми і правила (ДБН, СНиП) Стандарти (ГОСТ, ДСТУ) Санітарні норми і правила Пожежна безпека (НАПБ) Інструкції з охорони праці Реестр НПАОП 2020-2021 - Нормативно-правові акти з охорони праці

ДБН 8.2.6-98:2009 Бетонні та залізобетонні конструкції Инструкция по охране труда для стропальщиков НПАОП 29.22-1.03-02 Правила будови і безпечної експлуатації вантажопідіймальних кранів ДБН А.2.2-1-2003 Склад і зміст матеріалів оцінки впливів на навколишнє середовище (овнс) при проектуванні і будівництві підприємств, будинків і споруд ПУЭ ПУЭ:2006 Правила устройства электроустановок. Раздел 4. Распределительные устройства и подстанции ДБН В.2.2-5-97 Будинки та споруди. Захисні споруди цивільної оборони Закон України "Про основні засади державного нагляду (контролю) у сфері господарської діяльності" ГОСТ 9293-74* Азот газообразный и жидкий. Технические условия Закон України "Про відходи" ГОСТ 19906-74 Нитрит натрия технический. Технические условия
ОСТ 5.0346-81 Система стандартов безопасности труда. Электроснабжение строящихся и ремонтируемых судов. Требования безопасности СТОРІНКА: 5 Закон України 1378-IV Про оцінку земель СТОРІНКА: 2 ОСТ 1 31165-80 Болты с потайной головкой с углом 90° и прямым шлицем. Конструкция и размеры СТОРІНКА: 6 ВСН 015-89 Строительство магистральных и промысловых трубопроводов линии связи и электропередачи СТОРІНКА: 2 ГОСТ 313-77 Анилин технический. Технические условия СТОРІНКА: 3 ГОСТ 28567-90 Компрессоры. Термины и определения СТОРІНКА: 3 ОНТП 02-86 Общесоюзные нормы технологического проектирования предприятий машиностроения, приборостроения и металлообработки. Деревообрабатывающие цехи СТОРІНКА: 3 ДНАОП 45.21-1.03-98 Правила безпеки праці під час проведення робіт з будівництва мостів СТОРІНКА: 3 ГОСТ 17187-81 Шумомеры общие технические требования и методы испытаний СТОРІНКА: 2 ОСТ 92-3494-74 Тяги телескопические. Конструкция и размеры СТОРІНКА: 3
Смотрите также
ЕНиР Монтажные и ремонтно-строительные работы сборник е6 плотничные и столярные работы в зданиях и сооружениях Инструкция для персонала котельных (типовая)НПАОП 0.00-1.08-94 Правила будови і безпечної експлуатації парових і водогрійних котлів