Определения по интерферограмме порядка интерференции в реперных точках проводят в следующем порядке:
проводят заданное сечение поверхности, параллельное направлению сдвига зеркала;
находят на следе заданного сечения реперные точки по п. 5.3.2;
выделяют л-ную интерференционную полосу, ближайшую к заданному сечению;
в каждой реперной точке сечения вычисляют значение <ртеп порядка интерференции по формуле
<?тп = 4- ( Утп — тТА — пъ.
Функции местных ошибок поверхности контролируемого» зеркала рассчитывают в порядке:местные ошибки фтп в каждой реперной точке находят из системы разностных уравнений
Фтл Фи-1, п — фт-1, п
т=0,± ... ±D( 2а,
где в правых частях записаны значения порядка интерференции в соответствующих реперных точках (5.3.4);
по значениям фтп в реперных точках строят график функции
(х) •
Повторяют операции, предусмотренные в пп. 5.3.1—5.3.5, .для каждого из экземпляров изображений голографических интерферограмм сдвига, полученных по п. 5.1. В качестве искомого значения функции местных ошибок фщп для каждой реперной точки принимают среднее арифметическое по всем экземплярам изображений значений фтп, рассчитанных по п. 5.3.5.
Погрешность измерений.
Расчет погрешности измерений местных ошибок — по ГОСТ 3.207—76. Основная абсолютная погрешность измерений местных сшибок при доверительной вероятности Р = 0,95 не превышает 0,IX.
ПРИЛОЖЕНИЕ
Справочное
ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА, ОБОРУДОВАНИЕ И МАТЕРИАЛЫ,
ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ПРИ ИЗМЕРЕНИИ РАДИУСА КРИВИЗНЫ
ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ
Измерительная голографическая установка типа УИГ-2Г-1, Х=0,6328 мкм.
Измерительная металлическая линейка по ГОСТ 427—75.
Пробные стекла для проверки радиусов сферических поверхностей оптических деталей по ГОСТ 2786—82.
Фотоаппарат «Зенит-Е» по ГОСТ 5.909—71.
Фотопластинки «Микрат ВР-Л», 7.=0,6328 мкм.
Этиловый ректифицированный технический спирт по ГОСТ 18300—72.
Хлорная медь по ГОСТ 4167—74.
Для измерений допускается применять другие средства измерений с аналогичными или лучшими характеристиками.