---

(Измененная редакция, Изм. № 1).

товарного знака или наименования и товарного знака предприя­тия-изготовителя;

наименования продукции;

номера документа о качестве;

массы нетто в граммах;

даты изготовления;

обозначения настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

Масса упаковочного места должна быть не более 50 кг.

В каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с ука­занием:

товарного знака или наименования и товарного знака пред­приятия-изготовителя;

наименования продукции;

массы нетто в килограммах;

количества монокристаллических слитков в ящике;

даты упаковки;

фамилии и номера упаковщика.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

.4.5. Маркировка ящиков — по ГОСТ 14192—77 с нанесением предупредительных знаков:

«Осторожно, хрупкое»;

При перевозке двух и более единиц упаковки продукции про­водят пакетирование грузов па плоских универсальных поддонах по ГОСТ 9078—84 при помощи стальной ленты по ГОСТ 3560—73 или проволоки по ГОСТ 3282—74 диаметром не менее 5 мм.

Габаритные размеры и масса пакета не должны превышать норм, установленных ГОСТ 24597—81.

Допускается транспортирование монокристаллического герма­ния автомобильным и авиационным транспортом в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте дан­ного вида.

Допускается транспортирование отдельными почтовыми посыл­ками. Масса брутто ящика посылки не должна превышать 10 кг.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4. 6. Монокристаллические слитки германия должны храниться в упаковке изготовителя, в закрытых складских помещениях.

5. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

(Измененная редакция, Изм. № 2).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТИПА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ

Тип электропроводности определяют по образующей и торцевой поверхности монокристаллического слитка методом термозонда (термоэлектродвижущей си­лы) или методом точечно-контактного выпрямления.

Метод термозонда (холодного или горячего) рекомендуется для п и р-ти- па германия, удельное электрическое сопротивление которого при комнатной температуре менее 40 Ом-см.

Тип электропроводности германия с удельным электрическим сопротивле­нием выше 40 Ом-см определяют методом холодного термозонда.

Метод точечно-контактного выпрямления рекомендуется для образцов ti­ll p-типа германия с удельным электрическим сопротивлением выше 1 Ом-см.

Основной метод определения типа электропроводности — метод определения знака коэффициента Холла (см. обязательное приложение 6).

По сравнению с основным методом рекомендуемые обладают большей ло­кальностью и могут быть использованы для выявления областей с отличающи­мися типами электропроводности в пределах одного монокристаллического слит­ка. Для материалов с электропроводностью, близкой к собственной, рекомен­дуется использование основного метода определения типа электропроводности по знаку коэффициента Холла.

1. Определение типа электропроводности методом термозонда

   1. Сущность метода

Метод заключается в определении полярности термоЭДС, возникающей между нагретой и более холодной областями полупроводника с помощью чув­ствительного нуль-индикатора.

1 — зонд; 2 — образец; 3

нуль-индикатор; 4 — металлическая пластинка Черт. 1

Градиент температуры создается локальным нагревом (охлаждением) моно­кристаллического слитка в результате прижима нагретого (охлажденного) зонда.

Принципиальная схема для определения типа электропроводности методом горячего (а) и холодного термозонда (б) приведена на черт. 1.

Зонд, изготовленный из любого токопроводящего материала; рекомендуется использование материалов, не подверженных коррозии при нагревании или ра­боте во влажной среде (например, никеля). Вторым контактом служит метал­лическая пластина из меди, свинца или алюминия.

3 Зак. 192

3

Индикатор — гальванометр с чувствительностью не ниже 4-Ю-⁹ A/дел, нап­ример, типа М-195/2 или М-195/3. Допускается применение других индикаторных, устройств с чувствительностью не ниже указанной.

Хладоагент — жидкий азот по ГОСТ 9293—74 или двуокись углерода твер­дая техническая по ГОСТ 12'162—77.

Зонд нагревают любым нагревательным устройством; температуру горяче­го зонда контролируют по расплавлению сплава Вуда (температура плавления- 60,5 °С).

(Измененная редакция, Изм. № 2).

При наличии на поверхности монокристаллического слитка видимых нево­оруженным глазом следов окисления, побежалостей с поверхнссти монокристал­лического слитка удаляют окисную пленку (травлением, шлифовкой и т. д.); монокристаллические слитки промывают в деионизованной воде и просушивают фильтровальной бумагой. Допускается измерение на поверхности, полученной в результате резки алмазным инструментом или обработки абразивными мате­риалами.

Г4. Выполнение измерений

1. 1. Прижимая нагретый (охлажденный) зонд к поверхности монокристал­лического слитка, включенного в измерительную схему способом, показанным на черт. 1, добиваются отклонения стрелки нуль-индикатора.

   2. Тип электропроводности определяют в соответствии с обозначениями черт. 1 при отклонении стрелки нуль-индикатора, большем на 30 % полной шка­лы прибора. Для выполнения указанного требования допускается увеличение разности температур между зондом и монокристаллическим слитком.

