Подвеска типа 4 Установить 5 Обезжирить Т = 40-60 °С, Термометр
92.7888-0001
подвеску на линию заготовки
/ « 120-360 с
(J
ст
Раствор для обезжиривания, г/л: натрий фосфорнокислый 12-водный, ч
натрий углекислый безводный, ч
моющее средство "Прогресс" или "Лотос" .... вода дистиллированная или деионизованная, л
30-35
30^35
4-5
до I
Приготовление и эксплуатация раствора в соответствии с приложением/!, инструкция 3 б Промыть заготовки проточной водой
Т = 40-60 «С,-
60-180 с
го <
і
<£>
Продолжение таблицы 9
А
к/Г
Опер.' Код, наименование операции
Обозначение документа '
Код, наименование оборудования
Наименование детали, сб.единицы или материала
Обозначение, -код
Рода питьевая или деионизованная (переходы 7, 9, II, 13, 17, 19,22, 25)
Применен» е-При использовании раствора обезжиривания без моющего средства в соответствии с приложением I, инструкция 3 или деионизованной воды для последующих промывок допус- каетсд промывку по переходу 6 не выполнять, время промывки по переходу 7 увеличить до 360 с . 7 Промыть заготовки проточной водой
Т- 18-30 °С, / - 60-180 с
8 Травить заготовки
Т~ 18-30 % Т4 «= 60-180
сРаствор для травления, г/л: аммоний надсернокислый, ч .....
кислота Серная (плотность 1,83 г/см$ ), ч ....
вода дистиллированная или деионизованная, л •'<
200-250
18-37
До I
Приготовление и эксплуатация раствора в соответствии с приложением Д, инструкция 4
Примечани е-При использовании диэлектрика марки США-5 время травления уменьшить до 30*40 с
і 9 Промыть заготовки проточной водой
Т « 18-30 % f ₽ 60-240 с
■ 10. Активировать заготовки химически
Т Ж 18-30 °С
= 15-60 с
Раствор для активации, г/л: - квслбта серная (плотность 1,83 г/см$), ч
. 50-100
■■
ОСТ 92-5077-99
|
Инв. № подл. - |
'7ТїоЇЇй/й дета . |
Вэам. инв. Ы2 |
Инв. № дубя. |
Поди, и дата |
|
|
|
|
|
|
<■?
m
|
А |
|
Опер. |
Код, наименование операции |
Обозначение документа |
|
В |
Код, наименование оборудования < > |
|||
|
к/м |
Наименование детали, сб.единицьГ или материала Д.. |
Обозначение, код |
||
|
0 р 0 р м 0 р 0 р м 0 р |
вода дистиллированная или деионизованная, л ........... .......... до I J Приготовление и эксплуатация раствора в соответствии с приложениемД, инструкция 5 Л Промыть заготовки проточной водой Т = 18-30 вС, / « 120-180 с 12 Активировать заготовки химически Т « 18-30 % / « 15-45 с Раствор для активации, г/л: кислота соляная (плотность 1,19 г/см^), тч .......... . .... 150-280 вода дистиллированная или деионизованная, л ......... до I Приготовление и эксплуатация раствора в соответствии с приложениемД, инструкция 6 13 Промыть заготовки проточной водой Т « 18-30 ЙС, / == 15-60 с' 14 Промыть заготовки дистиллированной водой Т = 18-30 % / « 5-60 с Вода дистиллированная (переходы 14, 20) Примечания: I Промывку по переходам 13 и 14 допускается не производить 2 В случае использования деионизованной воды, вместо питьевой в переходах 6, 7, 9, II, 13 промывку по переходу 14 допускается не производить 15 Активировать диэлектрик в отверстиях заготовок Т » 25-40 *С, 7-10 мин |
|||
Продолжение таблицы 9
о
а
'Л
1
ОСТ 92-5077-99
Продолжение таблицы 9
Опер.
Код, наименование операции
Обозначение документа
К/М
Код, наименование оборудования
Наименование детали, сб.единицы или материала
Обозначение, код
со
Раствор для активирования по в соответствии с приложениемД, инструкция 7
Удалить излишки раствора активирования путем выдержки заготовки над ванной-сборником
f = 30-60 с
Промыть заготовки проточной водой
Тх 18-30 °С, / =60-120 с . . ' у'<■■■■ '
Обработать заготовки в растворе ускорителя ///'V ’
Т « 18-30 4С, /= 60-120 с для раствора I или Л4 = 120-300 с для раствора 2
Раствор I, г/л:
кислота соляная (плотность 1,19 г/см$), ч ........................... вода дистиллированная и деионизованная, л ........................... или раствор 2, г/л:
натрия гидроокись, х.ц ................................................ вода дистиллированная или деионизованная, л ......................... Приготовление и эксплуатация растворов в соответствии с приложением А 19 Промыть заготовки проточной водой
Т = 18-30’ °С, f = 30-120 с ‘
150-280
до I
20-60 , ‘
ДО I
инструкция 6 или 9
При меч а н и е-При использовании раствора 2 допускается промывку не производить 20 Промыть заготовки водой ..
