Страница 6: ОСТ 92-0145-85. Материалы текстильные и обтирочные. Нормирование расхода (80364)

Инв. М падл.

Поди, к дат®

Взамен жввЛ

Ивв.*дубл.

Падв* ■ дата

/КАГХГ

Наименование технологической операции

Материал

Удельный расход

Наименование возможных заменителей

Наименование

Обозначение документа

Группа сложности

I

п

4, Протирка внутренних рабочих поверхностей обо­рудования:

очистка подложек, су-

Батист, м/м

шильных камер,карусель-

- ной установки

протирка вакуумных ка­мер , маскодержателвй ,под- ложкодержателей,навесок, испарителей,технологичес-

(при ширине 100 см) £

л

ГОСТ 8474-80

0,0Г0

0,010

кой тары,инструмента,ирис пособлений,стола, стекла микроскопа

5. Удаление фоторезиста с обратной стороны подлож­ки и загрязнений при

Бязь, м/іГ (при ширине 100 см)

ГОСТ 11880-76

0,005

0,005

экспонировании,ретуширо­вании

Бязь, (пои ширине 100 см)

ГОСТ 11680-76

о,спо

0,010

Изготовление МИКрООХбМ И МИКрОСборОК тонкопденочнь/х

со со

ОСТ 92-0145-85 Стр.

Под», а дат*

Вммм «я». М

Ж» № ду«и

Лмя я дата

Ост 588/35

/ц о$ tf

.

Продолже іие табл. 16

Мате

риал

Удельный расход

Наименование

технологической

'■ операции

Наименование

Обозначение

Группа сд

ожности

возможных заменителей

документа

. I

П

•$• Промывка фотопластин при химической обработке

Ц, Протирка обратной стороны платы при извле­чении из тары в процессе сборки

S. Протирка рабочих механизмов и приспособ­лений прецизионного обо­рудования

Dame іяАтттзптпгп'/.тгаст

ГОСТ 5556-81

ГОСТ 8474-80 .

ГОСТ 8474-80

0,005

0,005

0,005

0,005

0,005

0,005

*Jq * С* ЛМВД(ш4ІшмК£Ш f кг/м²

Батист, м/м²

(при ширине 100см)

Батист, м/м²

(при ширине 100см)

Ивв. -М нодл.

Подп.и дата

Взамен инв4

И*в.>дубл.

Подп. к дета

ocn-Htfas

«г

Наименование

Матер

нал

Удельный

расход

Наименование

'■ технологической операции

Наименование

Обозначение

Группа сложности

возможных заменителей

документа

I

П

—Cj)і ' ‘ Форыпт А4

* /• Протирка внутренних поверхностей оборудования при изготовлении полупро­водниковых приборов: очистка подложек,су­шильных камер;карусельной установки;

протирка шлюзовых ка­мер установок диффузии;

протирка кварцевой ос­настки;

протирка камер плазмо- химической обработки; , протирка реакторов участка пирометрического осаждения;

протирка объемов пыле­защитных -камер типа” Лада"

Батист, м/м² (цри ширине 100см)

Ензь, м/м² (цри ширине 100см)

Бязь, м/м² (при ширине 100см)

Бязь,, м/м² (при ширине 100см)

Бязь, м/м² (при ширине 100см)

Бязь, м/м² (цри ширине 100см)

ГОСТ 8474-80

ГОСТ 11680-78

ГОСТ 11680-76

ГОСТ 11680-76

ГОСТ 11680-76

ГОСТ 11680-76

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010

0,010 0,010

ОСТ 92-0145-85 Стр.35

I р^доф бД-SGCLJOJ

<D

F

Г

Продолжение табл.17 о

. . > 43

' о

Наименование технологической операции < л

Материал

Удельный расход

V* Наименование возможных 8

заменителей го і о

Наименование

Обозначение документа

Группа сложности

I

п

2, Протирка рабочих ме­ханизмов и приспособле­ний прецизионного обору­дования:

протирка столиков и транспортных платформ и склизов установки гидро­механической оснастки;

протирка наконечников пинцета перед загрузкой пластин, фотошаблонов перед экспонированием и химической очисткой

у. 3, Удаление фоторезиста с обратной стороны под­ложки и загрязнений при экспонировании,ретуширо- ваиии

Бязь , м/м² (при ширине 100см) Батист, м/м² (при виряж 100см) Батист, vfyp (при мирине 100см)

Бязь , м/і^ (цри ширине 100см)

*"—»■ — 1- —

ГОСТ 11680-76

ГОСТ 8474-80

ГОСТ 8474-80

ГОСТ 11680-76

0,010

0,010

0,010

0,010

■

0,010 о,то б,ою

0,010

¹ нч

£

СП

Им М'ММА

Продолжение табл.17

Материал

Удельный расход

BSMNHOMUDMl

Обоевмеяже дауит

Группа сложности

I

п

Цротжрма квдплвых ванн кромяп волов ж мт литобработки

Бквь, (при жвдаме 100 см)

ГОСТ 11680-76

0,010

0,010

Нротщжа наколи ус­тановки, надежных и внутренних поверхностей, защитных кожухов ж ог­раждений. пасппе&ели- тельного устройства, на­ружных путей ионных ис­точников ж СИСТвМЫ вы-

• пуска BF жонно^лучеж установок

Бкзь, м/^

Схгрк вфккв 100 ем)

ГОСТ 11680-76

0,(П0

0,010

6, Периодическая чист­ка конных источников ионно-лучевых установок от деталей

Батист, м/м2 (при мрине 100 см)

о

ГОСТ 8474-80

0,010

0,010

ІМ-4М IS ПТППЗоГвййф

Под», а д«т»

ВііМн ми». М

"Ика № дувл

Пом и *»w

оет-ыл^

#.05&

Продолжение табл.17

*' операции

Материал

Удельный расход

Наименование возможных заменителей

Наименование

Обозначение документа

• г

Группа сложности

I

п

7, Протирка предметного столика и окуляров микро­скопов

Бязь, м/м^ (при ширине 100 см) . £4гпис/?>ґшш lUVp4H^yOQlt>J

Бязь, м/ir ' (при ширине 100 см)

Вата медицинская, кг/і^

ГОСТ 11680-76

0,010

о,ото

a,ofa

в. Промнвка рабочей по­верхности установки сов­мещения и экспонирования

9. Обезжиривание шарово­го шлифа

ГОСТ 11680-76

ГОСТ 5556-81

>. • '

о,ого .

0,005

0,010

0,005

/о, Протирка поверхности планшайбы вакуумного пат­рона установки сздайбирова вин пластин

Батист, м/м?

(цри ширине 100 см)

Ґ" ■

ГОСТ 8474-80

6,ОТО

О.ОТО

Протирка внешней по­верхности полуавтомата реаки твердых материалов

БЯ8Ь, ц/м^ (при ширине 100 см)

ГОСТ П680-76

0,010

0,010

Инв. М водл.

Поди, м дата

Взамен «пД

Иив.>дубл.

Подо, а дета

A

Продолжение табл.17

V

М а т е р и а л

Удельный расход

Наименование

Обозначение документа

Группа сложности

I

п

⁾ Протирка внешней и

внутренней поверхности, диска механизма приклейюг основания механизма при­катки, предметного сто- ЛИКА Механизма ЛОМКИ УС~ тановки для ломки плас­тин

•

Вязь /й² (при ширине 100 см)

»

1

і

о

» t

ГОСТ 11680-76

, *

0,010

0,010