---

УДК 669.782:543.06:006.354 Группа В5Ў

ДИХЛОРСИЛАН

Методы определения примесей

Dichlorsilane. Melthods of impurities
determination

гост

26239.4-84

ОКСТУ 1709

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. Nt 2490 срок действия установлен

с 01.01.86

до 01.01.91

Несоблюдение стандарта преследуется по закону

Настоящий стандарт устанавливает

ва

метода определения

примесей в дихлорсилане: химико-спектральный метод с возбужде­

нием спектров дугой постоянного тока и химико-спектральный с воз­

буждением спектров разрядом с горячим полым катодом.

Интервалы определяемых значений массовых долей примесей, длины волн аналитических линий приведены в табл. 1.

Таблица 1

Интервалы значений определяемой массовой доли, %

Длина волны,
нм

Примесь

Химико-спектральный метод
с возбуждением спект-
ров дугой постоянного
тока

Химико-спектральный метод
с возбуждением спектров
разрядом с горячим полым
катодо

м

Алюминий

Бор Висмут Галлий

Железо

308,2

249,7

306,8

287,4

302,1

5.10-в — 1-10—⁴ 2-10—^в — 2-Ю-⁴ 1-Ю-» —5-Ю-⁵ Ы О-⁶ — 5-Ю'⁵ 5-Ю-⁶—1-Ю-⁴

5-Ю-⁷ — 1-Ю-⁵

1-10-7— 140-S

5-Ю-⁸—1-Ю-⁸ 5-10—⁷ — 1-Ю^-5

Издание официальное

По

впечатка воспрещена

Продолжение табл, 1

Интервалы значений определяемой массовой доли, %

Длина волны,
нм

Химико-спектральный метод
с возбуждением спектров
дугой постоянного
тока

Химико-спектральный метод
с возбуждением спектров
разрядом с горячим
полым катодом

Примесь

Индий Кобальт Медь Магний

Марганец Никель Олово Серебро Свинец Титан Хром Цинк

325,6

345,4

324,8

280,3

278,3

279,8

305,1

284,0

328,1

283,3

308,8

283,6

334,5

МО-⁶ — 5-Ю-⁵ 1-Ю-⁶ —140~⁴

МО-⁷ — 1-10—⁵ 5-Ю-⁶—1-Ю-⁴

МО-⁷— 1-Ю-⁵ 1-ю-⁶—МО-⁴ МО-⁶ —540~⁵ МО-⁷—ЫО“⁵

МО-⁶ —5-ю-⁵ МО-⁶—МО-⁴ МО-6 — мо-4 2-Ю-⁵ —2-Ю-³

540-⁸ — 5-Ю-⁶ 540^-8 —540"⁶ 240-⁸— МО-⁶

5-Ю-⁷— МО-⁵ МО—⁸ — 140—⁶ 540—⁸ —540—⁶

МО-⁷— 140-⁵

М0-⁹~ МО-⁷ 540—⁸ — 140—⁶ МО-⁶ — мо-⁵ МО-⁷ — 140—⁵ МО-⁷ — МО-⁵

1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

   1. Общие требования к методам анализа — по ГОСТ 26239.0—84.

2. ХИМИКО-СПЕКТРАЛЬНЫЙ МЕТОД С ВОЗБУЖДЕНИЕМ СПЕКТРОВ

УГОЙ ПОСТОЯННОГО ТОКА

Метод основан на возбуждении дугой постоянного тока спект­ра концентрата примесей, полученного отгонкой основы в виде тет­рафторида кремния, фотографической регистрации спектров проб и образцов сравнения и определений массовой доли примесей по градуировочным графикам.

Спектрограф кварцевый типа ИСП-30 с однолинзовой системой

освещения.

Генератор дуговой типа ДГ-2, приспособленный для поджига

д

Выпрямитель 250—300 В, 30—50 А.

уги постоянного тока высокочастотным разрядом.

Микрофотометр нерегистрирующий типа МФ-2.

Угли фасонные (черт. 1). Весы аналитические.

Весы торсионные.

Лампа по ГОСТ 13874—83, ИКЗ 220—250.

Бокс настольный типа 9БП-1-ОС.

Ступка и пестик из органического стекла

.

