Качество ребра скоса верхних пластин, выпускаемых из производства и после ремонта, должно соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.
Для верхних пластин, находящихся в эксплуатации, на ребре скоса допускаются выколки в виде точек диаметром до 0,1 мм в количестве не более пяти с каждого края ребра скоса.
Определение ширины штрихов и качества их нанесения
Качество нанесения штрихов и их ширину определяют на инструментальном микроскопе.
Качество нанесения штрихов и их ширина должны соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.
Определение непараллельности плоских поверхностей
Непараллельность плоских поверхностей пластин определяют индикатором часового типа, укрепленным в стойке.
Пластину устанавливают на столике так, чтобы наконечник индикатора касался рабочей поверхности пластины на расстоянии 0,5—1 мм от фаски, и, перемещая ее в трех диаметральных направлениях, отсчитывают показания по индикатору.
Непараллельность плоских поверхностей пластин определяют как максимальную разность показаний индикатора в двух диаметрально расположенных точках.
Непараллельность плоских поверхностей пластин должна соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.
О п р е д е л е н и е неплоскостности нерабочих плоских поверхностей
Неплоскостность нерабочих плоских поверхностей определяют лекальной линейкой, острое ребро которой накладывают на нерабочую плоскую поверхность пластины в трех диаметральных направлениях, равномерно расположенных по поверхности пластины.
Отклонение от плоскостности определяют визуально по ширине просвета между ребром лекальной линейки и нерабочей поверхностью пластины, сравнивая его с «образцом просвета».
«Образец просвета» получают притирая к рабочей поверхности плоской стеклянной пластины длинным ребром параллельно, друг к другу три концевые меры длины: две одинаковой номинальной длиной по краям, а третью между ними номинальной длиной на 0,003 мм меньше крайних.
При наложении ребра лекальной линейки параллельно короткому ребру концевых мер длины образуется «образец просвета», соответствующий пределу допускаемой неплоскостности.
Неплоскостность нерабочих плоских поверхностей пластин не должна превышать 2,7 мкм (10 интерференционных полос).
О п р е д е л е н и е неплоскостности рабочих пластин класса 1
Неплоскостность рабочих поверхностей пластин класса 1 определяют интерференционным методом: на интерферометре с отсчетным устройством или методом «трех плоскостей» на интерференционной установке с линейным полем зрения на 5—10 мм более диаметра поверяемой пластины и с отсчетным устройством; (см. справочное приложение 1).
Неплоскостность рабочих поверхностей пластин определяют по> изгибу интерференционной полосы в долях полосы, в двух диаметральных направлениях пластин, расположенных под углом 90° друг к другу с применением спектральной ртутной лампы и светофильтра, выделяющего зеленую линию ртути (Л = 0,5461 мкм).
Примечание. Допускается применять источники излучения с длинами волн 0,54—0,59 мкм.
Изгиб интерференционной полосы в кольцевой зоне шириной 2 мм от края рабочей поверхности не учитывают.
При поверке пластин на интерферометре поверяемую пластину устанавливают на столик рабочей поверхностью к пластине интерферометра. Регулировкой винтов столика добиваются четкого изображения 4—5 интерференционных полос так, чтобы одна из них проходила через центр пластины.
Направление интерференционных полос устанавливают перпендикулярно выбранному диаметральному направлению /—I (черт. 1).
/ С
D
/
Черт. 1
Одну из нитей АВ перекрестия отсчетного устройства располагают так, чтобы она проходила через середину концов центральной интерференционной (темной) полосы.
Проводят десять измерений изгиба а интерференционной полосы и расстояния 2Ь между серединами трех смежных темных полос и определяют средние значения аСр и Ьср десяти измерений.
Неплоскостность N определяют по формуле
где аСр — среднее арифметическое значение изгиба интерференционной полосы в делениях шкалы отсчетного устройства;
Ьср— среднее арифметическое значение ширины интерференционной полосы в делениях шкалы отсчетного устройства.
Подобным же образом определяют неплоскостность во втором диаметральном направлении II—II (см. черт. 1), установив интерференционные полосы перпендикулярно этому направлению.
