Устанавливают два значения параметров облучения фоточувст­вительного прибора или его части в соответствии с ТУ на приборы конкретных типов и измеряют для них выходные сигналы прибора по разд. 2. Допускается в качестве наименьшего принимать нуле­вые значения параметров облучения.

  1. Обработка результатов

И

    нтегральную чувствительность (Sc/ ) вычисляют по одной из формул в соответствии с требованиями, установленными в ТУ на приборы конкретных типов

    Su= рСг , В/лк;

    Г1 £ 2

    Sv- , В/(Вт.м-2);

    ехьс2

    Sy= > В/(лК'С);

    Su= , В/(Дж • м-2);

    Єі е8

    где Ucl, Uc2 напряжение выходного сигнала, В;

    £ь £2 — освещенность фоточувствительного поля прибора, лк;

    Ее1> — энергетическая освещенность фоточувствительного

    поля прибора, Вт-м-2;

    Hi, Н2 световая экспозиция фоточувствительного поля прибора, лк-с;



    ЯЄі, Не2 энергетическая экспозиция фоточувствительного поля прибора, Дж-M-2.

    1. Показатели точности измерений

    Погрешность определения интегральной чувствительности на­ходится в интервале ±13 % с установленной вероятностью Р = 0,95.

    Закон распределения погрешности — нормальный.

    1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ СРЕДНЕГО КВАДРАТИЧЕСКОГО ЗНАЧЕНИЯ

    НАПРЯЖЕНИЯ ШУМА И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИНАМИЧЕСКОГО

    ДИАПАЗОНА

    1. Принцип, условия и режим измерений

      1. Метод измерения шумов основан на измерении темновых сигналов фоточувствительных элементов прибора за два цикла счи­тывания сигналов не менее чем со 128 фоточувствительных элемен­тов прибора или за 128 считываний с одного фоточувствительного элемента прибора.

    Определение динамического диапазона основано на сравнении напряжения насыщения и среднего квадратического напряжения шума.

      1. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

    1. Аппаратура — по разд. 1.

    2. Подготовка и проведение измерений

      1. Измеряют напряжение насыщения по разд. 3.

      2. Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеря­ют темновой сигнал от отдельных фоточувствительных элементов для двух циклов считывания или от одного фоточувствительного элемента по разд. 5.

    3. Обработка результатов

      1. Среднее квадратическое напряжение шумов (о{/ш ) в вольтах для двух циклов считывания вычисляют по формуле


    (21)



    где Ui напряжение выходного сигнала 1-го фоточувствительно­го элемента, полученное при измерении для первого счи­тывания, В;

    Ui напряжение выходного сигнала 1-го фоточувствительно­го элемента, полученное при измерении для второго считывания, В;

    N число фоточувствительных элементов, по которым про­изводится усреднение сигнала.

    Среднее квадратическое напряжение шумов (о[/ш ) ввольтах для считывания сигнала от одного фоточувствительного

    элемента вычисляют по



    (21а)


    ормуле


    где Ui напряжение выходного сигнала z-го фоточувствительно­го элемента, В;

    N число считываний сигнала одного фоточувствительного

    элемента.

    1. Динамический диапазон (Д) в относительных единицах



    в

    б^нас

    ычисляют по формуле

    (22)

    где (/нас — напряжение насыщения, В.

    1. Показатели точности измерений

      1. Погрешность измерения среднего квадратического на­пряжения шумов находится в интервале ±6 %.

      2. Погрешность измерения динамического диапазона нахо­дится в интервале ±12 %.

      3. Установленная вероятность для погрешностей Р=0,95.

    Закон распределения погрешностей — нормальный.

    1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОРОГОВОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ
      И ПОРОГОВОЙ экспозиции

      1. Принцип, условия и режим измерений

        1. Метод измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции основан на определении параметров облучения, при которых выходной сигнал равен среднему квадратическому напря­жению шума.

        2. Условия, режим измерений и требования безопасности— по разд. 1.

      2. Аппаратура — по разд. 1.

      3. Подготовка и проведение измерений

        1. Измеряют интегральную чувствительность прибора по разд. 10.

