---

При внешнем осмотре микроскопа должно быть установлено:

• соответствие комплекта поставки микроскопа данным, приведенным в паспорте (формуляре);

• отсутствие механических повреждений всех составных частей микроскопа;

• отсутствие механических повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов;

• наличие маркировки на микроскопе и ее соответствие данным, приведенным в паспорте (форму­ляре).

При выполнении операции рекомендуется использовать вспомогательный оптический микроскоп.

• ширина нижнего основания видеопрофиля В_р должна быть не менее 0,4 общей длины видеопро­филя;

• проекция наклонной стенки видеопрофиля A_r и высота выступа по видеопрофилю /-/должны быть не менее 200 пикселей.

Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2, соответствует элементу рельефа, изображенному на рисунке 1.

Значения параметров, указанных на рисунке 2, определяют экспериментально путем обработки полученного видеопрофиля.

При сканировании исследуемого элемента рельефной меры необходимо, чтобы наклон зон­да микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной к направлению переме­щения зонда

.Рисунок 2 — Видеопрофиль (направление сканирования слева — направо)

Наклон зонда должен быть не более 20°. При соблюдении дополнительного условия ортогональ­ности вертикального перемещения зонда, регистрируемая кривая будет симметричной и A_L= A_R.

Примечание — Если значения А{_ и Ar не равны, то это указывает на неортогональность вертикального перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения Z-сканера поверяемого микроскопа по 9.4.

Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 2, оформляют в виде протокола. В протокол также записывают значение общей длины видеопрофиля, определенное по 8.2.5. Форма протокола — произвольная.

Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки мик­роскопа.

4. Обработка результатов измерений

   1. Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа

Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа т_х, нм/пиксель, вдоль направления сканирования вычисляют по формуле

(2)

где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельеф­ную меру, нм;

Д_я — значение проекции наклонной стенки рельефной меры, измеренное по видеопрофилю, пиксель.

Примечание — При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение проекции наклонной стенки Ar, соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значе­ние при выполнении условия по 8.3.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.

Эффективный радиус острия зонда микроскопа г, нм, вычисляют по формуле

г= 0,966(т_хВ_р- Ь_р), (3)

где т_х— масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;

В_р— ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

Ь_р— ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм.

Цену деления вертикальной шкалы микроскопа m_z, нм/пиксель, вычисляют по формуле

Если значение A_L не равно A_R в пределахзаданной точности измерений, то относительное отклоне­ние Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования Z_x (безраз­мерная величина) вычисляют по формуле

™

(5)

х(4~А?)
2Hm_z

где т_х— масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;

A_lA_r— проекции наклонных стенок рельефной меры в направлении слева направо, пиксели;

Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

m_z— цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель.

Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по форму­лам (2) — (5), составляют:

• для т_х и m_z— абсолютные погрешности измерений — не более ± 0,02 нм/пиксель;

• для z_xn г— относительные погрешности измерений — не более ± 6 %.

4. Оформление результатов поверки

   1. Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы, внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) микроскопа и удостоверяют оттиском поверительного клейма, наносимого на микроскоп.

   2. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) микроскопа долж­ны быть приведены:

• значение общей длины видеопрофиля, определенное по 8.2.5;

• значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа т_х, цены деления верти­кальной шкалы микроскопа m_z, значения относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортого­нальности по отношению к направлению сканирования Z_x и значение эффективного радиуса острия зонда г.

Для перечисленных метрологических характеристик микроскопа необходимо также указать значе­ния погрешностей измерений, приведенные в подразделе 9.5 настоящего стандарта.УДК 531.711.7.089:006.354 МКС 17.040.01 Т88.1

Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, сканирующие зондовые атом­но-силовые микроскопы, методика поверки

Редактор Т.А. Леонова
Технический редактор Н.С. Гоишанова
Корректор Е.Д. Дульнева
Компьютерная верстка И.А. Налейкиной

С

Гарнитура Ариал.

дано в набор 11.05.2010. Подписано в печать 10.06.2010. Формат 60x84%. Бумага офсетная.

Печать офсетная. Усл. печ. л. 1,40. Уч.-изд. л. 0,90. Тираж 109 экз. Зак. 476.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер., 4.
www.gostinfo.ru [email protected]

Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ

Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва, Лялин пер., 6.