ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ
ПОКРЫТИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ. НАНЕСЕНИЕ МЕТОЛОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ. Типовой технологический процесе
ОСТ 92*0962-75
Издание официальное
і .і і /■ і "Восстановлен с подлинника11
Инв.№подл. Подпись и дата Взамен инв.ЛЙ Инв. д’ ~т. Подп. и дата Верно. '7^/* дХ
I 25.06.91.Иь ;нер П кат. W< Т.А.Собннова
УДК 629.7.023.222:621.793.14(083.73):ОО6.О36
Группа В06
ПОКРЫТИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ.
Нанесение методом термического испарения ОСТ 92-0962-75 в вакууме. Типовой технологический пронесе
письмом Министерства
от 29 января 1975 г. №ИП—38 срок введения установлен
с 01.07.75
Настоящий стандарт распространяется на тонкопленочные металлические покрытия на основе алюминия, серебра и золота.
Покрытия наносятся на поверхности деталей и материалов методом и магнетронного распыления термического испарёнияУв вакууме.
Стандарт устанавливает типовой технологический пронесе нанесения покрытий.
Назначение, технические требования и методы контроля изложены-в ОСТ 92-0961-75.
-/да
■Проворой
іа 1988--и.Издание официальное
IP В4439 Перепечатка воспрещена
щелочам.
І.І» Помещение додано быть чистш (запыленность на toes
0,5 мг/м3), светлым (освещенность 350-400 лк) и иметь общую пжош вытяжную вэнтидацна. Температура в помащенж должна быть (20*10/ °0 1
при относительной влажности. воздуха не выше 60 %, J
Поверхности стен и потолков доданы быть гладкими с адавдами ] округлениями в местах стыка и окрашены эмалями светлых тонов. • J
Полы должны быть жшоничнжи6 стойкими к ws кислотам и
Двери доданы быть гладами (бесфиевчатьйш) оте^іяшшми ж иметь резиновые уплотнения.'
Вое трубопровода доданы иметь глянцеву® ловврдаостъг
В помещении запрещается проведать работу связанные е образованием механических загрязнэккй. .
При выполнении всех без исклтаешя операций в процессе
. нанесения и контроля покрытий необходимо пользоваться чистыми
. хлопчатобумажными перчатками по ГОСТ 5007-87,» бедами халатами по ГОСТ 12.4.131-83 ии до ГОСТ 12.4.132-83 и обувью по ГОСТ XX35-^5j 1.8. Расчет норм расхода серебра и золота должек дроинводаьоя по
‘ методике, приведенной s приложении I.
Расчет норм расхода этилового спирта должен производиться по Рд 92-02'90-90.
Параметр шероховатости поверхностей, на которые наносятся покрытия, должен быть Sa 0,63 иш по ГОСТ 2789-73.
фи необходимости защиты металлических деталей от коррозии следует применять покрытия по ГОСТ 9.303-84, ОСТ 92-Х478-78 д GQT 92-9498-8Х5 . после чего на над нанести подслой лада шее фторопласта по технологии настоящего стандарта.
£
І
- ... .. . .. _ _ j
|
Зяк. 27S-~§5. Тмр, iPOOt? |
бОбК ф. н ОСТ 92-0962-75 Стр.3
Детали из стекла поместить в сосуд с нефрасом и выдержать в течение 10 мин.
|
|
Подпись и дата |
- тринатрийфосфат ГОСТ 201 -76 - 10-15 г/л; |
|
Взам. инв. JTs И на. № дубл. |
2.3г. Включить ультразвуковой генератор и произвести очистку поверхности стеклянных пластин в ультразвуковой ванне по следующему режиму: - температура моющего средства - 55-60 ”С; |
|
Подпись и дата |
- напряжение - 380-400 В; 4:1 - сила тока - 15-20 А; - время очистки - 3 мин. 2.3д. Выключить ультразвуковой генератор и вынуть корзину со |
|
§ * 79 я М (J 32 S |
стеклянными пластинами из ванны. (П) Зам. изв. 351.3.11-02Г |
Зак, 358—2000
стеклянные пластины
Инв. № подл.і Подпись и дата | Взам. нив, №| Инв. №дубл.| Подпись и дата
@ Нов. ИЗВ.35І.7.І0-0ІГ
506К ф. I!
