Е-16-16. Запрещается использовать стеклянные бутыли для засасывания в них вакуумом реакционных масс или продуктов из емкостей и аппаратов.
Е-16-17. При работе со стеклянной посудой соблюдать меры безопасности, изложенные в гл. Г-2 настоящих Правил
ГЛАВА Е-17. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УЧАСТКЕ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Е-17-1. Работа на участке фотолитографии связана с применением ЛВЖ (легковоспламеняющихся жидкостей) диоксана, ацетона, толуола и др., кислот (приложение 14). При организации работы с химическими веществами необходимо руководствоваться гл. Г-1 настоящих Правил.
Е-17-2. При работе с ЛВЖ соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Г-7, а при работе с кислотами— Г-3 настоящих Правил. Перед началом работы с диоксаном и фоторезистами на диоксане необходимо проверять наличие в них перекисных соединений.
Е-17-3. Хранение фоторезистов и все операции с ними необходимо проводить в вытяжном шкафу.
Е-17-4. При эксплуатации установок нанесения фоторезиста и экспонирования необходимо пользоваться защитными очками для защиты глаз от ультрафиолетового излучения.
Е-17-5. При работе на электроустановках соблюдать меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-17-6. Работающие на участке должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты в зависимости от свойств применяемых веществ.
ГЛАВА Е-18. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ДИФФУЗИИ И СПЛАВЛЕНИИ
Е-18-1. Работа при обслуживании диффузионных печей связана с применением электроэнергии, кислорода, инертного газа, кислот.
Е-18-2. При работе на электроустановках должны соблюдаться меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-18-3. При работе с сосудами, работающими под давлением, необходимо выполнять требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-18-4. При работе с кислотами выполнять требования, изложенные в главе Г-3 настоящих Правил.
Е-18-5. Организацию работ на химическом участке осуществлять в соответствии с требованиями, изложенными в гл. Г-1 настоящих Правил.
Е-18-6. Механизмы управления и обслуживания печей необходимо располагать в таких местах, чтобы рабочие на подвергались воздействию температуры и вы-
делающихся газообразных веществ. Печи должны быть оборудованы местными вытяжками.
Е-18-7. Загрузку пластин (ампул) в диффузионную трубу, а также их выгрузку производить только с помощью специального кварцевого крюка.
Е-18-8. Температра наружных поверхностей печей не должна быть выше 40 °С.
ГЛАВА Е-19. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКАХ ДИФФУЗИИ МЫШЬЯКА
Е-19-1. Диффузионные электрические печи должны соответствовать «Правилам устройства электроустановок» и эксплуатироваться в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», располагаться в специальных укрытиях (типа вытяжных шкафов с плотно закрывающимися створками), оснащенных вытяжной вентиляцией.
Е-19-2. На участке диффузии мышьяка производятся следующие работы, при выполнении которых имеет место непосредственный контакт работающих с металлическим мышьяком:
а) взятие навески элементарного мышьяка и кремниевого порошка, легированного мышьяком;
б) сборка кварцевой ампулы (с навеской мышьяка или кремниевого порошка, легированного мышьяком);
в) вскрытие кварцевой ампулы после диффузионного процесса и выгрузка из нее кремниевого порошка.
Металлический мышьяк представляет собой хрупкую кристаллическую массу серого цвета. Благодаря нерастворимости мышьяк в чистом виде не вызывает отравлений, но может оказаться ядовитым вследствие окисления в As2O3 потом или слюной или вследствие перехода в растворимые соединения под действием желудочного сока.
При обычной температуре на воздухе мышьяк очень медленно окисляется с поверхности; при накаливании на воздухе легко окисляется в мышьяковистый ангидрид.
Е-19-3. Взятие навески металлического мышьяка или легированного мышьяком кремниевого порошка
и сборку кварцевой ампулы проивзодить в скафандре, используя средства индивидуальной защиты.
Е-19-4. При загрузке в диффузионную печь и выгрузке кварцевой ампулы с навеской кремниевого порошка, легированного мышьяком, применять защитные очки (щиток), резиновые перчатки и респиратор.
Е-19-5. В процессе приготовления лигатуры (кремниевого порошка, легированного мышьяком) отходящие из реактора газы пропускать через барботер, заполненный 10—20%-ным КОН.
