---

ков, причем К_П1—на частотах jV_k , указанных в НТД на испытуемый тип

изделий; аК_п — на частотах N _э-= , где Г_э—э л ект ровно-оптическое уве-

³ * э

лмчение испытуемого изделия.

Примечание. При определении К п увеличение микро объективов вход­ного блока и выходного должно быть одинаковым (например для случая, ког­да Г э >0,8'1, ЮХ, а для случая, когда Г_э<0,8, 20Х).—

РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ

1. Формула вычисления частоте Н_к > приведенной в измерений имеет следующий

ПРИЛОЖЕНИЕ 6

Справочное

коэффициента передачи контраста на заданной плоскость катода испытуемого ЭОП, по данным вид

(28)

уст’

где Tv — измеряемое значение КПК; к

Кп — поправочный коэффициент,

учитывающий систематическую ш>-

грешность, вносимую измерительной установкой.

2. Средняя квадратическая погрешность измерения КПК вычисляется по фор­муле

пр. ус

9

а ⁴ °С пф

(29)

где О_Пр,у_С

— средняя квадратическая случайная погрешность приемного блока установки;

— средняя квадратическая погрешность, обусловленная нестабиль­ностью подфокусирующего напряжения ЭОП;

—коэффициент влияния приращения подфокусирующего напряжения

ЭОП на приращение отсчета п {К у = 1);

віл —средняя квадратическая погрешность, связанная с нестабильностью питания лампы;

° к N —средняя квадратическая погрешность при определении системати­ки к

ческой ошибки установки КпН_к~

на частоте .

* ycT^yv* /

„2

‘2 , -2 і _2 ₍ _2

, обусловленную подфоку-

пр ^ипулс

и*

(30)

где с у , Оу
Пр пульс

ния, связанные ряжения.

где bj — основная ни я;

Х_Р~ 1,7^3 - погрешность прибора

СКО прибора контроля подфокусирующего напряже- с пульсациями и нестабильностью нап-

1,73 —°>^87%>

контроля подфокусирующего напряже-

Оу^ — дополнительная средняя квадратическая погрешность прибора на краю интервала температур (2*5'—30) °С.

Аб 1,73

1,50,5

1,73

=0,43 %.

ч_и = = Дг— =0,033 % ,

п

питания изделий

ульс ° °

где.е_{и п}--максимальная величина пульсации источников (в_н._п=О,1 %)

.

^ИСТ

=0,42 %,

е_ИСт — максимальное значение нестабильности подфокуоирующего напряже-
ния (8_{ИСТ в} —ВО Времени 1 % И ^еист.с —^ПОСЄТИ — 1 %)•

Подставляя полученные значения в

формулу (ЗЮ¹), получим

_а2 = О,в7²-Н0,43²-Н0,03!3²+0,42 ^s = 1,12 %. пф

2.3. Среднюю квадратическую погрешность оїл, связанная с нестабиль­ностью питания лампы, вычисляют по формуле

(31)

где Кл — коэффициент влияния нестабильности источника питания лампы на отсчеты п и п₀ (определен экспериментально К л =6,5).

^б/лс> сг/_{л ь}-—средняя квадратическая погрешность нестабильности источника питания лампы при изменении напряжения сети на ±10 % и за вре­мя измерения соответственно

8/

¹ л. с

G/ '-—G і

‘л.с ‘'Л.В

^£іп г = 8/_л п— максимальное значение нестабильности источника питания лампы. * JA » V ^₽ J1 . 15

Подставив численные значения в формулу (ЭР), получим

о? =6,5²(0,067²4-0,067²)=0,38 %.

* Л

₍^хп к

тематической ошибки установки на частоте jV_k —^вы*^-оп для изделий с

Г_э > '0,81 вычисляют по формуле

°К_П^-аУ^стАгЛ +^о N • 1А К Гк Гк .К

(32)

где G_vcljv —средняя квадратическая погрешность при ^у к

мой установки на частоте N_K;

о дг — средняя квадр атическая погрешность при

определении КПК са-

вычислении ;

°^DNK

— средняя квадратическая погрешность за счет поправки на шири­ну рабочей щели установки.

2.4.2. Среднюю квадратическую погрешность о_усТ1 при определении КПК

самой установки вычисляют по формуле

уст ДГ $°п р.ус+% »
гк “СТ

(33 >

где Фцр.уст ¹

07_лст ” средняя питания

квадратическая погрешность нестабильности источника лампы.

<j2 ₌₀2 4(j2 =2-0,067²=0,01 %,

лет л.с л.в

Подставив численные значения в формулу (Зв), получим

а_устк=2-2²+0,01 =8,01%.

2.4.3. Среднюю квадратическую погрешность при вычислении ДГ_К опреде-

ляют по

формуле

^аА/~^аГ +°Г +^арастр» к ВЫХ.ОП Э

(34)

где оу - средняя квадратическая погрешность при определении оптическо- вых. оп

го увеличения микрообъектива блока (о^ =1,7'5 % для де-

вых. оп

н ы делени я о куля рн о го їм и кро м етр а С = 0,00^і 103 мм);

Ср —средняя квадратическая погрешность при измерении электронно- оптического увеличения (оу = 1,5 % по ГОСТ 21815.ТО);

э

а растр—средняя квадратическая погрешность при измерении периода растра Р.

1 ДР ДР

а_растр== —р~ . 100 % -р- =0,025 для любого периода растра в соответствии с ОСТ 3.4804.

