4-10—7 4-Ю-6 2-I10-8
1 • 10—7 4-10—7 5-10—9 5-Ю-7 4-10-6 4-Ю-8 4-10—7 4-Ю-6
1,8 1,7 1,6 2,0 1,9
1,9 1,7
1,5 1,4
1,6 1,5 1,5 2,2
2,0 1,9
1,7 1,7
1,4 2,0
1,8 1,7 2,0 1,9
1,8 21,0 1,9
1,8 2,0
1,9 1,9 1,9 1,9
1,8 2,0
1,9 1,9
1,7 1,6 1,5
1,9 1,8
1,7 1,9 1,9 1,8
1,8 1,8 1,7
МИНИ»
дукты для его получения и кварц. Методы определения примесей
Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 26.06.99 № 1847
Дата введения 01.01.91
Вводная часть. Заменить слова: «химико-спектральный» на «химико-атомно- эмиссионный».
Раздел 2. Заменить слова: «Шкаф сушильный на температуру 150 °С» ни «Шкаф сушильный, обеспечивающий температуру нагрева 250 °С»;
дополнить абзацем: «Автоклав аналитический М 167 с реакционной каме* рой М206; С 3551 с реакционной камерой С 3552 в соответствии с ирил ожени • ем»;
заменить ссылки: ГОСТ 9199—77 на ТУ 6—09—5382—88, ГОСТ 11125—78 на ГОСТ 11125—84, ГОСТ 18300—72 на ГОСТ 18300—87; исключить ссылку: ГОСТ 4173—77.
Пункт 4.1.1. Второй абзац. Заменить слово: «спектральному» на «атомно- эмиссионному»;
дополнить абзацами: «Допускается получение концентрата примесей в ан а-
а
литическом
втоклаве непосредственно в кратере графитового электрода.Анализ каждой пробы кремния проводят из трех параллельных навесок. Для этого в кратеры трех графитовых электродов с насадками помещают навески кремния массой 0,5 г (или в 1 электрод навеску кремния массой 1,5 г), смешанные с 20 мг графитового порошка, содержащего 0,5% хлористого натрия.
Одновременно через все стадии анализа проводят три контрольных опыта на загрязнение реактивов.
Электроды с пробами и контрольными опытами помещают во второпласто-
вый держатель электродов. Держатель электродов помещают в
стакан камеры, содержащий 35 см3 фтористоводородной и 5 см? азотной кислої (количества, достаточно для растворения до 1,5 г кремния).
Р
ставят в сушильный шкаф
еакционную камеру помещают в корпус автоклава, герметизируют его.и выдерживают в течение четырех часов при тея- пер ату ре 200—220°С.
После этого автоклав вынимают из сушильного шкафа и охлаждают (можна при помощи вентилятора и контактного холодильника) до комнатной температуры.
О
ватны
тав*
ткрыв автоклав, реакционную камеру протирают снаружипоном, смоченным спиртом. Вынимают электроды и при необходимости подсуч шивают их под инфракрасной лампой.
Концентраты примесей в электродах подвергают атоино-эмисс ионном у анализу».
Пункт 4.1.3. Первый абзац дополнить словами: «(при анализе четыреххлористого кремния и трихлорсилана технической чистоты допускается брать 6,5 смэ (10 г) четыреххлористого кремния или 7,5 см3 (10 г) трихлорсилана с соответствующим изменением интервала определяемых значений массовых долей определяемых примесей в 5 раз)»?
Пункт 4.2. Заменить слово: «Спектральный» на «Атомно-эмиссионный».
Пункт 4.2.2 после слод «добавляют по 1 мг хлористого натрия» дополнить словами: «(1 мг хлористого натрия в концентратах из анализируемой пробы а контрольных опытов можно ввести также в виде 0,5 %-ного раствора в количестве 0,2 см3 при получении концентрата примесей на 20 мг графитового порошка) ».
Пункт 5.2 дополнить примечанием (после табл. 3): «Примечание. Для определения цинка (при фотографировании спектра на спектрографе типа ИСП-28) можно использовать линию цинка 328,23 нм при условии, если массовая доля титана в концентрате пробы менее 340-4 %».
Стандарт дополнить приложением:
(Продолжение см. с. 102)(Продолжение изменения к
ГОСТ 26239.1—84) 'ПРИЛОЖЕНИЕ Обязател ьное
вухкамерныи
автоклав М 167 и С 3551
1 — корпус автоклава; 2 — реакционная емкость; 3— сбор
ник; 4 — крышка реакционной емкости; 5 — крышка корпуса автоклава; 6 — валорное устройство; 7 — натяжная гайка;
8 — донный холодильник
Черт. 1
(Продолжение см. с. 103
)(Продолжение изменения к ГОСТ 26239.1—84)
К
М 206
амеры для концентрированияС 3552
/ — реакционная енкость; 2
электродов; 3
графитовые
4 — крышка реакционно
ержатель
электроды; емкости
электрод; 4 — сборник; 5 — крышка реак*
ционной емкости
7 реакционная емкость; 2 — держатель
электродов и сборников; 3 — графитовый
Черт. 2
(ИУС № ТО 1.900 г.)В полупроводниковом кремнии
1