ОСТ 92-0962-75 Стр,За
, Промыть деталишослвдоватвльно в ваннах:
с тёплой водой - 30-40 °С,;
с холодной водой-15-20 °С ;
с дистиллированной водой.
Время обработки в каждой ванне 1,0-1,5 мин.
Просушить детали на воздухе 15-20 мин (до испарения нефраса или воды).
Протереть обезжиренные поверхности деталей чистой хлопчатобумажной салфеткой, смоченной этиловым спиртом по ГОСТ 18300-87. Детали из стекла иди оптического отокла--К-20&- помещают в сосуд со"® спиртом на 10 мин, после чего протирают хлопчатобумажными салфетками до удаления разводов. Допускается для протирки применять полотно нетканое холстопрошивное по ГОСТ 14253-83.
Поверхности полимерных деталей, а также поверхности деталей из любых материалов с нанесённым подслоем, перед нанесением покрытия протереть хлопчатобумажной салфеткой, смоченной этиловым спиртом.
Период между окончанием подготовки поверхности и началом нанесения покрытий не должен превышать 0,5 ч.
Допускается перерыв до 48 ч при условии хранения деталей в закрытой упаковке из полиэтиленовой плёнки по ГОСТ 10354-82 с силикагелем по ГОСТ 3956-76.
Инв.Ка подл. I Подпись и дата Взам. инв. № Инв. № дубя. j РОД|1ИСЬИ
телей.
ПОДГОТОВКА ИСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ИСПАРИТЕЛЬНЫХ
УСТРОЙСТВ
Для нанесения покрытий используется проволока диаметром 0,8-1,2 мм из алюминия марки СВА-97 по ГОСТ 7871-75, серебра марки Ср.999,9 по ГОСТ 7222-75, золота марки Зл 99,99 по ГОСТ 6835-2002, фольга алюминиевая по ГОСТ 618-73 или полоса Ср 999,9 толщиной 0,10-0,32 по ГОСТ 7221-80.
Для нанесения алюминия на детали простых геометрических форм в качестве испарительных устройств (испарителей) применяются жгуты из вольфрамовой проволоки по ТУ 48-19-39-95, Жгут представляет собой пучок вольфрамовых проволок, обмотанных испаряемым металлом и вспомогательной спиралью из более тонкой вольфрамовой проволоки.
Перед изготовлением жгутов обработать вольфрамовую проволоку в течение 10-15 мин в растворе, г/л:
кальцинированная сода (Ха2СОз) по ГОСТ 5100-85 20-30;
едкий натр (NaOH) по ГОСТ 4328-77 50-80;
жидкое стекло (Na2O-SiO2-nH2O) по ГОСТ 13078-81 10-30;
температура раствора 70-80 °С.
Допускается зачистка вольфрамовой проволоки шлифовальной шкуркой с маркой абразивного материала 13А, 14А или 15А зернистостью 4-6 по ГОСТ 5009-82 или по ГОСТ 6456-82 до получения светлой поверхности.
Промыть вольфрамовую проволоку в горячей воде при температуре 60-80 °С и просушить до удаления влаги.
Нарезать вольфрамовую проволоку кусками длиной 250-400 мм.
Длина уточняется по расстоянию между токопроводящими шинами испари
Собрать нарезанную проволоку в жгуты.
Количество вольфрамовых проволок в жгуте с учетом мощности электриче
ского источника рекомендуется выбирать по табл. 1. (12 )3ам.изв.351.29 .12-04Г
і И и». № подл. Поди, н дата Взам. ина. Jfe Инв. Л&дубл, Поди, и дата
|
Таблица I |
|||||||
|
Наименование показателя |
Норма |
||||||
|
Минимальная мощность источника питания, кВт |
2,0 |
|
2,5 |
3,0 |
4,0 |
5,0 |
6,0 |
|
Диаметр проволоки, мм |
0,5 |
|
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,0 |
1,2 |
|
Количество проволок в жгуте, шт |
9,0 |
|
8,0 |
7,0 |
6,0 |
5,0 |
4,0 |
|
3.7. Намотать на каждый |
жгут |
( |
в среді |
гей его |
части) |
алюмин |
левую |
ійягаігчі^'*іив-«1 н*в» TMUtf«K .ЯгТп^а
ОСЇ 92-0962-75
Стр, 5
гроволоку диаметром 0,8-1,2 мм или фольгу, предварительно протерев их салфеткой из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков, или полотна нетканного холстопрошивного по ГОСТ 14253-83, смоченными этиловым
спиртом.
