ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ
ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

43. Изображение во вторич­ных электронах при ионной бомбардировке


Изображение, сформирован­ное в эмиссионном электрон­ном микроскопе с использова­нием вторичных электронов, возникающих при бомбарди­ровке объекта ионами




Термин

Буквенное обозначение

Определение

44. Изображение во вторич­ных электронах при электрон­ной бомбардировке

Изображение, сформирован­ное в эмиссионном электрон­ном микроскопе с использова­нием вторичных электронов, возникающих при бомбарди­ровке объекта электронами

45, Изображение в термо­электронах


Изображение, сформирован­ное в эмиссионном электрон­ном микроскопе с использова­нием термоэлектронов, испус­каемых объектом при нагрева­нии

46. Изображение в фотоэлек­тронах


Изображение, сформирован­ное в эмиссионном электрон­ном микроскопе с использова­нием фотоэлектронов, испуска­емых объектом под действием оптического излучения

П

47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа

Ускоряющее напряжение D. Beschleunigungsspannung Е. Ascelerating voltage 48. Нестабильность напряже­ния электронного микроскопа

Нестабильность напряжения

  1. Нестабильность тока электронного микроскопа

Нестабильность тока

  1. Электроннооптическое увеличение электронного мик­роскопа

D. Elektronenoptische Vergrofierung

Е. Electron optical magnifi­cation

  1. Общее увеличение

  1. Gesamtvergrofierung

  2. Total magnification


  1. Разрешающая способ­ность электронного микроскопа

D. Auflosungsvermogen

E. Resolving power


Л(/

А/

мэ

Mo

6


Разность потенциалов, опре­деляющая энергию электронов в осветительной системе элек­тронного микроскопа

Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напря­жения электронного микроско­па во времени

Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени

Отношение линейного разме­ра изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному раз­меру соответствующего эле­мента объекта

Увеличение изображения объ­екта, равное произведению электронно-оптического увели­чения и дополнительного уве­личения, полученного вне элек­тронного микроскопа

Наименьшее расстояние меж­ду двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе


АРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ



Термин

Буквенное обозначение

Определение

53. Разрешающая способ­ность электронного микроскопа по кристаллической решетке

  1. Netzebenenabbildung

  2. Lattice plane resolution

ЙР

Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической ре­шетки, плоскости которой изо­бражаются раздельно в элек­тронном микроскопе

54. Разрешающая способ­ность электронного микроскопа по точкам

  1. Punktauflosung

  2. Point resolution

бт

Наименьшее расстояние меж­ду двумя микрочастицами объ­екта, раздельно изображаемы­ми в электронном микроскопе

55. Электронная яркость

D. Richtsrtahlwert

Е. Brightnes

в

Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на едини­цу площади облучаемой по­верхности

56. Апертурный угол форми­рующей линзы

аф

Половина угла расхождения траекторий электронов в элек­тронном зонде

57. Апертурный угол объек­тивной линзы электронного ми­кроскопа

Апертурный угол объектив­ной линзы

«об

Половина угла расхождения траекторий электронов, поки­дающих объект и формирую­щих изображение

58. Апертурный угол освети­тельной системы электронного микроскопа

Апертурный угол осветитель­ной системы

• аос

Половина угла расхождения траекторий электронов, падаю­щих на объект

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ



Зеркало электронное 9

Изображение в наведенном электронным зондом токе 37

Изображение во вторичных электронах 33

Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке 43

Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке 44

Изображение в Оже-электронах 39

Изображение в отраженных электронах 34

Изображение в поглощенных электронах 35

Изображение в прошедших электронах 40

Изображение в рентгеновском характеристическом излучении 38

Изображение в термоэлектронах 45

Изображение в фотоэлектронах 46

Изображение картин каналирования электронов 41

Изображение катодолюминесцентное 36

Изображение при У-модуляции 42

Изображение светлопольное 30

Изображение темнопольное 31

Колонна 28

Колонна электронного микроскопа 28

Конденсор 15


Конденсор двойной

Конденсор электронного микроскопа двойной Линза

Линза дифракционная

Линза магнитная

Линза проекционная

Линза промежуточная

Линза формирующая

Линза электронного микроскопа конденсорная Линза электронного микроскопа магнитная Линза электронного микроскопа объективная Линза электронного микроскопа проекционная Линза электронного микроскопа промежуточная Линза электронного микроскопа электронная Линза электронного микроскопа электростатическая Линза электростатическая Микродифракция

Микропроектор

Микроскоп-проектор

Микроскоп электронный

Микроскоп электронный зеркальный

Микроскоп электронный отражательный Микроскоп электронный просвечивающий Микроскоп электронный растровый Микроскоп электронный сканирующий Микроскоп электронный трансмиссионный Микроскоп электронный эмиссионный Наконечник полюсный