Выпуклой поверхности приписывают знак плюс, а вогнутой — знак минус.
Знак неплоскостности определяют по расположению интерференционных полос относительно ребра воздушного клина: если выпуклость интерференционных полос направлена в сторону ребра воздушного клина, то поверхность пластины вогнута, если в противоположную сторону, то поверхность выпуклая.
Положение ребра воздушного клина, образованного рабочими поверхностями пластин (верхней) интерферометра и поверяемой пластины (нижней), определяют по расширению или сужению интерференционных полос при легком нажатии на край С или D пластины.
Для горизонтального положения полос (см. черт. 1) при прямом и обратном (слева направо) изображении объекта ребро воздушного клина располагается в месте нажатия, если при нажатии на край верхней пластины снизу вверх или на край нижней пластины сверху вниз полосы расширяются; ребро клина располагается в противоположной от места нажатия стороне, когда полосы сужаются.
■ Если при нажатии на край верхней пластины сверху вниз или на край нижней пластины снизу вверх полосы расширяются, то ребро воздушного клина располагается в противоположной от места нажатия стороне, когда полосы сужаются — в месте нажатия.
Для вертикального положения полос при обратном (слева направо) изображении объекта знак неплоскостности изменяют на противоположный.
Неплоскостность определяют по наибольшему отклонению для; одного из двух диаметральных направлений.
Одновременно в каждом из диаметральных направлений определяют местную неплоскостность по изгибу интерференционной? полосы Да (черт. 2) .
Одну из нитей АВ перекрестия отсчетного устройства располагают так, чтобы она проходила через середину концов центральной интерференционной (темной) полосы.
Проводят десять измерений изгиба Да интерференционной полосы.
Местную неплоскостность определяют по формуле
(2)
$ср
Поверку пластин на интерференционной установке (см., приложение 1) проводят методом «трех плоскостей», при котором поверяемые пластины I, II, III попарно накладывают друг на друга в следующих комбинациях:
I—II, I—III и II—III.
Одну из поверяемых пластин устанавливают на столик интерференционной установки, вторую — в верхнюю обойму.
Установку интерференционных полос и определение суммарного отклонения от плоскостности двух поверяемых пластин проводят как указано в п. 3.9.2.
Для каждой из комбинаций поверяемых пластин определяют суммарную неплоскостность (соответственно A’l, jV2 И Лгз) по изгибу центральной интерференционной полосы в долях полосы с соответствующим знаком.
Неплоскостность Nx, Ny и Л', соответственно пластин I, II и III, вычисляют для каждого из выбранных диаметральных направлений по результатам измерения суммарной неплоскостности трех комбинаций пластин по формулам:
N ЛЧ-М-У, (3)!
л2 '
Ny= ■, (4)?
(5)
Неплоскостность каждой из поверяемых пластин определяют по наибольшему отклонению для одного из двух диаметральных направлений
.Одновременно в каждом из диаметральных направлений определяют суммарную местную неплоскостность для каждой из ком- -бинаций поверяемых пластин по и. 3.9.2 (см. черт. 2) с соответствующим знаком.
Местную неплоскостность ,NX, ANZ соответственно пластин I, II, III вычисляют по вышеприведенным формулам (3, 4, 5).
Неплоскостность в микрометрах равна
N-+-, &
где N — неплоскостность в долях полосы;
% — длина волны, мкм .
Неплоскостность рабочих поверхностей пластин класса 1 должна соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.
О п р е д е л е н и е н е п л о с к о с т н о ст и рабочих поверхностей пластин класса 2 и верхних пластин
Неплоскостность рабочих поверхностей пластин класса 2 и верхних пластин определяют плоской стеклянной пластиной класса 1 интерференционным методом на интерференционной установке (см. приложение 1) или без нее с монохроматическим или белым источником света.
Диаметр пластины класса 1 должен быть не менее диаметра поверяемой пластины.
Пластину класса 1 устанавливают на столик установки (см. приложение 1), а поверяемую —в верхнюю обойму или непосредственно на рабочую поверхность пластины класса 1.
