ПІ 1.4.32-188-2001. Примірна інструкція з охорони праці при роботах на дифузійних печах (33264)

ДЕРЖАВНИЙ КОМІТЕТ ПРОМИСЛОВОЇ ПОЛІТИКИ УКРАЇНИ

ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ

ПРИ РОБОТАХ НА ДИФУЗІЙНИХ ПЕЧАХ

КИЇВ

ПІ 1.4.32-188-2001

ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ

ПРИ РОБОТАХ НА ДИФУЗІЙНИХ ПЕЧАХ

Київ

1. ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ

1.1. Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки при проведенні технологічних дифузійно-окислювальних процесів, операцій активації та термообробки. Вона може бути використана як основа для розробки інструкцій, що діють на підприємствах по виробництву продукції мікроелектроніки.

1.2. Роботи на дифузійних печах відносяться до робіт із шкідливими речовинами і підвищеною небезпекою відповідно до ГОСТ 12.1.007-76 і "Переліку робіт з підвищеною небезпекою", затв. Держна-глядохоронпраці 30. 11.1993 р. №123.

1.3. Згідно з Законом України "Про охорону праці"(далі Закону) до самостійного виконання робіт допускаються особи:

- яким виповнилось 18 років (ст. 15 Закону);

- які пройшли медичний огляд відповідно до наказу Мв 45 Мінохорони здоров'я України від 30 березня 1994 р. та не мають медичних протипоказань;

- які пройшли інструктаж (навчання) з охорони праці, в тому числі при виконанні робіт з підвищеною небезпекою, ознайомлені з правилами поведінки при виникненні аварій та надання першої допомоги потерпшим від нещасних випадків (ст. 20 Закону).

- які пройшли професійний добір і склали іспит на право працювати з газами, агресивними хімічними речовинами та легкозаймистими речовинами.

1.4. Персонал, який виконує роботи на дифузійних печах, зобов'язаний:

- знати та виконувати вимоги нормативних актів про охорону праці (правила, стандарти, норми, положення, інструкції);

- знати та виконувати правила поводження з устаткуванням та іншими засобами виробництва;

- користуватись засобами колективного та індивідуального захисту;

- дотримуватись зобов'язань з охорони праці, передбачених колективним договором, угодою, трудовим договором та правилами внутрішнього трудового розпорядку підприємства (установи), в тому числі:

а) вчасно починати та закінчувати роботу, дотримуватись встановленого часу технологічної та обідньої перерв;

б) не виконувати роботи, не передбачені змінним завданням;

в) не знаходитись на роботі у позаробочий час без відповідного дозволу керівника;

- проходити у встановленому порядку попередні та періодичні медичні огляди;

- співробітничати з власником у справі організації безпечних і нешкідливих умов праці, особисто вживати необхідних заходів щодо усунення будь-якої виробничої ситуації, яка створює загрозу його життю чи здоров'ю або людей, які його оточують, і навколишньому середовищу.

- повідомляти про небезпеку свого безпосереднього керівника або іншу посадову особу (ст. 18 Закону).

1 .5. На робочому місці повинно знаходитись не менше двох працівників.

1.6. Працівникам забороняється залишати робоче місце без нагляду.

і .7. При роботі на дифузійних печах можуть мати місце такі небезпечні і шкідливі чинники:

а) фізичні:

- травмування гострими краями при руйнуванні кварцевої оснастки;

- ураження електричним струмом;

- опіки об гарячі частини печей або оснастку, яка знаходилась в печі;

- небезпечна величина напруги в электричному ланцюзі технологічного обладнання, замикання якого може статися крізь тіло людини:

- підвищення або зниження температури робочої зони;

- підвищення або зниження рухомості повітря;

- недостатня освітленість робочої зони; б) хімічі:

- отримання хімічних опіків;

- токсична та подразнююча дія на організм людини (шкірний покрив, слизові оболонки очей, органи дихання, нервову та серцеву системи) дифузантів, робочих газів і рідин, газоподібних продуктів хімічних реакцій.

