---

4-10—⁷ 4-Ю-⁶ 2-I10-⁸

1 • 10—⁷ 4-10—⁷ 5-10—⁹ 5-Ю-⁷ 4-10-⁶ 4-Ю-⁸ 4-10—⁷ 4-Ю-⁶

1,8 1,7 1,6 2,0 1,9

1,9 1,7

1,5 1,4

1,6 1,5 1,5 2,2

2,0 1,9

1,7 1,7

1,4 2,0

1,8 1,7 2,0 1,9

1,8 21,0 1,9

1,8 2,0

1,9 1,9 1,9 1,9

1,8 2,0

1,9 1,9

1,7 1,6 1,5

1,9 1,8

1,7 1,9 1,9 1,8

1,8 1,8 1,7

МИНИ»

дукты для его получения и кварц. Методы определения примесей

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 26.06.99 № 1847

Дата введения 01.01.91

Вводная часть. Заменить слова: «химико-спектральный» на «химико-атомно- эмиссионный».

Раздел 2. Заменить слова: «Шкаф сушильный на температуру 150 °С» ни «Шкаф сушильный, обеспечивающий температуру нагрева 250 °С»;

дополнить абзацем: «Автоклав аналитический М 167 с реакционной каме* рой М206; С 3551 с реакционной камерой С 3552 в соответствии с ирил ожени • ем»;

заменить ссылки: ГОСТ 9199—77 на ТУ 6—09—5382—88, ГОСТ 11125—78 на ГОСТ 11125—84, ГОСТ 18300—72 на ГОСТ 18300—87; исключить ссылку: ГОСТ 4173—77.

Пункт 4.1.1. Второй абзац. Заменить слово: «спектральному» на «атомно- эмиссионному»;

дополнить абзацами: «Допускается получение концентрата примесей в ан а-

а

литическом

втоклаве непосредственно в кратере графитового электрода.

Анализ каждой пробы кремния проводят из трех параллельных навесок. Для этого в кратеры трех графитовых электродов с насадками помещают наве­ски кремния массой 0,5 г (или в 1 электрод навеску кремния массой 1,5 г), сме­шанные с 20 мг графитового порошка, содержащего 0,5% хлористого натрия.

Одновременно через все стадии анализа проводят три контрольных опыта на загрязнение реактивов.

Электроды с пробами и контрольными опытами помещают во второпласто-

вый держатель электродов. Держатель электродов помещают в

стакан камеры, содержащий 35 см³ фтористоводородной и 5 см? азотной кислої (количества, достаточно для растворения до 1,5 г кремния).

Р

ставят в сушильный шкаф

еакционную камеру помещают в корпус автоклава, герметизируют его.

и выдерживают в течение четырех часов при тея- пер ату ре 200—220°С.

После этого автоклав вынимают из сушильного шкафа и охлаждают (можна при помощи вентилятора и контактного холодильника) до комнатной темпера­туры.

О

ватны

тав*

ткрыв автоклав, реакционную камеру протирают снаружи

поном, смоченным спиртом. Вынимают электроды и при необходимости подсуч шивают их под инфракрасной лампой.

Концентраты примесей в электродах подвергают атоино-эмисс ионном у ана­лизу».

Пункт 4.1.3. Первый абзац дополнить словами: «(при анализе четыреххло­ристого кремния и трихлорсилана технической чистоты допускается брать 6,5 см^э (10 г) четыреххлористого кремния или 7,5 см³ (10 г) трихлорсилана с соответ­ствующим изменением интервала определяемых значений массовых долей опре­деляемых примесей в 5 раз)»?

Пункт 4.2. Заменить слово: «Спектральный» на «Атомно-эмиссионный».

Пункт 4.2.2 после слод «добавляют по 1 мг хлористого натрия» дополнить словами: «(1 мг хлористого натрия в концентратах из анализируемой пробы а контрольных опытов можно ввести также в виде 0,5 %-ного раствора в коли­честве 0,2 см³ при получении концентрата примесей на 20 мг графитового по­рошка) ».

Пункт 5.2 дополнить примечанием (после табл. 3): «Примечание. Для определения цинка (при фотографировании спектра на спектрографе типа ИСП-28) можно использовать линию цинка 328,23 нм при условии, если массовая доля титана в концентрате пробы менее 340^-4 %».

Стандарт дополнить приложением:

(Продолжение см. с. 102)(Продолжение изменения к

ГОСТ 26239.1—84) 'ПРИЛОЖЕНИЕ Обязател ьное

вухкамерныи

автоклав М 167 и С 3551

1 — корпус автоклава; 2 — реакционная емкость; 3— сбор­

ник; 4 — крышка реакционной емкости; 5 — крышка корпуса автоклава; 6 — валорное устройство; 7 — натяжная гайка;

8 — донный холодильник

Черт. 1

(Продолжение см. с. 103

)(Продолжение изменения к ГОСТ 26239.1—84)

К

М 206

амеры для концентрирования

С 3552

/ — реакционная енкость; 2

электродов; 3

графитовые

4 — крышка реакционно

ержатель

электроды; емкости

электрод; 4 — сборник; 5 — крышка реак*

ционной емкости

7 реакционная емкость; 2 — держатель

электродов и сборников; 3 — графитовый

Черт. 2
(ИУС № ТО 1.900 г.)В полупроводниковом кремнии

1