Установку интерференционных полос производят как указано в п. 3.9.2.
Нить АВ перекрестия отсчетного устройства устанавливают так, чтобы она проходила через середину концов центральной интерференционной полосы (см. черт. 1).
Определяют изгиб интерференционной полосы а визуально в долях полосы с соответствующим знаком.
Аналогично определяют изгиб полосы во втором диаметральном направлении II—II.
Если изгиб полос не превышает 0,2 полосы, поверяемую пластину относят к классу 2. При изгибе полос более 0,2 полосы неплоскостность N поверяемой пластины определяют по формуле
N=a—Nit(7)
тд,& а — изгиб интерференционной полосы в долях полосы;
Ni — неплоскостность пластины класса 1 в долях полосы.
Примечание. Допускается не учитывать неплоскостность пластины класса 1, если она не превышает >/s допускаемого значения по ГОСТ 2923—75.
При использовании пластины класса 1 диаметром больше диаметра поверяемой пластины учитывают неплоскостность Nd пластины класса 1 на участке поверхности равном диаметру поверяемой пластины D, которую вычисляют по формуле
Nd(8)
где Ni — неплоскостность пластины класса 1 в долях полосы;
£>i — диаметр пластины класса 1, мм;
D — диаметр поверяемой пластины, мм.
Определяют местную неплоскостность Да (см. черт. 2) визуально в долях полосы.
При поверке пластин без установки на рабочую поверхность пластины класса 1 накладывают поверяемую пластину и легким нажимом на поверяемую пластину добиваются появления 4—5 интерференционных полос.
Определяют изгиб интерференционной полосы а (см. черт. 1) и Да (см. черт. 2) визуально в двух диаметральных направлениях /—I и II—II в долях полосы с соответствующим знаком.
Неплоскостность пластины класса 1 учитывают как указано в п. 3.10.2.
Класс пластины устанавливают по наибольшему отклонению для одного из двух диаметральных направлений.
Неплоскостность должна соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.
4. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
На плоские-стеклянные пластины класса 1, признанные годными при поверке органами Госстандарта СССР, выдают свидетельство о государственной поверке по форме, установленной Госстандартом СССР.
На оборотной стороне свидетельства о государственной поверке пластин класса 1 указывают действительное значение неплос- костности в обоих диаметральных направлениях с соответствующим знаком (обязательное приложение 2).
На плоские стеклянные пластины класса 2, признанные годными при поверке органами Госстандарта СССР, выдают свидетельство о государственной поверке по форме, установленной Госстандартом СССР, или результат поверки оформляют записью класса пластин в паспорте, заверенной поверителем с нанесением оттиска поверительного клейма.
Результаты первичной поверки предприятием-изготовителем заносят в паспорт.Результаты ведомственной поверки пластин заносят в эксплуатационный паспорт (или документ его заменяющий) и заверяют в порядке, установленном ведомственной метрологической службой и согласованном с органами Госстандарта СССР.
Плоские стеклянные пластины, не удовлетворяющие требованиям настоящего стандарта, к выпуску и применению не допускаются.
Оттиск доверительного клейма и другие отметки, удостоверяющие положительный результат предыдущей поверки, гасят и выдают извещение о непригодности с указанием причины непригодности.
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Справочное
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ УСТАНОВКА
Назначение и основные технические характеристики
Установка предназначена для наблюдения в монохроматическом свете интерференционных полос равной толщины и измерения изгиба интерференционных полос и их ширины.
Установка должна иметь:
отсчетное устройство с ценой деления не 'более 0,01 мм и пределами измерения не менее 8 мм;
линейное поле зрения не менее 125 мм;
столик с винтами для регулировки наклона одной из пластин;
в качестве источника света — спектральную ртутную лампу;
светофильтр, выделяющий зеленую линию ртути (X = 0,5461 мкм).
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Обязательное
ФОРМА ЗАПИСИ
{ на оборотной стороне свидетельства результатов государственной поверки
пластин класса 1]
Неплоскостность в долях интерференционной полосы:
в направлении 1-І + 0,07;
в направлении II—Н+0,05 при Z.=0,546 мкм