1.8. Для робіт із шкідливими та небезпечними умовами праці персоналу видається безкоштовно за встановленими нормами спеціальний одяг, спеціальне взуття та інші засоби індивідуального захисту:

- халат лавсановий білий ГОСТ 12.4.103-83;

- ковпак (шапочка) лавсановий білий ГОСТ 12.4.011-89;

- взуття шкіряне (тапочки) ГОСТ 12.4.137-84;

- рукавички гумові ГОСТ 12.4.103-83;

- протигаз фільтруючий ГОСТ 12.4Л21-83:

- коробки фільтруючі відповідної марки по ГОСТ 12.4.122-83 (В або БКФ для НС1, С2НСl3, РСl3, РОСl3, М для В2О3 і ВВг3, БКФ для Sb2O3).

За встановленими нормами також видається мило.

1.9. Персонал, який виконує роботи на дифузійних печах, зобов'язаний дотримуватись вимог санітарних норм та особистої гігієни:

- розпочинати роботу тільки у засобах індивідуального захисту;

- утримувати протягом зміни робоче місце в чистоті і порядку;

- їсти та зберігати їжу тільки у спеціально відведених місцях;

- зберігати харчові продукти, в тому числі й молочні, що видаються на підприємстві, в холодильниках, які використовуються тільки з цією метою;

- після роботи вимити з милом забруднені частини тіла.

1.10. Працюючий персонал зобов'язаний дотримуватись правил пожежної безпеки, знати місця розташування засобів пожежогасіння та вміти ними користуватись.

1.11. Властивості хімічних реагентів та їх небезпечні чинники.

1.11.1. Кислота соляна (НС1), ГОСТ 14261 -77.

Соляна кислота - 38 % розчин у воді хлористого водню, на поівтрі "димить", добре розчиняє більшість металів, добре розчиняється у воді. Вона відноситься до речовин 3 класу небезпеки по ГОСТ 12.1.007-007. Гранично допустима концентрація (ГДК) - 5,0 мг/м3.

При попаданні на шкіру спричиняє загальні захворювання, хімічні опіки. Пари соляної кислоти подразнюють слизові оболонки очей, верхніх дихальних шляхів та легенів.

1.11.2. Трихлористий фосфор (РСЬ) БТО. 035.290 ТУ: - безбарвна рідина, з різким запахом і температурою кипіння 76°С, на повітрі "димить" внаслідок розкладання водяними парами, утворюючи соляну кислоту (НСl). У воді швидко гідролізується з виділенням великої кількості тепла, іноді з вибухом. Дуже подразнює дихальні шляхи та очі. ГДК - 0,2 мг/м3, 2 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

1.11.3. Хлорокис фосфору (РОСЬ), ТУ6-09-5267-90 або

ТУ6-09-3537-85 - безбарвна рідина з температурою кипіння 105°С з різким ядучим запахом. Розкладається в холодній воді, спирті та сильних кислотах, "димить" на повітрі внаслідок розкладання водяними парами з утворенням фосфорної (Н3РО4) та соляної (НС1)кислот. При доливанні відразу великої кількості води реакція іде дуже бурхливо, що може призвести до викидів. Хлорокис фосфору - отруйна речовина.

Пари хлорокису спричиняють подразнення слизових оболонок та біль в очах, сухий кашель, кволість, серцевий розлад, набряк легенів, при контакті зі шкірою - опіки. ГДК - 0,05 мг/м3, 1 клас небезпеки по ГОСТ 12. 1.007-76.

1 .11.4. Твердий планарний дифузант фосфору (виробник завод "Квазар" 7572196.10200.60016).

При проведенні технологічних операцій дифузії фосфору з використанням твердого планарного дифузанта небезпечним чинником є фосфорний ангідрид або оксид фосфору (Р2О5), що утворюється під час окислення фосфору при високій температурі.

