---

Основные этапы технологического процесса изготовления рельефной меры приведены в прило­жении А.ГОСТ 8.592—2009

Приложение А
(справочное)

Технологический процесс изготовления рельефной меры
с использованием анизотропного травления

Основные этапы технологического процесса изготовления рельефной меры приведены на рисунке А. 1

.

(100)

й

■

й

й

й

й

й

й

й

Маска

Выступ

Канавка

пластина после анизотропного травления; h

глубина травления; г

пластина после удале­

гической защитой (маской); в

пластина с нанесенной техноло­

исходная пластина монокристаллического кремния с ориентацией поверхности (100);

бния технологической защиты с элементами рельефа

Рисунок А. 1

П

Примечание

оверхности пластин представляют собой кремневую структуру, покрытую диоксидом

кремния, образовавшегося в процессе взаимодействия кремния с окружающей средой

.Библиография

[1] РМГ29—99 Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и определения

УДК 531.711.7.089:006.354

МКС 17.040.01

Т88.1

Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристаллический кремний, размеры, формы, материал, растровые электронные микроскопы, зондовые сканирующие атомно-си­ловые микроскопыРедактор Т.А. Леонова
Технический редактор Н.С. Гоишанова
Корректор Е.Д. Дульнева
Компьютерная верстка И.А. Налейкиной

Сдано в набор 11.05.2010. Подписано в печать 08.06.2010. Формат 60x84%. Бумага офсетная. Гарнитура Ариал.
Печать офсетная. Усл. печ. л. 1,40. Уч.-изд. л. 0,80. Тираж 104 экз. Зак. 459.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер., 4.
www.gostinfo.ru [email protected]

Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ

Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва, Лялин пер., 6.