ОСТ 92-5077-99 вдоль перекрестия шкалы.
Определяют по числу делений шкалы максимальное (НтШ/), минимальное ' (Нл?ai) и приближенно среднее (Нср.) значение глубины травления диэлектрика на каждом слое с учетом толщины слоя предварительного меднения, а.также приближенно среднее значение толщины слоя предварительного меднения (А) в соответствии с рисунком.В.I.
Инв. № подл. Л одп. и дата I Взам. ина, № Ине. № дуб л. Прдп. и дата
ИтЖ! I г ■
39
Данные замеров по каждому слою заносят в таблицу В.2 (графы 2 - 5). Таблица В.2 ■ Номер слоя диэлектрика ■ Число делений шкалы Глубина травления диэлектрика с учетом слоя предварительного меднения Толщина слоя предварительного мед- нения, Глубина травления диэлектрика, б^мкм Глубина травления диэлектрика, б",мкм 1-й (наружи.) 2-й (внутр.) Инв. № подл. I Подо, и дета | Взам. инв. N2 | Ина. № дубл. | Подп. и дата |
• ■ |
|
|
• ■’ ' 1 III |
|
40
ЩИ#
В. 2.7 - В.2.І0.
пп
перек (лё-
в пре-
Глубина травления диэлектрика в каждом слое должна быть делах от 5 до 30 мкм,
В. 2.II Вращением рукоятки предметного столика переводят рестие шкалы вплотную к торцам контактных площадок на правой вой) стороне шлифа.
■ В.-2.12 Определяют глубину травления, диэлектрика по
л-*-
■-’Х, лС
.аг
OCT 92-5077-99
Вычисляют глубину травления (б* ) каждого слоя по формуле ,
* НсР- - А (2.2)
: ■ ’ ■ ' 3 .
Полученные значения заносят в таблицу В.2.
В случае незначительного отклонения величины Н/лох от (равномерное травление диэлектрика во всех слоях) разрешается про- изводить замертолько Нср., при этом глубину травления определяют по формуле
(В.З)
B.2.I0 Переводят значение глубины травления в микронах ( О'1)
п
(В.4)
о формуле41
•5
о. W с
•О* z
■'* Хх s:
#•
01 Z
я X X
і *0 н со
В,2.13 Пример расчета глубины травления.
Исходные данные:
Иглах- 7 , h- I
Hmin - г
Нср г= 5
Расчет
:
О
Ине, № подл. Подл, и дата Взам. ина № Инв. Ng дубл, Подо, и дата
СТ 92-5077-99 "Приложение Г
(рекомендуемое)
Методика определения рабочей зоны ультразвуковой ванны типа УЗВ-І7М
Г.І Ванну заполняют дистиллированной водой по ГОСТ 6709 или / деионизованной по OCT II 029.003. .
Г.2 Включают охлаждение ванны и генератора.
Г.3 Включают генератор.
Г.4 Определяют рабочую зону ванны.
Г.4.1 Погружают в ванну образец алюминиевой фольги толщиной от 0,05 до 0,10 мм размерами[ЪОхбО^мм на расстоянии от 10 до 15 мм от мембраны преобразователя. ,
Г.4.2 Вццерживают образец на этой высоте в течение 30 с. s'
Г.4.3 Извлекают образец из ванны, определяют визуально величину разрушений площади образца от кавитации.
Г.4.4 Повторяют переходы Г.4.Г, Г.4.2 и Г.4.3, устанавливая образцы на различную высоту ванны.
Г.4.5 Определяют на какой высоте ванны происходит разрушение ... площади образца от'80 % до 90 %. Данная высота соответствует рабочей зоне ванны.
Г.5 Выключают генератор.