Фосфорний ангідрид - біла об'ємиста снігоподібна аморфна речовина, швидко поглинає вологу з утворенням фосфорних кислот. Фосфорному ангідриду відповідає декілька кислот. Однією з них є ортофосфорна (або просто фосфорна) кислота Н3PO4. Тому при попаданні на вологу шкіру фосфорний ангідрид спричиняє опіки. Фосфорний ангідрид руйнує слизові оболонки верхніх дихальних шляхів, спричиняє кашель, ядуху, сльозотечу. ГДК - 1,0 мг/м3, 2 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

Кислота фосфорна (ортофосфорна) ШРОд - безбарвна агресивна рідина з жовтуватим відтінком. Токсична. Пари спричиняють атрофічні процеси у слизовій оболонці носа (носову кровотечу, сухість в носі і горлі). При попаданні на шкіру спричиняє опіки та запальні захворювання. ГДК по Р2О5 - 1,0 мг/м3, 2-й клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

1.11.5. Дифузант сурми:

а) скло сурм'яне 95 % ЕТО.032.020 ТУ;

б) дифузант сурми (виробник завод "Квазар" 7572196.10200.90005).

При проведенні технологічних операцій дифузії сурми з використанням дифузантів сурми (а, б) небезпечним чинником є сурма (III) оксид, що входить до складу цих дифузантів.

Сурма (III) оксид або сурм'янистий ангідрид, (Sb2О3)- безбарвні кристали з tпл = 650 °С і tкип = І425 °С.

Густина - 5,19 г/см3, легко займається, розчиняється у воді 0,0016 г/100 г при і =15 °С.

Оксид сурми - типовий амфотерний оксид з деяким переважанням основних властивостей, взаємодіє з кислотами і лугами (розчиняється). Туман, що його утворюють пари Sb2О3. та його пил стійко утримуються в повітрі. Вдихання парів Sb2О3 призводить до подразнення слизових оболонок дихальних шляхів, органів травлення, а також шкіри. Попадання в шлунок спричиняє появу металевого присмаку в роті, слинотечу» нудоту, блювоту, болі у животі. В тяжких випадках - загальна м'язова слабкість, судоми, серцева слабкість, смерть. Тривале вдихання парів оксиду сурми може призвести до захворювань легенів, спричинити нудоту, головний біль, порушення сну, запаморочення, ураження центральної нервової системи, серцевого м'язу, печінки, шкірні висипання. Контакт зі шкірою рук спричиняє сухість, тріщини, алергічні захворювання (екзема, кропивниця). ГДК - 1.0 мг/м3 (в перерахунку на Sb). 2 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

1.11.6. Трибромистий бор (BВr3) - безбарвна або жовтувата рідина з їдким запахом, сильно "димить" на повітрі, утворюючи бромистий водень (НВг), у воді бурхливо гідролізується із виділенням великої кількості тепла, що супроводжується вибухом, температура кипіння 90 °С. Розчиняється в чотирихлористому вуглеці, бензолі, толуолі.

Пари трибромистого бору сильно подразнюють дихальні шляхи, слизову оболонку очей, шкіру, що спричиняє кашель, втрату зору, опіки шкіри. ГДК- 10,0 мг/м3. 3 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

1.11.7. Оксид бору або борний ангідрид (В2О3) - безбарвні гігроскопічні кристали. Тпл. = 537 °С. Ткип. = 1860 °С, густина 1,78 ... 1,85 г/см3. У воді розчиняється з утворенням борної кислоти (H3BО3), також розчиняється у спирті.

Борний ангідрид - отруйна речовина, (отруйними є пил і пари борного ангідриду) легко проникає через пошкоджену шкіру, подразнює слизові оболонки очей, спричиняючи запальні процеси. ГДК- 5,0 мг/м3.

1.11.8. Нітрид бору (ВN - ТУ 6-02-669-83), який використовується як дифузант.

