Пасты алмазные. Технические условия

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Обязательное

МЕТОД
ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ СЪЕМА И ПАРАМЕТРА ШЕРОХОВАТОСТИ
ПОВЕРХНОСТИ, ОБРАБОТАННОЙ ПАСТАМИ ИЗ СУБМИКРОПОРОШКОВ

1. Сущность метода

   1. Сущность метода заключается в определении скорости съема материа­ла и параметра шероховатости поверхности образцов, обработанных пастами из субмикропорошков определенной зернистости.

2. Отбор проб

   1. От каждой партии паст от.бирают из любой части ее объема пробу массой 1,20 г для паст зернистостью 0,7/0,3, 0,5/0,1, 0,3/0 и массой 2,40 г для паст зернистостью 0,1/0.

3. Аппаратура и материалы

3.1. Для проведения испытания применяют:

станок шлифовальный настольный типа В 1 М3 105.000;

микаторы по ГОСТ 14712—79 с ценой деления 1,0 мкм;

микроскоп МИИ по ГОСТ 9847—79;

пластины монокристаллического кремния марки КЭФ 4,5/0,1, ЭКЭС 0,01/4, диаметром 25—35 мм, высотой 1—5 мм;

весы лабораторные 2-го класса по ГОСТ 24104—80;

гири 2-го класса по ГОСТ 7328—82;

секундомер СОПпр 1а—2—III по ГОСТ 5072—79;

линейку поверочную типа ЛТ длиной не менее 320 мм по ГОСТ 8026—75;

набор щупов № 1, № 2 по ГОСТ 882—75;

диски стеклянные диаметром 130—150 мм по ГОСТ 3514—76;

скальпель медицинский по ГОСТ 21240—77;

ножницы медицинские по ГОСТ 21239—77;

капельницу по ГОСТ 25336—82;

марлю медицинскую по ГОСТ 9412—77;

вату медицинскую гигроскопическую по ГОСТ 5556—81;

пластины резиновые толщиной 5 мм по ГОСТ 7338—77;

миткаль по ГОСТ 21241—77;

шпатель металлический по ГОСТ 10778—83;

бензин марки Б-70 по ГОСТ 1012—72 или спирт этиловый технический по ГОСТ 18300—72;

элетрокорунд Ml4, М10 по ГОСТ 3647—80;

микропорошок алмазный марки АСМ зернистостью 5/3, 3/2 2/1 1/0 по. ГОСТ 9206—80;

карбид кремния зеленый марки 63С, М5;

бумагу фильтровальную по ГОСТ 12026—76;

воду дистиллированную по ГОСТ 6709—72;

воск пчелиный по ГОСТ 21179—75;

канифоль сосновую по ГОСТ 19113—84;

замшу по ГОСТ 3717—84;

ступку фарфоровую с пестиком № 1 по ГОСТ 9147—80;

электроплитку бытовую по ГОСТ 14919—83;

термометр П 5 1 160 66 по ГОСТ 2823—73;

лампу накаливания 50—100 Вт по ГОСТ 2239—79;

лупу ЛАЗ-бх по ГОСТ 25706—83;

чашку сферическую кристаллизационную № 2 по ГОСТ 9147—80;

пылесос бытовой по ГОСТ 10280—83.

4. Подготовка к испытанию

   1. Отклонение от плоскостности шлифовальника проверяют с. помощью по­верочной линейки и щупа. Отклонение от плоскостности шлифовальника по» длине линейки не должно превышать 0,02 мм.

   2. Дефекты шлифовальника исправляют обработкой притирами с абразив­ной водной суспензией, а дефекты головки — абразивной приработкой голов­ки к поверхности шлифовальника.

В качестве абразивного материала следует применять карбид кремния зе­леный зернистостью М5 или белый электрокорунд зернистости М14, М10 и ал­мазные микропорошки марки АСМ зернистостью от 5/3 до 1/0, которые раз­бавляют в дистиллированной воде в соотношении 1:1.