Цилиндры фторопластовые с крышками вместимостью до 50 см

Фотопластинки спектрографические типа II, размером 9X12 см^г или аналогичные, обеспечивающие нормальные почернения фона и аналитических линий в спектре.

Пипетки полипропиленовые вместимостью 2; 5 и 10 см³ фирмы Cortell.

Проявитель и 10691.14-84.

иксаж готовят по

ГОСТ 10691.0-84—ГОСТ

Черт. 2

Поглотитель

/—полиэтиленовая банка ВЦ-100; 2—ци­линдр из фторопласта

Черт. I

С

технический по

ГОСТ

пирт этиловый ректификованный 18300—72.

Поглотитель (черт. 2).

Электроды для анализа в дуге
постоянного тока

Пипетки по ГОСТ 20292—74 типа 6—1—10; 4—1 — 1; 8—2—0,1.

Кислота фтористоводородная, ОС. Ч. 27—5.

Д(—) маннит по ГОСТ 8321—74, дополнительно перекристал­лизованный.

Кислота борная, ОС.Ч. 14—3.

Кислота азотная по ГОСТ 11125—78, ОС.Ч. 21—5.

Вода деионизованная марки А.

Порошок графитовый ОС. Ч. 8—4 по ГОСТ 23463—79.

I '*

гНатрий хлористый, ОС. Ч. 6—4.

Алюминий первичный по ГОСТ 11069—74 марки А 99.

Висмут по ГОСТ 10928—75 или марки ВиО.

Галлий 99,999 или более высокой чистоты.

Железо, полученное карбонильным способом, ОС. Ч. 6—2.

Индий по ГОСТ 10297—75 марки Ин2 или более высокой чис­тоты.

Магний первичный по ГОСТ 804—72 марки МГ-90 или более высокой.

Кобальт по ГОСТ 123—78 марки К-1 или более высокой.

Марганец металлический по ГОСТ 6008—75 марки Мр 0 или Мр 00.

Медь по ГОСТ 859—78 не ниже марки М-1.

Олово по ГОСТ 860—75 не ниже марки 01.

Никель по ГОСТ 849—70 не ниже марки Н-2.

Свинец по ГОСТ 3778—77 не ниже марки С-3.

Серебро по ГОСТ 6836—80 марки Ср999,0 или Ср999,9 или азотнокислое серебро по ГОСТ 1277—75, ч.

Титан губчатый по ГОСТ 17746—79 марки ТГ—90 или ТГ—90А.

Хром по ГОСТ 5905—79 марок Х99А или А99Б.

Цинк по ГОСТ 3640—79 марки Ц1.

Основные растворы сравнения, содержащие по 10 мг/см³ опре­деляемых элементов (алюминия, висмута, галлия, железа, индия,, кобальта, меди, магния, марганца, никеля, олова, серебра, свинца,, титана, хрома, цинка) готовят следующим образом:

по 1 г металлов висмута, меди, свинца, серебра растворяют в минимальном количестве азотной кислоты, растворы переводят в> мерные колбы вместимостью 100 см³, доводят до метки водой и перемешивают;

по 1 г металлов алюминия, галлия, железа, индия, кобальта, магния, марганца, никеля, олова, титана, хрома, цинка растворяют в минимальном количестве соляной кислоты, растворы переводят в мерные колбы вместимостью 100 см³, доводят до метки водой и пе­ремешивают.

Основной раствор сравнения, содержащий 1 мг/см³ бора: 0,571 г борной кислоты растворяют в небольшом количестве деионизован­ной воды, раствор переводят в мерную колбу вместимостью 100 см³, доводят до метки деионизованной водой и перемешивают.

Раствор, содержащий 10 мг хлористого натрия в 1 см³: 1000 мг хлористого натрия растворяют в небольшом количестве деионизо­ванной воды, раствор переносят в мерную колбу вместимостью 100 см³, доводят до метки деионизованной водой и перемешивают.

10 мг хлористого натрия в 1 см³ деионизованной воды, перемеши­вают 15 мин и высушивают под инфракрасной лампой. Затем смесь еще раз перемешивают в течение 1,5 ч и хранят во фторопластовых цилиндрах с крышкой.

