Германий монокристаллический. Технические условия

При плотности дислокаций N& <5-10¹см—² измерение проводят при полном сканировании образца.

Примечание: При отклонении формы пластины от круга, выбор полей измерения проводить по диаметру вписанной окружности.

Расположение полей измерения

Черт. 3

рекомендовать проводить при увели-

6.2. Измерение плотности дислокаций чении, указанном в табл. 2.

Таблица 1

Расположение полей измерения для

контроля плотности дислокаций

Продолжение-

Таблица 2"

SQ„
^ND = ’

где Q_n— число дислокационных ямок травления, подсчитанное в каждом из; п. полей измерения, о

5 — площадь поля измерения, 5= —— , см²,

где D — диаметр поля измерения, см (измеряется объектмикрометром).

6. 3. Длину малоугловой границы, выявляемой при избирательном травлении в виде прямолинейной цепочки дислокационных ямок травления определяют с помощью линейки. Малоугловую границу необходимо отличать от линии сколь­жения. Наличие линий скольжения и малоугловых границ определяют по макро- картине (черт. 2).

7. НОРМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ

Настоящая методика устанавливает следующие нормы на показатели точ­ности измерений плотности дислокаций: интервал, в котором находится погреш­ность измерения плотности дислокаций составляет не более 60 % с доверитель­ной вероятностью Р=0,95 для значения Л'_о в диапазоне 5-'<N_D <5-10⁴. При плотности дислокаций N_D <5-10^і см-² измерение осуществляют при полном ска­нировании образца и погрешность составляет 25 %. Погрешность измерения дли­ны малоугловой границы ±2,5 мм с Р = 0,95(.

6. СПОСОБ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ

Значение плотности дислокаций в диапазоне 1-10'<N_O<5-10⁴ см-² представ­ляется двумя значащими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций.

6. ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ОПЕРАТОРА

Квалификация оператора в объеме, необходимом для выполнения измерений по настоящей методике, должна соответствовать требованиям к измерителю эле­ктрических параметров полупроводниковых материалов четвертого или более вы­сокого разряда «Сборника тарифно-квалификационных работ и профессий рабо­чих для предприятий металлургии. Производство титана и редких металлов, по­лупроводниковых и кварцевых изделий».

6. ТРЕБОВАНИЯ ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ

При проведении работ по выявлению дислокаций по п. 5 настоящей методи­ки необходимо соблюдать требования инструкции по технике безопасности при механической шлифовке и химическом травлении кристаллов германия, а также ■соблюдать основные правила работы в химической лаборатории.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством; цветной металлур­гии СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

В. С. Матвеев, канд. техн, наук; А. Г. Галканов, М. Б. Рейф- ман, канд. хим. наук

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Го­сударственного комитета СССР по стандартам от 14.03.80 №1167

3. ВЗАМЕН ГОСТ 16153—70

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕН­ТЫ

П родолжение

5. Ограничение срока действия снято по решению Межгосударст­венного совета по стандартизации, метрологиц и сертификации (протокол 3—93 от 17.02.93)

6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (октябрь 1993 г.) с Изменениями № 1, 2, 3, 4, утвержденными в декабре 1984 г, мае 1988 г, июле 1990 г, февра­ле 1993 г. (ИУС 4—85, 8—88, 10—90, 9—93)

Редактор И. В. Виноградская .

Технический редактор О. Н. Никитина
Корректор Е. Ю. Гебрук

Сданс в наб. 15.09,93. Подп. в печ. 17,01.94. Усл. п. л. 3,02. Усл. кр.-отт. 3,02.

Уч.-изд, л, 3,10. Тир. 260 экз. С 973

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов. 107076, Москва. Колодезный пер., 14. Калужская типография стандартов, ул. Московская. 256. Зак. 1923

1 ПРИЛОЖЕНИЕ 4. (Исключено Изм. № 1).

2 СУЩНОСТЬ МЕТОДА

3Количественный контроль плотности дислокаций следует выполнять методом визуального просмотра и подсчета числа дислокационных ямок травления на по­верхности слитков (пластин), подвергнутых избирательному травлению после ме­ханической обработки и химической полировки. Дислокации должны выявляться в виде ямок, имеющих форму конуса или четырехгранной пирамиды со скруглен­ными углами (черт. 1).

Необходимо отличать дислокационные ямки травления от недислокациснных — круглых и ограненных ямок с плоским дном.

4Микрокартины травления представлены на черт. 2.

Подсчет дислокационных ямок травления при измерении плотности дислока­ций Nq проводят с помощью оптического микроскопа в слегка затемненном по­ле в 9 полях нзглсрепия (поле измерения соответствует полю зрения оптическо­го микроскопа при выбранном увеличении). Выбор полей измерения определи-