Шлифовальник и головки тщательно промывают водой, затем на шлифо- вальник натягивают замшу, очищенную пылесосом, и закрепляют с помощью хо­мутика и диска. Три образца кремния приклеивают к головке по концентри­ческой окружности на одинаковом расстоянии друг от друга и от края голов­ки на 5 мм мастикой, состоящей по массе из трех частей воска и одной части канифоли.

Головку нагревают до температуры 90— 100°С и наносят на нее тонкий слой мастики, образцы прижимают к поверхности головки, накладывают филь­тровальную бумагу, резиновую прокладку толщиной примерно 5 мм и груз, входящий в комплект станка, массой 9,2 кг. После того, как головка остыла и мастика затвердела, груз Снимают и поверхность с образцами промывают бен­зином для удаления остатков мастики.

Параметр шероховатости поверхности Rz образцов из кремния до испытания пастами из субмикропорошков не должна быть более 0,050 мкм по ГОСТ 2789—73

5. .Проведение испытаний

   1. Испытания проводят на настольном шлифовальном станке с частотой вращения — 80 мин^-1 (об/мин). Навески пасты, взвешенные с погрешностью ±0,01 г, помещают между двумя стеклянными дисками и растирают. Растер­тую пасту с обоих дисков переносят на ткань шлифовальника, распределяя ее равномерно по всей поверхности. Головку с образцами устанавливают в на­правляющие ролики и создают давление (12±2) кПа (120±20) гс/см², время полирования—(30,0±0,5) мин.

В качестве разбавителя в зону обработки во время полирования вводился спирт; скорость подачи спирта из дозатора, входящего в комплект станка — 60—80 капель/мин: После полирования образцы ^! кремния тщательно протира­ются миткалем, смоченным бензином.

6. Обработка результатов

   1. Определение параметра шероховатости поверхности Rz образцов Про­изводится на микроскопе. На предметном столе микроскопа установлена ось, на которую насаживается головка с исследуемыми образцами кремния. Го­ловка свободно вращается вокруг оси. В поле зрения микроскопа выбираются для измерения параметры шероховатости образцов наиболее характерные уча­стки поверхности.

   2. Определение скорости съема слоя кремния пастами из субмикропорош­ков производится на приспособлении, представляющем собой диск диаметром 140 мм и высотой 15 мм, имеющем на торцах три посадочных отверстия 08Н7 мм, расположенных на одинаковом расстоянии друг от друга и от края диска на 5 мм. В посадочных отверстиях укреплены три микатора с ценой де­ления 0,001 мм. ' їй

На приспособлении имеется три упорных валика 0 8h7 мм, укрепленных неподвижно в диске.

В головке с исследуемыми образцами высверлены отверстия 0 8Н7 мм, в которые вставлены одинаковые шарики диаметром 8 мм.

Приспособление накладывается на головку таким образом, чтобы упорные валики вошли в отверстие и плотно сели на шарики. t

Настройка микаторов производится на «0» по трем точкам.

После полирования кремниевых пластин приспособление снова наклады­вают на головку в тех же точках, снимают показания с каждого из микато­ров и определяют среднее арифметическое значение высоты снятого слоя крем­ния.

для зернистостей 0,7/0,3, 0,5/0,1, 0,3/0 по формуле

H_i+H₂+H₃
^v= t~n ^;

для зернистости 0,1/0 по формуле

_г . Я.+Яг+Яз
t-n-K

где Hi, Н₂, Н₃— высота снятого слоя кремния на каждом образце за время испытаний, мкм;

/=30 мин — время полирования;

К=2 — коэффициент, учитывающий увеличение навески порошка; п=3 — количество образцов.

Погрешность измерения не должна превышать ±10%.ПРИЛОЖЕНИЕ 5

Справочное

Масса алмазов в пастах