При плотности дислокаций N& <5-101см—2 измерение проводят при полном сканировании образца.
Примечание: При отклонении формы пластины от круга, выбор полей измерения проводить по диаметру вписанной окружности.
Расположение полей измерения
Черт. 3
рекомендовать проводить при увели-
6.2. Измерение плотности дислокаций чении, указанном в табл. 2.
|
Диаметр Р = 2Я+2Д. мм |
Расстояние полей измерения от центра образца, мм, в точках |
|
|
1, 6, 5, 9 |
2, 4, 7, 9 |
|
|
14—15 |
6 |
4 |
|
16—17 |
7 |
5 |
|
18—19 |
. 8 |
9 |
|
20—21 |
9 |
6 |
|
22—23 |
10 |
6 |
|
24—25 |
11 |
7 |
|
26—27 |
11 |
7 |
|
28—29 |
12 |
8 |
|
30—31 |
13 |
8 |
|
32—33 |
14 |
9 |
|
34—35 |
15 |
10 |
|
36—37 |
16 |
10 |
|
38—39 |
17 |
11 |
|
40—41 |
18 |
11 |
|
42—43 |
18 |
12 |
|
44—45 |
19 |
13 |
|
46—47 |
20 |
13 |
Таблица 1
Расположение полей измерения для
контроля плотности дислокаций
Продолжение-
|
Диаметр Д=2Я+2Д, мм |
Расстояние полей измерения от центра образца, мм, в точках |
|
|
1, 6, 5, 9 |
2, 4, 7, 9 |
|
|
48—49 |
21 |
И . ; |
|
50—51 |
22; |
14 |
|
52—53 |
23 |
15 |
|
54—55 |
24 |
• 15 ‘ |
|
56—57 |
25 |
16 |
|
58—59 |
25 |
17 |
|
60—61 |
26 |
17 |
|
62—63 |
27 |
18 |
|
64—65 |
28 |
18 |
|
66—67 |
29 |
19 |
|
68—69 |
30 |
19 |
|
70—71 |
31 |
20 |
|
72—73 |
31. |
21 |
|
74—75 |
32 |
21 |
|
76—77 |
33 |
22 |
Таблица 2"
|
Плотность дислокаций, см—2 |
Увеличение |
|
Меньше 5-JiO—1 5-Ю-1—5-Ю-2 5-.102— 1-Ю3 1-Ю3—5-Ю3 5-Ю3—1-Ю4 ЫО4—1-Ю5 |
40—200 40—60 60—80 80—120 120—170 170—220 |
Значение плотности дислокаций ND, см--2 определяется по формуле
SQ„
ND = ’
где Qn— число дислокационных ямок травления, подсчитанное в каждом из; п. полей измерения, о
5 — площадь поля измерения, 5= —— , см2,
где D — диаметр поля измерения, см (измеряется объектмикрометром).
Длину малоугловой границы, выявляемой при избирательном травлении в виде прямолинейной цепочки дислокационных ямок травления определяют с помощью линейки. Малоугловую границу необходимо отличать от линии скольжения. Наличие линий скольжения и малоугловых границ определяют по макро- картине (черт. 2).
НОРМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ
Настоящая методика устанавливает следующие нормы на показатели точности измерений плотности дислокаций: интервал, в котором находится погрешность измерения плотности дислокаций составляет не более 60 % с доверительной вероятностью Р=0,95 для значения Л'о в диапазоне 5-