2. Определение типа электропроводности методом
   точечно-контактного выпрямления

   1. Сущность метода

В

/—точечный контакт (зонд); 2 — монокристаллический слиток; 3 — омический контакт; 4 — автотрансформатор; б— нуль-индикатор; б — отвод к горизонтальным пластинам осциллографа; 7 — отвод к. вертикальным пластинам осциллографа; 8 — регулировочное сопро­тивление

ыпрямляющие свойства контакта металл—полупроводник определяются типом основных носителей заряда в полупроводнике. Метод сснован на качест­венном сравнении сопротивлений точечного контакта при различных полярностях приложенного напряжения. Тип электропроводности определяют по отклонению стрелки чувствительного к току нуль-индикатора или по виду всльгамперной ха­рактеристики, получаемой на экране осциллографа.

Черт. 2

Принципиальная схема для определения типа электропроводности методом точечно-контактного выпрямления с применением нуль-индикатора (а) и осцил­лографа (б) приведена на черт. 2.

р-тип

Черт. 3

В зависимости от удельного электрического сопротивления образца и чув­ствительности осциллографа величина сопротивления (/?) может быть различ­ной, но должна обеспечивать полную развертку осциллографа по вертикальной оси.

Зонд, изготовленный из вольфрамовой или стальной проволоки. Вторым контактом служит металлическая пластина из меди, свинца или алюминия. Оми­ческий контакт получают нанесением на поверхность образца контактного спла­ва. Например, при помощи алюмогаллиевого карандаша или индий — таллиевой пасты.

Индикаторные устройства — гальванометры с чувствительностью 4-Ю-⁹ А/дел, например, типа М-196/2 или М-195/3; осциллографы, пригодные для наблю­дения вольтамперных характеристик, типа С1—5, С1 —19, С1—48 или аналогич­ные им.

При наличии на поверхности монокристаллического слитка видимых нево­оруженным глазом следов окисления, побежалостей с поверхности монокристал­лического слитка удаляют окисную пленку (травлением, шлифовкой и т. д.); монокристаллические слитки промывают в деионизованной воде и просушивают фильтровальной бумагой. Допускается измерение на поверхности, полученной в результате резки алмазным инструментом или обработки абразивными материа­лами.

Отклонение стрелки нуль-индикатора должно быть больше 30 % полной шкалы прибора.

Тип электропроводности устанавливают в соответствии с черт. 2 и 3.

Метод не вводит количественных хар-актеристик. Характерный изгиб кри­вых (см. черт. 3) не должен рассматриваться с количественной точки зрения.

Подобные эффекты возникают из-за наличия п—р-переходов в материале.

3. Требования к квалификации оператора

   1. Квалификация оператора должна соответствовать требованиям измери­теля электрических параметров полупроводниковых материалов третьего или более высокого разряда в соответствии с действующими тарифно-квалифика­ционными разрядами.

4. Требования к технике безопасности

   1. Устройство и техническая эксплуатация применяемого электроизмери­тельного оборудования должны соответствовать требованиям «Правил техни­ческой эксплуатации электроустановок потребителей и правил техники безо­пасности при эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденных Гос- электронадзором.

По условиям электробезопаснссти электроустановки, применяемые для из­мерения типа электропроводности, относятся к электроустановкам напряжением до 1000 В.

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Обязательное

ИЗМЕРЕНИЕ УГЛА ОТКЛОНЕНИЯ ПЛОСКОСТИ ТОРЦОВОГО СРЕЗА
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЛИТКА ГЕРМАНИЯ ОТ ЗАДАННОЙ
КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ПЛОСКОСТИ И ИДЕНТИФИКАЦИЯ
КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИИ ПЛОСКОСТИ ТОРЦОВОГО
СРЕЗА СЛИТКА С ЗАДАННОЙ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ
ПЛОСКОСТЬЮ РЕНТГЕНОВСКИМ ДИФРАКТОМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ

Методика предназначена для измерения угла отклонения плоскости торцово­го среза монокристаллического слитка германия от заданной кристаллографиче­ской плоскости и идентификации кристаллографической ориентации плоскости торцового среза с заданной кристаллографической плоскостью (hkl) на пласти­не, отрезанной параллельно плоскости торцового среза.

Методика применима в интервале углов отклонения плоскости торцового среза от заданной кристаллографической плоскости не более 5 угловых градусов.

1. Сущность метода

   1. Метод основан на использовании явления дифракции рентгеновского ха­рактеристического излучения в монокристаллическом образце, которое для крис­таллов кубической сингонии имеет место при выполнении условия:

пкУ /г²+^--/2

0=arcsin 2^- , (1)

где а — период решетки монокристаллического образца, нм;

X— длина волны характеристического излучения, нм;

в — угол скольжения — угол между падающим на монокристаллический образец первичным пучком рентгеновского излучения и отражающей кристаллографической плоскостью (hkl);

hkl — индексы Миллера кристаллографической плоскости;

п — порядок отражения.

_/

/ ф₀о—ф₁₈₀'.²/ Фэо» — Ф27О° ²

2 } +■ V 2 ) ’ ⁽²⁾

где <р₀о, ?9оо, <Р18о⁰ • 'Ргго’ — значение углов f при различных азимутальных положениях пластины, отличающихся поворотом на углы 0°, 90°, 180° и 270° во­круг нормали к геометрической плоскости пластины.