Е-19-6. Вскрытие кварцевых ампул производить в вытяжном шкафу, применяя резиновые перчатки, нарукавники, защитные очки (щиток) и респиратор.
Е-19-7. При работе с ядовитыми веществами выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил.
Е-19-8. При работе с кислотами, щелочами выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-3 настоящих Правил.
Е-19-9. При разгерметизации ампул с навеской мышьяка в момент загрузки в печь створки шкафа должны быть немедленно закрыты и печь выключена. Выгрузку ампулы и замену реактора производить после остывания печи до температуры не выше 40° С. Внутренняя поверхность шкафа должна быть промыта 3—5%-ным раствором кальцинированной соды, затем водой.
Е-19-10. Кварцевые ампулы и трубки, бывшие в употреблении, должны очищаться химическим способом — методом протравливания.
Е-19-11. Все твердые отходы, загрязненные мышьяком (осколки кварцевых ампул, бязь, батист и прочее, загрязненные мышьяком или кремниевым порошком, легированным мышьяком), должны собираться в специальный ящик с крышкой, закрываемой на замок. На ящике должны быть надписи: «Отходы мышьяка», «Яд».
Е-19-12. Обезвреживание отходов должно производиться в соответствии с «Инструкцией по обезвреживанию и уничтожению сильнодействующих ядовитых веществ» (приложение 4).
Е-19-13. Элементарный мышьяк и кремниевый порошок, легированный мышьяком, хранить в закрытом на ключ сейфе. На сейфе должна быть надпись «Яд».
Е-19-14. Просыпанный металлический мышьяк и кремниевый порошок, легированный мышьяком, должны быть собраны влажным тампоном и это место обезврежено 5%-ным раствором кальцинированной соды. Тампоны должны быть сложены в ящик сбора отходов мышьяка.
Работа должна проводиться в резиновых перчатках, защитных очках и респираторе.
ГЛАВА Е-20. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ
Е-20-1. Установки эпитаксиального наращивания предназначены для получения эпитаксиальных слоев кремния различной проводимости, а также для проведения следующих операций:
а) карбидизации графитовой подставки;
б) покрытия подставки поликристаллическим слоем кремния;
в) травления подложек и подставок газообразным хлористым водородом;
г) наращивания пленки SiО 2, Si 3N. Е-20-2. Работа на указанных установках связана с применением:
1) тока высокой частоты;
2) гидридсодержащих смесей и галогенидов кремния, бора, фосфора, мышьяка, сурьмы (фосфина, дибо-рана, арсина, тетрахлорида кремния, треххлористого мышьяка, треххлористого фосфора, трехбромистого бора).
Е-20-3. При работе на установке эпитаксиального наращивания соблюдать меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-20-4. Эксплуатация баллонов со сжатыми газами должна производиться в соответствии с «Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-20-5. Установки эпитаксиального наращивания должны быть оборудованы местной вытяжной вентиляцией.
Е-20-6. Работающие должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты (противогазом соответствующей марки — см. приложение 13, защитными очками, резиновыми перчатками и т. п.).
Е-20-7. На участке должны быть средства пожаротушения.
Е-20-8. При работе на водородных печах необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в разд. И настоящих Правил.
Е-20-9. Работающие должны знать свойства применяемых веществ и меры безопасности при работе с ними.
При работе с гидридами элементов III, IV и V групп соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Е-22, при работе с четыреххлористым кремнием — в гл. Е-25, при работе с треххлористым мышьяком— в гл. Е-8, при работе с треххлористым фосфором и трехбромистым бором — в гл. Е-14 и Е-24 настоящих
правил.
Е-20-10. Высокочастотный генератор должен быть заэкранизирован в соответствии с требованиями, изложенными в разделе И настоящих Правил.
Е-20-11. Баллоны с гидридами должны устанавливаться в укрытиях типа вытяжных шкафов.
При замене баллона вентили на баллоне должны закрываться, разводящие магистрали продуваться инертным газом и только после этого производиться замена баллона.
Е-20-12. Система газораспределения совместно с реактором должна быть проверена на герметичность во избежание подсоса воздуха или утечки газа. В случае подсоса воздуха в реактор или утечки водорода из газовых коммуникаций или реактора возможен взрыв в результате образования взрывоопасной смеси.