Основной образец сравнения (I ООС) с массовой долей алю­миния, железа, кобальта, магния, никеля, титана, хрома по 0,1 %, висмута, галлия, индия, олова, свинца по 0,05%, марганца, меди, серебра по 0,01 % и цинка 0,4 %: во фторопластовую чашку вмести­мостью 100 см³ помещают 9,862 г смеси графитового порошка, со­держащей 0,5 % хлористого натрия, приливают по 1 см³ головных

растворов сравнения алюминия, железа, кобальта, магния, никеля, титана, хрома, по 0,5 см³ головных растворов сравнения висмута, галлия, индия, олова, свинца, по 0,1 см³ головных растворов срав­нения марганца, меди, серебра и 4 см³ головного раствора сравне­ния цинка (каждый из этих растворов содержит 10 мг/см³ одного определяемого элемента).

Смесь высушивают и перемешивают в чашке, а затем в ступке из органического стекла в течение 3 ч. Полученную смесь подсуши­вают под инфракрасной лампой и помещают во фторопластовый цилиндр с крышкой.

Образцы сравнения для определения всех примесей, кроме бора, (ОС I—ОС VI) готовят разбавлением основного образца сравнения I ООС, а затем каждого последующего образца сравне­ния графитовым порошком с массовой долей хлористого натрия 0,5 %. Массовая доля каждой из определяемых примесей в образ­цах сравнения ОС I—ОС VI (в процентах, в расчете на содержание металлов в смеси металлов, углерода и хлористого натрия) и вводи­мые в смесь н'йвески графитового порошка с 0,5% хлористого нат­рия и навески разбавляемого образца, приведены в табл. 2.

Массовая доля элементов-примесей, %

Таблица 2

Масса навесок» г

Обозначе-
ние
образца
сравнения

Марганец»
медь,
серебро

Висмут»
галлий,
индий,
олово,
свинец

Алюминий,
железо,
кобальт,
магний,
никель,
титан,
хром

Графитового

Цинк

порошка,
содержащего

0,5 %

хлористого
натрия

Разбавляемого
образца (в скобках
указано его обозна-
чение)

ОС I

ОС II

ОС III

ОС IV ОС V ОС VI

ыо^-3 1-ю^-4

2,5-10-5

1 • 10-5 5-10~⁶ 1-Ю^-6

5-Ю^-3

1 • ю^-2

5-Ю ~⁴ 1-Ю"³

1,25-10“⁴

5-Ю^-5

2,5.10-5

5-Ю-⁶

2,5-10~⁴ 1-Ю^-4 5-Ю-⁵

ЫО^-5

4-Ю^-2 4-Ю^-3 1 • ю-³ 4-Ю^-4 2-10“⁴

4- IO^-5

1,800

1,800

1,500

1,200

1,000

1,600

0,200 (I ООС)

0.200 (ОС I)

0,500 (ЮС II)

0,800 (ОС III)

1,000 (ОС IV) 0,400 (ОС V)

Таблица 3-

Масса навесок, г

Обозначение
образца
сравнения

Массовая доля
бора, %

Графитового порошка, содержащего 0,5 % хлорис­

того натрия

разбавляемого образца
(в скобках указан номер)

БОС I БОС II БОС III БОС IV БОС V БОС VI

1-ю-² ыо-³ 2,540-⁴ ыо-⁴ 5-Ю-⁵ ЫО—⁵

1,800

1,800

1,500

1,200

1,000

1,600

0,200 (II ООС) 0,200 (БОС I)

0,500 (БОС II) 0,800 (БОС III)

1,000 (БОС IV) 0,400 ((БОС V)

Заполняют поглотитель (черт. 2) для отбора дихлорсилана. 50 см³ фтористоводородной кислоты (1:1), контрольный поглоти­тель 50 см³ деионизованной воды. При определении бора в раствор* фтористоводородной кислоты вносят 2 см³ 1 %-ного раствора манни­та. Взвешивают заполненные поглотители с погрешностью не бо­лее 0,01 г. Собирают систему для отбора дихлорсилана (черт. 3) и продувают ее аргоном. С помощью ротаметра и регулятора давле­ния устанавливают поток дихлорсилана, обеспечивающий погло­щение 5 г этого газа в течение 60 мин.

Схема установки для отбора аналитических

навесок дихлорсилана

1—стакан с водой, температура 15—25 °С; 2—баллон с ди- хлорсиланом; 5—вентиль, Аг—аргон для продувки, избыточ­ное давление 0,02 кПа; 4—регулятор давления; 5—ротаметр;