Г.6 Выключают охлаждение генератора и ванны (не ранее, чем через 5 мин. после выключения генератора).ОСТ 92-5077-99 Приложение Д (обязательное) Режимы электрохимического получения медных Инв. № подо. I Подп. и дата | Взам. мм». N2 | Инв. NS дубл. | Подп. и дата Электролит |
Толщина покрытия в отверстиях, мкм |
Плотность тока, А/дм^ |
Скорость 1 осаждения, мкм/мин |
I Электролит сернокислого мед- нения с добавкой спирта |
5-7 |
1,0-1,5 |
0,20-0,30 |
2 Электролит сернокислого меднения с добавкой декстрина по ОСТ 92-5078 (приложение Г, инструкцияII) |
5-7 |
1,0-1,5 |
0,27-0,40 |
3 Электролит борфтористоводо- родного меднения по ОСТ 92-5078 (приложение Г, . инструкция 13) |
5-7 |
I,0-2,0 |
0,21-0,40 |
Таблица Д.І
CPopwar А4
Ина, N° подл. Подо, и дата Взам. има. N° Ина, № дуб л. Подо, и дата
І /і-
Приложение E
(рекомендуемое)
Методика обработки совмещенного раствора активирования отверстий печатных плат
ЕЛ Регенерация раствора
ЕЛЛ При образовании в совмещенном растворе для активирования осадка черного цвета раствор фильтруют через фильтр, состоящий из, двух слоев хлориновой ткани по ТУ 17 РСФСР 46-11587 и трех слоев бязи по ГОСТ 4644 или четырех слоев бязи с прослойкой из ваты по ГОСТ 5556 между' двумя парами слоев. Фильтр с осадком помещают в полиэтиленовое ведро, заливают концентрированной соляной кислотой по ГОСТ 3118 с добавлением перекиси водорода по ГОСТ 10929 (на 50 мл соляной кислоты - 2 мл перекиси водорода), так чтобы фильтр был полностью покрыт раствором, выдерживают в течение суток, затем фильтр отделяют от раствора, промывают над раствором разбавленной сойяной кислотой (10 %-ныЙ раствор), полученный раствор переводят в термостойкую стеклянную емкость, нагревают до кипения и кипятят до полного растворения палладия и разложения перекиси водорода в течение времени от 3 до 5 ч.. После охлаждения раствор анализируют на содержание олова и палладия и используют для корректирования рабочего раствора.
Е. 1.2 Фильтрат, полученный после отделения осадка, анализируют на содержание всех компонентов, корректируют по результатам анализа и используют в качестве рабочего раствора.
Е.І.З.С целью исключения накопления в растворе для активирования четырехвалентного олова допускается введение в раствор металлического олова по ТУ 6-09-2704 из расчета от I до 2 г/л. При этом олово в виде гранул помещают в мешок из двух слоев хлориновой ткани и в нем погружают в рабочую ванну с раствором активирования. После 44
И нв. N9 подл. 1 Подл, и дата | Вэам. ин в. N£ | Ине. № дубя. | Подп. и дата
ОСТ 92-5077-99
окончания рабочей смены мешок с оловом извлекают из ванны, промывают нац раствором активирования дистиллированной"водой, подкисленной соляной кислотой из расчета 10 г кислоты на I л воды и помещают в чистую неметаллическую емкость. Олово можно использовать повторно по изложенной методике.
После обработки раствора активирования металлическим оловом проводят анализ раствора на содержание двухлористого олова. Если концентрация олова двухлористого не превышает рецептурного значения, обработку оловом металлическим можно повторить, при превышении рецептурного значения олово временно не вврдят, а раствор с повышен-' ным содержанием двухлористого олова используют для активирования. Допускается увеличение содержания двухлористого олова на 10 % от рецептурного. .
Е.2 Извлечение палладия из отработанного раствора для активиро-.
вания
Е.2 Л В отработанный‘раствор для активирования отверстий печатных
о
плат вводят цинковые аноды (плотность загрузки от 2 до 3 дм/л) и
выдерживают до полного обесцвечивания раствора. Образуется объемный