Е-20-13. Во избежание взрыва пуск скруббера должен проводиться в следующем порядке:
а) включается вытяжная система;
б) в течение 5 мин продувается основная горелка скруббера инертным газом и подается вода для орошения скруббера;
в) зажигается факел контрольной горелки. Е-20-14. При внезапном отключении вентиляции генератор должен быть отключен, в реактор подан инерт-
ный газ. Реактор должен продуваться до полного охлаждения подставки.
Е-20-15. При замене баллонов с гидридсодержащи-ми смесями или испарителя с тетрахлоридом кремния должны быть отключены электропитание и подача водорода.
Баллоны должны переноситься с заглушками в специальных устройствах для переноски.
Е-20-16. Заправку испарителя тетрахлоридом кремния (четыреххлористым кремнием) производить в вытяжном шкафу с использованием средств индивидуальной защиты. Испаритель должен переноситься закрытым.
Е-20-17. При утечке хлористого водорода из газовых коммуникаций вентили, подающие хлористый водород, должны быть перекрыты. Устранение неисправности должно производиться в противогазе и резиновых перчатках.
Е-20-18. Устранение утечки гидридсодержащих смесей производить в противогазе.
Е-20-19. При наблюдении за разогревом подложек в реакторе, за подставкой во время ее обработки (стравливание поликристалла кремния), а также во время карбидизации необходимо пользоваться защитными очками.
Е-20-20. Заполнять реактор водородом без предварительной продувки инертным газом категорически запрещается— это может привести к взрыву.
Е-20-21. Контрольный факел горелки должен поджигаться после продувки инертным газом.
Е-20-22. Температура воды, подающейся на охлаждение реактора, не должна превышать 26°С. Установка должна быть оборудована блокировкой и сигнализацией водоохлаждения индуктора с выключающим генератор устройством.
Е-20-23. После окончания работы отключение установки должно осуществляться в следующем порядке:
а) отключен нагрев;
б) перекрыты баллоны с гидридами;
в) коммуникации, реактор и газораспределительная система продуты инертным газом;
г) перекрыты все вентили для подачи водорода, хлористого водорода, гидридсодержащих смесей и аргона.
д) отключено электропитание установки и ВЧ-гене-ратора.
Е-20-24. При работе с хлористым водородом необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в главе Е-21.
ГЛАВА Е-21. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ С ГАЗООБРАЗНЫМ ХЛОРИСТЫМ ВОДОРОДОМ
Е-21-1. Газообразный хлористый водород применяется для протравливания подложек и подставок.
При работе с хлористым водородом необходимо выполнять требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-21-2. Баллон с хлористым водородом должен устанавливаться в специальном укрытии, оборудован эффективной вентиляцией.
Е-21-3. Установка, где используется хлористый водород, должна быть оборудована местной вытяжной вентиляцией.
Е-21-4. Давление на линии хлористого водорода не должно превышать 0,7 кгс/см2.
Е-21-5. Проверку герметичности вентилей и натека-телей на линии хлористого водорода производить с помощью аммиака.
Е-21-6. Производить работу с хлористым водородом при отключенной вентиляции категорически запрещается. При отключении вентиляции вентиль на линии подачи хлористого водорода должен быть немедленно закрыт.
Е-21-7. Категорически запрещается во время работы с хлористым водородом производить регулировку давления в линии.
Е-21-8. В случае обнаружения утечки хлористого водорода вентиль на линии должен быть немедленно закрыт и приняты меры по устранению неисправности.
Е-21-9. По окончании работы с хлористым водородом на установке линия должна быть продута водородом в течение 5 мин, затем аргоном и после этого вентиль на линии хлористого водорода перед устайовкой должен быть закрыт.
ГЛАВА Е-22. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ
С ГИДРИДАМИ ЭЛЕМЕНТОВ III—V ГРУПП (МОНОСИЛАН, ДИБОРАН, ФОСФИН, АРСИН И ДР.)
Е-22-1. Большинство гидридов элементов III—V групп представляют легколетучие, огнеопасные, взрывоопасные и чрезвычайно токсические вещества (моносилан, фос-фин, диборан и т. д.). Применяются они в виде разбавленных смесей с водородом или инертным газом.
Е-22-2. Транспортировка гидридов должна производиться в специальных баллонах, имеющих четкую маркировку. Баллоны должны удовлетворять требованиям, изложенным в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением», и при транспортировке закрепляться каждый раздельно в специальных стойках с амортизирующими прокладками.