Піролітичний нітрид бору - негорючий, вибухобезпечний, не-токсичний, при нагріванні не розкладається. При проведенні операцій відпалу шайб ВN, дифузії бору небезпечним чинником є пари борного ангідриду (В2О3), що утворюється під час проведення цих операцій. (Див. п. 1.9.7.) ГДК- 5,0 мг/м3, 3 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.007-76.

1.11.9.Трихлоретилен (С2НСl3), ГОСТ 9976-94, ТУ 6-09-1012-79.

Трихлоретилен - прозора безбарвна летюча рідина, що має густину при 20°С - 1,46 г/см3, погано горить. Температура самозаймистості 380°С. Пари трихлоретилену з повітрям утворюють вибухонебезпечну суміш.

Концентраційні межі розповсюдження полум'я:

- нижня - 12,0 % (по об'єму);

- верхня - 40,7 % (по об'єму).

Температурні межі розповсюдження полум'я від 30°С до 58°С.

При контакті трихлоретилену з лугами і нагріванні можливе утворення самозаймистого токсичного дихлорацетилену. При контакті з відкритим полум'ям до 110°С і на сонячному світлі - розкладається з утворенням дуже отруйного газу - фосгену. В присутності металів, смоляних та жирних кислот трихлоретилен може розкладатися з утворенням хлористого водню.

Пари трихлоретилену мають наркотичну і загальнотоксичну дію, становлять загрозу для нервової системи, органів дихання, серцево-судинної системи(особливо міокарду), очей, мають комулятивний ефект. При подовженій дії на шкіру трихлоретилен спричиняє ураження типу екземоподібних дерматитів і хімічних опіків з пухирцями, сухість, тріщини, втрату чутливості. В організм людини трихлоретилен може попасти інгаляційним шляхом, через шкіру, органи травлення.

Гранично допустима концентрація (ГДК) парів трихлоретилену у повітрі робочої зони виробничих приміщень 10 мг/м3, третій клас небезпеки по ГОСТ 12.1.005-88.

1.12. Згідно з Законом України "Про охорону праці" (далі Законом) ст. 49 особи, які не виконують вимог законодавчих та інших нормативних актів з охорони праці, залежно від характеру порушень притягаються до дисциплінарної, матеріальної, адміністративної та кримінальної відповідальності.

2. ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПЕРЕД ПОЧАТКОМ

РОБОТИ

2.1. Необхідно перевірити та надягнути необхідні засоби індивідуального захисту.

2.2. Необхідно перевірити справність приладів і обладнання, його герметичність.

2.3. Необхідно перевірити:

- наявність та справність заземлення дифузійної печі (печей) та приладів, що необхідні у роботі;

- відсутність оголених дротів та відкритих струмоведучих частин;

- наявність захисних щитів;

- готовність обладнання до роботи (по журналу підготовки обладнання).

Дифузійні печі у робочий стан виводить наладчик.

2.4. Включити загальнообмінну приточно-витяжну вентиляцію за 20 - ЗО хвилин до початку роботи.

2.5. Включити і перевірити наявність та ефективність витяжної вентиляції у скафандрах завантаження і вивантаження та в системі га-зорозподілення. Наявність тяги перевірити поліетиленовою стрічкою.

2.6. Перевірити наявність дифузантів та інших хімічних речовин.

2.7. Перевірити наявність і справність оснастки.

2.8. Впевнитися в наявності та достатності освітлення на робочому місці.

2.9. Необхідно перевірити наявність засобів пожежогасіння.

2.10. Підготувати робоче місце (необхідні прилади та інструменти).

2.11. Приготувати 2 - 3 % розчин гідрокарбонату (бікарбонату) натрію та водний розчин аміаку (NH4ОН). Розчини зберігати в медичній аптечці.

2.12. При виявленні несправностей або інших недоліків на робочому місці сповістити керівника роботи (відповідального за проведення данної роботи). До роботи стати тільки після усунення всіх несправностей і недоліків.