0.025

^РастР⁼ з *100=0,83 % .

Подставляя численные значения -в формулу (33), получим

о» =1,75²+1,5²+0,83² =6,0 %. К

2.4.4. Поправку за ширину рабочей щели (rf_m) установки вычисляют по фор­

муле

5іп(л^_к.а_ш.г_вх._0П)

(35)

Среднюю квадратическую погрешность за счет поправки на ширину рабочей

щели (о— ) вычисляют по формуле

=

(36)

(xctgx—1)|/ 2а^ 4-2о£ +2а_г

Г ^к ш. вх .оп

г

o_N =2,45 % в соответствии с формулой (34); К

де X — л*А_к*d щ ^Г_вх._оп ;

су_щ— средняя квадратическая погрешность при измерении рабочей ще­ли dm', 0</_щ=1 % (измерительный компаратор ИЗА-2)

;

Ср - средняя квадратическая погрешность при определении оптического вх.оп

увеличения микро,объектив а осветителя;

Ср = 1,75 % (для микроскопа с Ю'Х мнкрообъективом и окулярам вх.оп

МОВ-Г—46Х с ценой деления 0,001’03 мм).

Для </_щ=0,1 мм, W_K=16 мм ¹ , Г_вх оп =0,1^х

^a0N ^=0,1 ]/2-⁶+²¹²-Ь²¹ >⁷⁵² =0,1 у 20,125=0,45 %.

Подставив численные значения в формулу (3,2), получим

<4 =8 0,1+6,0 +0,452=14,2 %;

^хп к

V» '^и *>■

д

Погрешность с у ь к

по фор-

ля изделий с Г э <0,8 определяют

муле

N уст

¹Г) ¹п счит» к о _N*

(37)

где

устЛ^_к

W₃-

(38)

^N3

+^2ад

**э всп

(39)

о- - средняя квадратическая погрешность за счет поправки на °'дг_э

ширину вспомогательной щели Д _ВСп при определении КПК приємно го блока;

осчит — погрешность считывания с графика значений К_П1и К_Пз составляют 1,0 % (определено экспериментально);

о'м , о— — в соответствии с пп. 2.4.2, 2.4.3, 2.4.4.

к O_N

2.4.5. Поправку за ширину вспомогательной щели Д_ВСп при определении

КПК приємного блока вычисляют по формуле

^JBCn всп

Среднюю квадратическую погрешность за счет поправки на ширину вспо­могательной щели (о— ) вычисляют по формуле

О _N

_a

ГДЄ X—

Caj —средняя квадратическая погрешность при вычислении э

вых.оп

°W =Частр-Ь°г =°.⁸³² н ,75² =2,58 % ; ^Э вых.оп

—

<Тд

всп

О' Д

всп

- средняя квадратическая погрешность при измерении вспомогатель­ной щели Двсп (измерительный компаратор ИЗА-2);

“1 %.

Для Двсп =0,015' мм, А_э⁼⁾10 мм-

¹

о-

*9

2-2,58±2-1²=0,54 %.

Подставив численные значения в формулу (3/7), получим

<?_кN =2.8,01+S,0+0,45²+0,51²+l²=23,5 %; ^хп к

П к

3. Среднюю квадратическую погрешность измерения коэффициента передачи контраста вычисляют по формуле (29), подставляя численные значения.

Для изделий с Г_э <0,в

а_г = /2,2²+1,12²+0,38² ±4,8²=K$M=5,7 % .

^Nk

Суммарная погрешность измерения для частоты, не превышающей 16 мм^-1, с вероятностью 0,95 находится в интервале

=±1,96а _т ,96*5,7~±11,2 % .

^Nk

Для изделий с Г э <0,81

<J_T = К2-2²+1,12²+0,38Ч3.8’=4,9 % .

"к

6т =±1,96-4,9= ±9,6 %.

“к

Закон распределения — нормальный

.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством электронной про­мышленности СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

С. Н. Крестинин (руководитель темы); С. А. Муравлева;

М. В. Ненашева; А. В. Смазнов

В

2. УТВЕРЖДЕН И

ЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Го­

сударственного комитета СССР по управлению качеством про­дукции и стандартам от 29.12.90 № 3725

3. Срок первой проверки — 3 квартал 1997 г. Периодичность проверки — 5 лет

4. Взамен ОСТ ВЗ—4119—78

5. Ссылочные нормативно-технические документы

гост гост гост

ГОСТ

Обозначение НТД, на который дана ссылка

7721 —8*9

1 ЮГ2.О— 81 1'6*263*—70 19810*3—86 21815.0—86 21815.10—86

Н >мор пункта

Вводи а я
Вводная
В водна я
Вводная

часть часть часть

часть; 2.2; 2.9

Редактор Р. Г. Говердовская
Технический редактор Л. Я. Митрофанова
Корректор Е. Ю. Гебрук

С. л я но в паб. 57.02.91 Подп. в печ. 24.05.91 1,25 уел. п. л. 1,25 усл. кр.-отт. 1,10 V4 -изч л.
Т, раж ЗСЭО Цена 45 к.

_ _ - — . „ці - , ■ ■ —■ —. *—*"- - ******

Ордена «Знак Почета> Издательство стандартов, 123557, Москва, ГСП,
Новопресненский пер., 3.

Калужская типография стандартов, ул. Московская, 256. Зак. 462