        2. Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеря­ют среднее квадратическое напряжение шумов по разд. 11.

      4. Обработка результатов

        1. Пороговую освещенность (Егор) в люксах вычисляют по

    ормуле

    (

    лор

    ?3)

    где аС/ш — среднее квадратическое напряжение шума, В

    ;



    Su интегральная чувствительность, В/лк.

    1. Пороговую энергетическую освещенность (£е пор) в люк­сах вычисляют по формуле

    1

    (24)

    7 __ ПІДч

    пср“ С J

    где — среднее квадратическое напряжение шума, В;

    Su интегральная чувствительность, В/(Вт*м-2).

    1. Пороговую экспозицию пор ) в люксах в секунду вы­числяют по формуле где gUiu среднее квадратическое напряжение шума, В;

    тт

    Пп°Р“ ~ Sy

    где oUUi среднее квадратическое напряжение шума, В;
    Sy интегральная чувствительность, В/(лк*с).

    12,4.4. Пороговую энергетическую экспозицию (Яе пор ) лях на квадратный метр вычисляют по формуле

    гг г . оL7m

    е.пср С >


    (25)


    джоу-


    (26)



    Su интегральная чувствительность, В/(Дж«м“2).

    1. По казатели точности измерений

    Погрешность измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции находится в интервале ±16 % с установленной вероят­ностью Р=0,95.

    Закон распределения погрешности — нормальный.

    13 МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА УТЕЧКИ МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ

    Настоящий раздел устанавливает два метода измерения тока утечки между электродами:

    метод измерения измерителем параметров полупроводниковых приборов;

    метод измерения микроамперметром.

    1. Метод измерения измерителем парамет­ров полупроводниковых приборов

      1. Принцип, условия и режим измерений

        1. Метод измерений состоит в прямом измерении тока между одиночным электродом и группой электродов, группами электродов, одиночными электродами при заданном напряжении между ними в статическом режиме работы прибора.

        2. Номера выводов прибора, между которыми измеряют ток утечки, полярность и разность потенциалов между электродами должны соответствовать требованиям ТУ на конкретные типы при­боров или технических инструкций (ТИ) для измерения статичес-

    ких параметров приборов. Пример записи в ТУ или в ТИ приведен в приложении 4.

      1. Условия, режим измерений и требования безопасности— по разд. 1.

    1. Аппаратура

      1. Ток утечки между электродами измеряют по одной из структурных схем, приведенных на черт. 5.

    I — прибор; 2 — измеритель пара­метров полупроводниковых приборов;

    3 — ЭВМ; 4 — цифропечатающее уст­ройство (ЦПУ)


    1 — прибор; 2 — коммутирующее устройство;

    3 - ■ измеритель статических параметров полупровод­никовых приборов; 4 — ГІПУ: 5 — ЭВМ




    Черт, 5

    1. Измеритель статических параметров приборов типа из­делия ХШМ 1.149.002.

    2. ЭВМ — любой тип управляющих ЭВМ, например ВУМС, ДВК с устройством управления внешних приборов.

    3. ЦПУ — любое цифропечатающее устройство типа «Ro- botron», Consul».

    4. Коммутирующее устройство должно обеспечивать под­ключение выводов прибора к измерителю параметров полупровод­никовых приборов в заданном порядке, а при использовании ЭВМ

    — в соответствии с установленной программой.

      1. Измеритель параметров полупроводниковых приборов обеспечивает подачу на электроды прибора постоянного напряже­ния положительной или отрицательной полярности в диапазоне от 0 до 30 В с погрешностью не более 5 % в ручном и автоматичес­ком режимах с индикацией результатов измерений на табло или с помощью ЦПУ.

    1. Подготовка и проведение измерений

    Выводы прибора, указанные в ТУ, ТИ через коммутирующее устройство последовательно вручную или автоматически подключа­ют к измерителю параметров полупроводниковых приборов, подают на них напряжение, указанное в ТУ, и измеряют ток утечки, кото-

    рый фиксирует на табло измерителя параметров полупроводнико­

    вых приборов или с помощью ЦПУ.

