Устанавливают два значения параметров облучения фоточувствительного прибора или его части в соответствии с ТУ на приборы конкретных типов и измеряют для них выходные сигналы прибора по разд. 2. Допускается в качестве наименьшего принимать нулевые значения параметров облучения.
Обработка результатов
И
Su= рСг , В/лк;
Г1 £ 2
Sv- , В/(Вт.м-2);
ехьс2
Sy= > В/(лК'С);
Su= , В/(Дж • м-2);
Єі е8
где Ucl, Uc2— напряжение выходного сигнала, В;
£ь £2 — освещенность фоточувствительного поля прибора, лк;
Ее1> — энергетическая освещенность фоточувствительного
поля прибора, Вт-м-2;
Hi, Н2— световая экспозиция фоточувствительного поля прибора, лк-с;
ЯЄі, Не2— энергетическая экспозиция фоточувствительного поля прибора, Дж-M-2.
Показатели точности измерений
Погрешность определения интегральной чувствительности находится в интервале ±13 % с установленной вероятностью Р = 0,95.
Закон распределения погрешности — нормальный.
МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ СРЕДНЕГО КВАДРАТИЧЕСКОГО ЗНАЧЕНИЯ
НАПРЯЖЕНИЯ ШУМА И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИНАМИЧЕСКОГО
ДИАПАЗОНА
Принцип, условия и режим измерений
Метод измерения шумов основан на измерении темновых сигналов фоточувствительных элементов прибора за два цикла считывания сигналов не менее чем со 128 фоточувствительных элементов прибора или за 128 считываний с одного фоточувствительного элемента прибора.
Определение динамического диапазона основано на сравнении напряжения насыщения и среднего квадратического напряжения шума.
Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.
Аппаратура — по разд. 1.
Подготовка и проведение измерений
Измеряют напряжение насыщения по разд. 3.
Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеряют темновой сигнал от отдельных фоточувствительных элементов для двух циклов считывания или от одного фоточувствительного элемента по разд. 5.
Обработка результатов
Среднее квадратическое напряжение шумов (о{/ш ) в вольтах для двух циклов считывания вычисляют по формуле
(21)
где Ui — напряжение выходного сигнала 1-го фоточувствительного элемента, полученное при измерении для первого считывания, В;
Ui — напряжение выходного сигнала 1-го фоточувствительного элемента, полученное при измерении для второго считывания, В;
N — число фоточувствительных элементов, по которым производится усреднение сигнала.
Среднее квадратическое напряжение шумов (о[/ш ) ввольтах для считывания сигнала от одного фоточувствительного
элемента вычисляют по
(21а)
ормуле
где Ui — напряжение выходного сигнала z-го фоточувствительного элемента, В;
N — число считываний сигнала одного фоточувствительного
элемента.
Динамический диапазон (Д) в относительных единицах
в
б^нас
ычисляют по формуле(22)
где (/нас — напряжение насыщения, В.
Показатели точности измерений
Погрешность измерения среднего квадратического напряжения шумов находится в интервале ±6 %.
Погрешность измерения динамического диапазона находится в интервале ±12 %.
Установленная вероятность для погрешностей Р=0,95.
Закон распределения погрешностей — нормальный.
МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОРОГОВОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ
И ПОРОГОВОЙ экспозиции
Принцип, условия и режим измерений
Метод измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции основан на определении параметров облучения, при которых выходной сигнал равен среднему квадратическому напряжению шума.
Условия, режим измерений и требования безопасности— по разд. 1.
Аппаратура — по разд. 1.
Подготовка и проведение измерений
Измеряют интегральную чувствительность прибора по разд. 10.
Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеряют среднее квадратическое напряжение шумов по разд. 11.
Обработка результатов
Пороговую освещенность (Егор) в люксах вычисляют по
ормуле
(
лор
?3)где аС/ш — среднее квадратическое напряжение шума, В
;
Su— интегральная чувствительность, В/лк.
Пороговую энергетическую освещенность (£е пор) в люксах вычисляют по формуле
1
(24)
7 __ ПІДчпср“ С J
где — среднее квадратическое напряжение шума, В;
Su— интегральная чувствительность, В/(Вт*м-2).
Пороговую экспозицию (Ипор ) в люксах в секунду вычисляют по формуле где gUiu— среднее квадратическое напряжение шума, В;
тт
Пп°Р“ ~ Sy ’
где oUUi— среднее квадратическое напряжение шума, В;
Sy — интегральная чувствительность, В/(лк*с).
12,4.4. Пороговую энергетическую экспозицию (Яе пор ) лях на квадратный метр вычисляют по формуле
гг г . оL7m
“е.пср С >
(25)
джоу-
(26)
Su — интегральная чувствительность, В/(Дж«м“2).
По казатели точности измерений
Погрешность измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции находится в интервале ±16 % с установленной вероятностью Р=0,95.
Закон распределения погрешности — нормальный.
13 МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА УТЕЧКИ МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ
Настоящий раздел устанавливает два метода измерения тока утечки между электродами:
метод измерения измерителем параметров полупроводниковых приборов;
метод измерения микроамперметром.
Метод измерения измерителем параметров полупроводниковых приборов
Принцип, условия и режим измерений
Метод измерений состоит в прямом измерении тока между одиночным электродом и группой электродов, группами электродов, одиночными электродами при заданном напряжении между ними в статическом режиме работы прибора.