Обмотать испаряемый металл и жгут вспомогательной спиралью из вольфрамовой проволоки диаметром 0,20-0,25 мм.
Подготовленный жгут поместить в вакуумную камеру и при давлении 6,6*10“3 - 13,3*10“$ Па прокалить, т.е. довести алюминий
до полного расплавления, не допуская испарения алюминия со жгута.
При нанесении алюминия или золота на полимерные пленочные материалы, а также на детали сложной геометрической формы испаряемый металл применяется в виде проволоки или фольги, а испарение производится из специальных тиглей по ТУ I4-I-3089-80.
Тигель нагревается резистивным, индукционным методом или электронным лучом, источником которого служит прямоканальный катод из вольфрамовой проволоки диаметром 0,5 мм.
З II. Перед испарением тигель прокаливается в вакуумной камере при давлении 6,6*10~3-13,3*10“$ Па.
Температура прокаливания составляете1900-1ыЗ) °С, время - 15 мин; контроль температуры при необходимости можно осуществить методами пирометрии.
© Эам.изв.351. 64 -89Г . . ~** - —-- — . - _■! ГТ~А—~1* — Д-Г1-1І1. ҐІ
О
Инв.К" подл. Подпись и дата Взам. инв. № Иив. № дубл. Подпись и дата
2t/.0£.0ty I I
При нанесении серебра на полимерные пленочные материалы и на детали любой формы используются испарители (тигли) с косвенным потоком пара испаряемого материала.
Тигли изготавливаются из танталовой или вольфрамовой ленты толщиной 0,2-0,3 мм.
Чертеж и принцип действия тигля приведен в приложении 2.
. Для нанесения отражающего слоя серебра и защитного слоя из не- ржавещей стали на стеклянные пластины применяют катоды из серебра Ср 99,9 ГОСТ 6836-2002 и нержавеющей стали 12Х18Н10Т ГОСТ 7350-77.
Катоды из серебра и нержавеющей стали установить на соответствующие магнетроны и протереть поверхность катодов салфеткой из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков, смоченной этиловым спиртом.
ПОДГОТОВКА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ
С внутренней поверхности камеры удалить конденсат алюминия скребком, шлифовальной шкуркой или металлической щеткой, после чего очистить внутреннюю полость вакуумной камеры пылесосом.
Удаление конденсата серебра и золота из вакуумной камеры производить по методике, изложенной в приложении 1.
Чистку камеры проводить не реже чем через 8 циклов работы камеры.
Поверхности камеры и приспособлений, контактирующие с вакуумом, протереть салфеткой из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков, смоченной этиловым спиртом.
Установить в камеру испарителя и все необходимые приспособления. При испарении серебра и золота в камеру дополнительно устанавливается экраны из алюминиевой фольги.
НАНЕСЕНИЕ ПОДСЛОЯ
Для уменьшения шероховатости поверхности деталей (в том числе с нанесенными защитными покрытиями), подлежащих покрытию алюминием, серебром или золотом, на них наносится подслой фторопласта-4МБ-П по ТУ 301-05-73-90 (только для металлических поверхностей), лака ЭП-730 по ГОСТ 20824-81 (для любых поверхностей) или шпатлевки ЭП-0020 по ГОСТ 28379-89 (для выравнивания текстуры неметаллических деталей) с последующим нанесением двух слоев лака ЭП-730.
Параметр шероховатости поверхности., деталей, на которые наносится подслой, должен быть Rz < 40 мкм и Ra< 2,5 мкм.
З ам.изв.351. 29.12-041'
OCT 92 -0962-75 Стр Л
Толщина подслоя на неметаллических деталях ішнтролируется в соответствии с требованиями ОСТ 92-4566-85 на металлических J образцах-свидетелях размером 150x150x1^3 ш, изготовленных одаов- ) ременно с покрываемой деталь®. g
' 5.13. Допускается толщину подслоя определять прибораьш других типов, предназначенными для этих целей. I
Н а в е с а н и е лака ЭП- 7 3 0 . . j