    1. Показатели точности измерений

    Относительная погрешность измерения токов утечки между электродами с установленной вероятностью Р = 0,95 находится в интервале ±15%.

    Закон распределения погрешности — нормальный.

    1. Метод измерения микроамперметром

      1. Принцип, условия и режим измерений —по п. 13.1.L

      2. Аппаратура

        1. Принципиальная схема включения приборов для изме­рения тока утечки между электродами приведена на черт. 6.

    А7 (I7), X? (К) — выводы для подключения прибора; R1 ограничительный резистор; РА — микроамперметр; PV вольтметр; ХЗ (G), Х4 (G) — выводы для подключения ис­точника питания



    Черт. 6

    1. Ограничительный резистор МЛТ-0,5—24 кОм±Ю°/о ОЖО.467.107 ТУ, если другой не указан в ТУ на конкретный тип прибора.

    2. Класс точности измерительных приборов с учетом до­бавочных и шунтирующих сопротивлений не должен быть ниже:

    1,5 — для вольтметров и микроамперметров;

    4,0 — для микроамперметров, измеряющих токи менее 10 мкА.

    Стрелочные электроизмерительные приборы должны обеспечи­вать измерение тока (напряжения) в последних 2/з шкалы.

    1. Подготовка и проведение измерений

      1. На электродах прибора, между которыми измеряют ток утечки, создают разность потенциалов и контролируют ее вольтметром или по шкале источника калиброванных напряжений.

    При подаче разности потенциалов от калиброванного источни­ка питания контроль вольтметром исключают.

      1. Ток утечки между электродами измеряют микроампер­метром.

    1. Показатели точности измерений — по п. 13.1.4.ПРИЛОЖЕНИЕ 1

    Обязательное

    МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОСВЕЩЕННОСТИ,
    ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ, НЕРАВНОМЕРНОСТИ
    ОСВЕЩЕННОСТИ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ
    ОСВЕЩЕННОСТИ

    1. Принцип измерений

      1. Определение освещенности, создаваемой осветителем и оптической сис­темой в плоскости фотометрирования основано на измерении фототока фотопри- >емника, проградуированного в световых единицах, входное окно которого рас­положено в фотометрируемой плоскости перпендикулярно направлению потока излучения.

      2. Для оптических систем, имеющих нулевую оптическую плотность, осве­щенность может быть рассчитана на известной силе света осветителя.

      3. Определение энергетической освещенности основано на измерении фото-

    £

    тока

    at

    отоприемника, проградуированного в энергетических единицах, или на со­поставлении лучистого и светового потоков излучения в плоскости фотометриро-

    вания.

    1. Определение неравномерности освещенности и энергетической освещен­

    ности в плоскости фотометрирования основано на сравнении выходных сигналов

    отоприемника, располагаемого в различных участках рабочего поля в плоскости

    фотометрирования.

    1. Аппаратура

      1. Определение освещенности, энергетической освещенности и неравномер­ности освещенности и энергетической освещенности проводят на установке, струк­турная схема которой приведена на черт. 7.


    1 — оптическая система с набором диаф­рагм; 2 — фотоприемник; 3 — измеритель фототока фотоприемника


    Черт. 7

    1. Оптическая система должна удовлетворять требованиям п. 1.2 настоя­щего стандарта.

    2. Фотоприемник для измерения освещенности должен удовлетворять сле­дующим требованиям:

    относительная спектральная характеристика чувствительности должна соот­ветствовать кривой относительной видности излучения для стандартного фото­метрического наблюдателя МКО, ординаты которой приведены в табл. 1;

    погрешность калибровки фотоприемника по световой чувствительности долж­на быть в пределах ±5 %.

    Погрешность калибровки фотоприемника для измерения энергетической освещенности должна быть в пределах ±18 %.

      Таблица 1

      Относительная видность излучения для стандартного фотометрического

      наблюдателя МКО

      Л, нм



      Допускаемое
      отклонение, %


      Л, нм


      Допускаемое
      отклонение, %


      380 390 400

      410 420

      430 440

      450 460 470 48'0 490