Т = 18-30 °С, / =15-30 с >
При мелан и е—В случае использования деионизованной вода вместо питьевой
го
t
СП
і ю ч>
|
б |
Йнв< Ne ПОДЛ. |
Поди, и дата . | Взам. «из. № |
Инз, N2 дубл. |
Подо, и дате |
|
||||||||||||||
|
ё |
|
|
|
|
► ? • |
|
|
т Ї 1 |
|
||||||||||
|
J* |
|
Продолжение таблицы 9 |
|
* ■ |
|
|
■' • г к |
|
|||||||||||
|
|
|
А |
|
Опер. |
Код, наименование операций |
Обозначение документа |
|
||||||||||||
|
|
|
Б |
4 |
Код, наименование оборудования |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
к/м |
|
Наименование |
детали, |
сб.единицы |
и£и материала |
|
Обозначение,код |
|
|||||||||
|
X D X 'О О 0 |
|
о р М : 0 р 0 р м |
в переходах 1,6,17, 19 промывку по переходу 20 допускается не проводить *. Л 21 Меднить химически ' ... ’ ■ Л Т 18-25 «С, /= 15-20 мин і : Раствор для химического меднения в соответствии с приложением Л, инструкция 8 При м е ч а н и я: ■ . - I Допускается применение раствора химического меднения по ПОСТ 23770-приложение I, состав I . •
Т 18-30 % f 30-120 с •
Т = 18-30 *С, f « 10-15 с Раствор I, г/л: . ■ кислота серная (плотность 1,83 г/см^), ч ...... ........ 50-100 вода дистиллированная или деионизованная, л по I |
“ OCT 92-5С |
|||||||||||||||
|
е 0 1 |
|
< |
|
или раствор 2, г/л: кислота богхЬтопистовопопопная. |
U |
|
* |
150-250 1 |
о <о |
||||||||||
|
> |
|
|
|
вода дистиллиоованная или деионизованная, л |
|
|
доі ! |
|
|||||||||||
|
|
> % |
■ч О |
2 |
Приготовление и эксплуатация раствора I в соответствии с * по ОСТ 92-5078, приложение Г, инструкция 9 |
приложением Д, инструкция 6 ; раствора |
|
|||||||||||||
|
А |
Опер. . -.' - .--... > ... . |
Код, наименование операции |
Обозначение документа |
||
|
Б |
Код, наименование оборудования |
||||
|
к/м |
Наименование детали, сб.единицы или материала |
|
Обозначение, код |
||
|
0 р м 0 р м 0 р 0 р м 0 0 т 0 т |
Примечани е-Раствор I применяют при использовании сернокислых электролитов меднения, раствор 2 - при использовании борфтористоводородных электролитов меднения.
Т « IB-30 *С, / «х 30-60 с Воде дистиллированная или деионизованная
Плотность тока и время электроосаждения в соответствии с приложением Д Электролит в соответствии с приложением А, инструкция 10 или электролиты по ОСТ 92-5078 , приложение Г, инструкции II или 13
Т » 18-30 % / « 30-120 с
Т « 30-60 ^С, f «: 120-600 с Воздух сжатый
Подвеска типа 92.7888-0001
Подставка типа 92.7876-0654 |
||||
|
л to OCT92-5077-99 S Окончание таблицы 9
|
Иив. № подл. |
Подл. и дета |
Взам. ине. № |
Ине. №дубл. |
Подл, и дата |
|
|||||||||||||||
|
ё m |
|
5(Ж |
|
|
Л V |
|
|||||||||||||||
|
і. |
|
||||||||||||||||||||
|
А : |
|
Опер. |
Код,, наименование операции |
-Обозначение документа |
|||||||||||||||||
|
Б. |
Код, наименование оборудования |
||||||||||||||||||||
|
К/М . |
Наименование детали, сб.единицы или материала ’ |
Обозначение, код Z |
|||||||||||||||||||
|
А Б ' 0 % |
Контроль качества Стол рабочий Произвести контроль качества слоя меди в отверстиях путем осмотра-боковой поверхности отверстий с помощь» микроскопа типа МБС-9 при увеличении 12,5-25* Осмотру подвергаются нё менее 30% отверстий на каждой ПП ' Слой меди должен быть сплошным, мелкокристаллическим, без отслоений, цвет покрытия — от светло-розового до темно-розового. Оттенок не нормируется. Примечани е-При наличии непрокрытых участков в отверстиях МПП и ДДП допускается повторение переходов 12-30. - |
||||||||||||||||||||
Таблица 10 - Карта типовой технологической операции контроля качества меднения
ОСТ 92-5077-'
Инв. N5 подл. І Подл, и дата | Взагл. нну. № | Инв. N2 дубл. | Подл, и дата
; л 1 22
О СТ 92-5077-99
■5 Методы контроля
Замер глубины травления диэлектрика в отверстиях МПП на соответствие п, 3,17 технических требований следует проводить один раз в неделю, а также при подборе режимов травления в случае замены раствора травления, при переходе на новую марку или партию диэлектри- , ческого материала при изменении толщины обрабатываемых МПП или изменении режимов прессования. Глубина травления измеряется не менее