Напряжение ускоряющее

Наконечник электронного микроскопа полюсный

Напряжение электронного микроскопа ускоряющее

Нестабильность напряжения

Нестабильность напряжения электронного микроскопа

Нестабильность тока

Нестабильность тока электронного микроскопа

Объектив

Лроектив

Проектор автоэлектронный

Пушка электронная

Пушка электронного микроскопа электронная

Система вакуумная

Система отклоняющая

Система регистрирующая

Система электронного микроскопа вакуумная

Система электронного микроскопа отклоняющая

Система электронного микроскопа регистрирующая

Система электронного микроскопа юстировочная

Система юстировочная

Способность электронного микроскопа по кристаллической решетке разре­шающая

Способность электронного микроскопа по точкам разрешающая

Способность электронного микроскопа разрешающая

Стигматор

Увеличение общее

Увеличение электронного микроскопа электроннооптическое

Угол объективной линзы апертурный

У

16

16

11

18

12

20

19

14

15

12

17

20

19

11

13

13

32

7

7

1

6

4

2

3

3

2

5

27

47

27

47

48

48

49

49

17

20

7

8

8

23

25

21

23

25

21

24

24

53

54

52

26

51

50

57

57

гол объективной линзы электронного микроскопа апертурный

Угол осветительной системы апертурный 58і

Угол осветительной системы электронного микроскопа апертурный 58

Угол формирующей линзы апертурный 56

Устройство растрового электронного микроскопа видеоконтрольное 10

Устройство электронного микроскопа шлюзовое 29

Фотокамера 22

Фотокамера электронного микроскопа 22

Шлюз 29

Яркость электронная 55

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Abbildung mit Channelling Diagrammen 41

Abbildung mit Probenstomen 35

Abbildung mit Riickstreuelektronen 34

Abbildung mit sekundarelelektronen 33

Ablenksystem 25

Auflosungsvermogen 52'

Aufnahmekammer 22

Beschleunigungsspannung 47

Doppelkondensor 16

Dunkelfeldabbildung 31

Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop 2

Elektrische Linse 13

Elektronenlinse 11

Elektronenmikroskop 1

Elektronenoptische Vergrofierung 50

Elektronenspiegel 9

Elektronenstrahler 3

Emiss’ions-E'lektronenmikroskop 5

Feinbereichsbeugung 32

Gesamtvergrofierung 51

Hellfeldabbildung 30

Kondensorlinse 15

Magnetische Linse 12

Mikroskoprohr 28

Netzebenenabbildung 53

Objektivlinse 17

Pol schuh 27

Projektiv 20

Punktauflosung 54

Rasterelelektronenmikroskop 3

Reflexions-Elektronenmikroskop 4

Richtsrtahlwert 55

Schleuse 29

Sipiegelelektronenmikroskop 6

Stigmator 26

Vakuumanlage 23

Zwischenlinse 19

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ

Absorbed specimen current mode 35

Accelerating voltage 47

Airlock 29

Backscattered Electron mode 34



Bright-field image Brightness

Cathodoluminescence mode Condenser lens Dark-field image Deflection system Electric lens

Electron Channeling Pattern mode Electron gun

Electron optical magnification Electron lens

Electron microscope Electron mirror Emission electron microscope Induced current mode Intermediate lens Lattice plane resolution Magnetic lens Microscope column

Mirror electron microscope Objective lens Photographic chamber Point resolution Pole piese Projector

Reflection electron microscope Resolving power

Scanning electron microscope Secondary-Emission mode Selected ared diffraction Stigmator

Total magnification

T

30 55

36 15

31

25 13 41

8 50 11

1

9

5

37

19 53

12 28

6

17 22 54 27 20

4 52

3 33 32 26 51

2 23

ransmission electron microscope Vacuum systemПРИЛОЖЕНИЕ к ГОСТ 21006—75

Справочное

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Термин

Определение

  1. Электронно-оптический элемент

  2. Электронно-оптическая систе­ма

  3. Осветительная система

  4. Изображающая система

  5. Аберрация

  6. Электронный луч

  7. Электронный пучок

  8. Кроссовер

  9. Электронный зонд

  10. Эмиссионная система

  11. Фиктивный катод

Нрк. Мнимый источник

  1. У-образный катод

Нрк. Шпилькообразный катод

  1. Остроконечный катод

Нрк. Точечный катод

Игольчатый катод Острийный катод

  1. Объект исследования

Нрк. Препарат

Образец

  1. Столик объектов

  2. Апертурная диафрагма

  3. Селекторная диафрагма

Устройство, предназначенное для форми­рования электронных пучков или управле­ния ими электрическими и (или) магнит­ными полями

Совокупность электронно-оптических эле­ментов

Часть электронно-оптической системы, предназначенной для формирования элек­тронных пучков, освещающих объект

Часть электронно-оптической системы, формирующая увеличенное изображение объекта или дифракционной картины

Искаженное изображение объекта, воз­никающее вследствии непараксиальности и немонохроматичности электронных пучков, дифракции электронов

Совокупность электронов, движущихся по одной траектории

Совокупность электронных лучей, имею­щих общую точку

Минимальное сечение электронного пучка в эмиссионной системе

Электронный пучок, имеющий минималь­ное сечение в заданной плоскости

Электронно-оптическая система, предназ­наченная для формирования электронного' пучка и управления его интенсивностью

Мнимое изображение катода, образован­ное полем, прилегающим непосредственно к катоду

Катод, изготовленный из проволоки, со­гнутой под острым углом, вершина кото­рого является эмиттером

Катод, эмиттер которого имеет заострен­ный конец

Предмет, исследуемый в электронном микроскопе

Устройство, предназначенное для уста­новки и перемещения объектов

Диафрагма, ограничивающая апертурный угол

Диафрагма, ограничивающая участок объекта, с которого получают дифракцион­ную картину

Редактор Л. И. Бурмистрова
Технический редактор Л. Б. Семенова
Корректор Й. Л. Хиниц

Сдаие в наб. 31.07.76 Поди, в печ. 17.09.75 1,0 п. л. Тираж 6000 Цена 5 кож.

Издательство стандартов. Москва, Д-32, Новопресненский пер., 3
Тиж. «Московский печатник*. Москва, Лялин пер., 6. Зак. 1392