Номера выводов прибора, между которыми измеряют ток утечки, полярность и разность потенциалов между электродами должны соответствовать требованиям ТУ на конкретные типы приборов или технических инструкций (ТИ) для измерения статичес-
ких параметров приборов. Пример записи в ТУ или в ТИ приведен в приложении 4.
Условия, режим измерений и требования безопасности— по разд. 1.
Аппаратура
Ток утечки между электродами измеряют по одной из структурных схем, приведенных на черт. 5.
I — прибор; 2 — измеритель параметров полупроводниковых приборов;
3 — ЭВМ; 4 — цифропечатающее устройство (ЦПУ)
1 — прибор; 2 — коммутирующее устройство;
3 - ■ измеритель статических параметров полупроводниковых приборов; 4 — ГІПУ: 5 — ЭВМ
Черт, 5
Измеритель статических параметров приборов типа изделия ХШМ 1.149.002.
ЭВМ — любой тип управляющих ЭВМ, например ВУМС, ДВК с устройством управления внешних приборов.
ЦПУ — любое цифропечатающее устройство типа «Ro- botron», Consul».
Коммутирующее устройство должно обеспечивать подключение выводов прибора к измерителю параметров полупроводниковых приборов в заданном порядке, а при использовании ЭВМ
— в соответствии с установленной программой.
Измеритель параметров полупроводниковых приборов обеспечивает подачу на электроды прибора постоянного напряжения положительной или отрицательной полярности в диапазоне от 0 до 30 В с погрешностью не более 5 % в ручном и автоматическом режимах с индикацией результатов измерений на табло или с помощью ЦПУ.
Подготовка и проведение измерений
Выводы прибора, указанные в ТУ, ТИ через коммутирующее устройство последовательно вручную или автоматически подключают к измерителю параметров полупроводниковых приборов, подают на них напряжение, указанное в ТУ, и измеряют ток утечки, кото-
рый фиксирует на табло измерителя параметров полупроводнико
вых приборов или с помощью ЦПУ.
Показатели точности измерений
Относительная погрешность измерения токов утечки между электродами с установленной вероятностью Р = 0,95 находится в интервале ±15%.
Закон распределения погрешности — нормальный.
Метод измерения микроамперметром
Принцип, условия и режим измерений —по п. 13.1.L
Аппаратура
Принципиальная схема включения приборов для измерения тока утечки между электродами приведена на черт. 6.
А7 (I7), X? (К) — выводы для подключения прибора; R1— ограничительный резистор; РА — микроамперметр; PV — вольтметр; ХЗ (G), Х4 (G) — выводы для подключения источника питания
Черт. 6
Ограничительный резистор МЛТ-0,5—24 кОм±Ю°/о ОЖО.467.107 ТУ, если другой не указан в ТУ на конкретный тип прибора.
Класс точности измерительных приборов с учетом добавочных и шунтирующих сопротивлений не должен быть ниже:
1,5 — для вольтметров и микроамперметров;
4,0 — для микроамперметров, измеряющих токи менее 10 мкА.
Стрелочные электроизмерительные приборы должны обеспечивать измерение тока (напряжения) в последних 2/з шкалы.
Подготовка и проведение измерений
На электродах прибора, между которыми измеряют ток утечки, создают разность потенциалов и контролируют ее вольтметром или по шкале источника калиброванных напряжений.
При подаче разности потенциалов от калиброванного источника питания контроль вольтметром исключают.
Ток утечки между электродами измеряют микроамперметром.
Показатели точности измерений — по п. 13.1.4.ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Обязательное
МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОСВЕЩЕННОСТИ,
ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ, НЕРАВНОМЕРНОСТИ
ОСВЕЩЕННОСТИ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ
ОСВЕЩЕННОСТИ
Принцип измерений
Определение освещенности, создаваемой осветителем и оптической системой в плоскости фотометрирования основано на измерении фототока фотопри- >емника, проградуированного в световых единицах, входное окно которого расположено в фотометрируемой плоскости перпендикулярно направлению потока излучения.
Для оптических систем, имеющих нулевую оптическую плотность, освещенность может быть рассчитана на известной силе света осветителя.
Определение энергетической освещенности основано на измерении фото-
£
тока
at
отоприемника, проградуированного в энергетических единицах, или на сопоставлении лучистого и светового потоков излучения в плоскости фотометриро-вания.
Определение неравномерности освещенности и энергетической освещен
ности в плоскости фотометрирования основано на сравнении выходных сигналов
отоприемника, располагаемого в различных участках рабочего поля в плоскости
фотометрирования.
Аппаратура
Определение освещенности, энергетической освещенности и неравномерности освещенности и энергетической освещенности проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт. 7.
1 — оптическая система с набором диафрагм; 2 — фотоприемник; 3 — измеритель фототока фотоприемника
Черт. 7
Оптическая система должна удовлетворять требованиям п. 1.2 настоящего стандарта.
Фотоприемник для измерения освещенности должен удовлетворять следующим требованиям:
относительная спектральная характеристика чувствительности должна соответствовать кривой относительной видности излучения для стандартного фотометрического наблюдателя МКО, ординаты которой приведены в табл. 1;
погрешность калибровки фотоприемника по световой чувствительности должна быть в пределах ±5 %.
Погрешность калибровки фотоприемника для измерения энергетической освещенности должна быть в пределах ±18 %.
Таблица 1
Относительная видность излучения для стандартного фотометрического
наблюдателя МКО
Л, нм
Допускаемое
отклонение, %
Л, нм
Допускаемое
отклонение, %
380 390 400
410 420
430 440
450 460 470 48'0 490