губчатый осадок серого цвета, содержащий металлическое олово и палладий. Раствор отделяют от осадка декантацией или фильтрованием через бумажный фидьтр. Осадок промывают несколько раз .дистиллированной — водой, отфильтровывают через бумажный фильтр и количественно переносят в фарфоровый стакан или тигель. Фильтрат раствора и промывных вод проверяют на полноту осаждения палладия раствором диметилглиок- сима. Не содержащий ионов палладия фильтрат сливают в стоки да кис- лых растворов. Осадок высушивают до полного удаления влаги при тем- пературе от 100 до 120 °С, растирают в фарфоровой ступке, анализиру- ют на содержание палладия и отправляют на завод вторичных драгоцен- — ных металлов для переработки.; Приложение 3
(обязательное)
М
Ф. 2ЦЄ-4
атериалы
Наименование |
Обозначение документа на поставку |
Аммиак водный Аммоний надсернокислый Антистатик Бумага фильтровальная лабораторная: Бата медицинская -Вода деионизованная марки А и В ; ’ , Вода дистиллированная’ Вода питьевая г * S' . Водорода перекись : Воздух сжатый , . ? Калий двухромовокислый Калий*-натрий виннокислый 4-х водный Калий натрий виннокислый 4-х водный . Калий хлористый Кислота азотная ■ Кислота серная Кислота соляная * Кислота уксусная Кислота фтористоводородная Лента поливинилхлоридная электроизоляционная Медь сернокислая МоЮЕДве жидкое средство ’’Прогресс'! Моюцее средство ’!ЛОТОС**' Натрия гидроокись Натрия тиосульфат кристаллический |
ГОСТ 3760-79 ГОСТ 20478-75 ' ТУ 6тІ5-І4І6-89 ГОСТ 12026-76 . ГОСТ 5556-81 . OCT II 029.003-80 : ’ ГОСТ 6709-72 ГОСТ Р 51232-98 ' ГОСТ 10929-76 ГОСТ 17433-80 7' < ГОСТ 4220-75 ГОСТ 5.845- 79 - 7 ““ ТУ 6-09-2677 $ J ГОСТ 4234-77 . ГОСТ 4461-77 ГОСТ:4204-77 ГОСТ 3118-77 ■ > ГОСТ 61-75 - ГОСТ 10484-78 'ГОСТ 16214-86 ГОСТ 4165-78 ТУ 38-10719-92 . ГОСТ 25644 ^6 ГОСТ 4328-77 ? ГОСТ 244-76* 46 |
Инв. № подл. Подп. и дате | Взам. инв. № Ини, № дубл. Подо, и дата и ~~
Таблица Ж.І
Хопнрсхп .^^.ОО г Формат А4
Окончание, таблицы Ж. I
■ Наименование
Обозначение документа
• на поставку
>0
УЭ
4
Of
5Й
V
:**>
X:
£
о с
О1
е
X
S.
Натрий углекислый безводный
Натрий фосфорнокислый трехзамещенный
Натрий .хлористый
Никель двухлористый 6-водный
Никель сернокислый
Олово’
Олово двухлористое
Палладий двухлористый
Салфетка из промышленных отходов : (условное обозначение 361) ■Спирт этиловый ректификованный технический
- Ткани фильтрованные хлориновые
;, Фольга медная электролитическая
■ Формалин технический
ГОСТ гост гост гост
9337-79
4233 -77
4038-79
ГОСТ 4465-74 .
ТУ 6-09-2704-88
ТУ
ТУ
6-09-5384-88
6-09-2025-86
ГОСТ 4644-75
ГОСТ 18300 -87
- ТУ 17 PCCT 46-11587-88
ТУ 48-0318-49-88
ГОСТ 1625-89
47
Приложение И Оборудование Таблица И.І Ина. № подл. I Подл, и дета | Взам. мнв. NS Инв. № дубя. I Подп. и дата Наименование |
Обозначение документа на поставку |
Комплект рабочих мест унифицированных "Уником” Стол обезжиривания Стол промывки Стол промывки и сушки Стол химических операций Стол декапирования я ‘Линии химико-гальванические автоматики* рованные АГ-44 Англия) Xty/UlP&tg (ФРГ) &ХУ (Англия) Линия подтравливания диэлектрика автоматическая Печь сушильная .... Ультразвуковая ванна Ультразвуковой генератор |
? • г • 92«02.26.132 92.02.26.132 13.00.000 - 92,02.26.132 14.00.000 92,02.26.132- 15,00.000 ; 92,02,26,132 17.00.000 92,02.26,132 18.00. 00Q ’ ./ '■ - 53820-901 АРСМ 3.009.000 ' УЗВ-І7М - ■ УЗГ-2-І0 / |
.„w ■» М< ■■ |R . П !■' , ■ ■ ,.П „■ „, -..-■ l-^.tll-- —
* . Ч '• •
OCT 92-5077-99 ‘
t . Приложение К
(рекомендуемое)
Технологическая оснастка
Таблица КЛ
Инв. № подл. ] Подл, и дата | Взем. ннв. Ы2 | Инз. №дубл, | Подл, н дата Наименование |
Обозначение документа на поставку |
Колбы из термостойкого стекла Микроскоп.МВС-9 Микроскоп МИМ-9 Перчатки из трикотажного полотна Перчатки резиновые Перчатки хирургические резиновые рН-метр-милливольтметр типа pH-673 Подставка для химического покрытия слоев печатных плат 92.7888-001 92,7888-0011 Подставка для транспортировки ' 92.7876-0654 • Стеллаж для сушки деталей 0797-4328 Стереомикроскоп типа //o'dzv/г?/* (США) |
ГОСТ 23932-90 ТУ 3-3.12IC-78 ТУ 3-3.867-78 ГОСТ 5007-87 ГОСТ 20010-93 ГОСТ 3-88 ЛУ 25-05.2757-81 ОСТ 92-4018-77 ОСТ 92-4019-77 ОСТ 92-4025-77 ✓ |