---

^хВЫХ ОП ¹Э * вх.оп

где Яр —высота элемента анализирующего растра;

^вых.ой— увеличение выходной оптики;

Г₃— электронное увеличение испытуемого ЭОП.

Полная высота щели (А) должна удовлетворять условию

Черт. 2

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Рекомендуемое

ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЕМЕНТАМ СХЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ

1. Длина элемента /_р анализирующего растра должна удовлетворять тре­бованию

/р $ *Я_ВЬ1Х10П ’ Я_э,

(7)

где б —ширина функции рассеяния линии ЭОП, приведенная к плоскости катода,, в пределах которой содержится не менее 99 % энергии све­тящейся щели;

_х оп — увеличение выходной оптики;

Гэ — электронно-оптическое увеличение ЭОП.

Значение б — функция рассеяния линии, в пределах которой

сосредоточе­

но R 100 %-ной энергии светящейся линии, определяется распределением энер­гии в изображении линии, выражаемая Гауссовской функцией

L(x)=e^4bl

(8)

где х — приведено к плоскости катода ЭОП. В этом случае

II.

Ab ²

С*

(9)

Интеграл в знаменателе формулы (9) равен V nb . Интеграл в числителе

1 ^Х—і*

ормулы (9) равен 2b V п Ф₀(х), где Ф₀(х)= .—- J е ²di — интеграл

V 2л о

вероятности.

Решая формулу (9), получим

/?-~2Ф₀(х).

(Ю)

Найдя по значению функции Фо (х) =-п^-значение

аргумента х (по табли­

цам интеграла вероятности), определяют (6) из соотношения

д=х2 У 2 Ь,

(Н)

где b — параметр, характеризующий степень размытия изображения точки ЭОП.

Параметр (й) может быть приблизительно определен по известному значе­нию предела разрешения ЭОП АГ_Пр

Ь²—

0,903А/_пр

5,75 —г—

⁷ ок

N²

¹ пр

(12)

где jV_np — предел разрешения ЭОП;

Г_э> Г_Ок — электронно-оптическое увеличение ЭОП и увеличение окуляра при измерении Nnp соогветственно.

Так например, если N_np — 30 мм-¹, Г_э =1, Г_Ок=’1^^х» то &=0,066 (по формуле 12) и 6=0,3' мм (по формуле 11).

2. Прозрачность светлых участков растра должна быть 0,05, плотность не­прозрачного слоя <3.

3. Линейное поле зрения (21/') выходного микрообъектива должно удов­летворять условию

21'>Кн²_р+/²_р ,

(13)

где /7р —высота элемента анализирующего растра;

/р — длина элемента анализирующего растра.

4. Световой диаметр коллектива (D_CB ) должен быть не менее линейного поля зрения выходного микрообъектива.

П_св= / я² +/²р.

(14)

ПЕРЕЧЕНЬ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ

Приемник излучения

Быстродействующий са­мопишущий прибор

Микроо бъективы

Окуляры Гюйгенса

Установка для измере­ний частотно-контрастных характеристик (ЧКХ) ЭОП

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Рекомендуемое

РЭУ—84 0P3.356.C44 ТУ чувствительность фо-

JL

токатода не менее 1'30 мкА/лм; анодная чувст­вительность не менее 100 А/лм; темновой ток

не более 34 О-⁸ А

— НЗІЭ8 ТУ 25—04—'23618—74 постоянные регист­рации: 0,02; 10,05 В/см; частотный диапазон 0—100 Гц

— по РМО 912—68 ОМ-Г2 увеличение 3,7Х

_г апер­тура 0,.Г1; М-42 увеличение ЮХ, апертура 0,2; ОМ-5 увеличение 10Х_> апертура 0,3; ОМ-27 увеличение 2!0Х, апертура 0,4; ОМ-16 увеличе­ние 40Х, апертура 0,95; ОХ-14 фокусное рас­стояние 13,9 мм

— АМ-6 увеличение 4-Х; АМ-11 увеличение 7Х

— К 08.421 ТУ диапазон пространственных час­тот миры от N^0_а06 до 2,0 мм-¹; длина из­меряемых ЭОП от 50 мм до 300 мм; ширина рабочей щели 0,1 мм; освещенность на входе испытуемого ЭОП от МО-⁴ лк до 52 лк.

ПРИЛОЖЕНИЕ 5

Обязательное

МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОПРАВОЧНОГО КОЭФФИЦИЕНТА К_п

Из теории спектров известно, что спектр сигнала на выходе системы I _w связан со спектром входного сигнала O_N соотношением

'°N » OS)

где 0^ —спектр сигнала на входе системы;

F_N—частотно-контрасти а я характеристика 'системы в целом.

На установке, функциональная схема которой показана на черт, 1, иэме-

ряемая величина представляет значение функции x_N на частоте #=#_к.
Значение функции на пространственной частоте N=N_K равно

'Тм'Твых »

^кАГ ^кN- К э

где Т bxv — коэффициент передачи контраста входной оптики; к

Т _N —коэффициент передачи контраста ЭОП; к

Т Bbixjv —коэффициент передачи контраста выходного блока, э

(16)

Значение

функции (Одг ) на пространственной частоте #_эг=ЛГ_к/Г

вы-

(17)

изме-

^ВЧ'

^BUXN %

(18)

Пользуясь формулами (16) и (18), можно получить искомое значение Т

N.

эоп

'"к

^BUX_W «З

"к

(19)

где

поправочный коэффициент (20) установки на

¹ВХ ’ ¹ВЫХ * N N к к э

ч астоте N к;

— поправка, учитывающая погрешность, вносимую щелью при отступлении

ее размера Д от величины, равной Д = (практически но внося­щей погрешность в метод измерения).

1. Методика определения К_пустановки для измерения ЭОП с Г_э>0,81

   1. Для определения Лп установки используют измерительные приборы и вспомогательные устройства, входящие в установку, функциональная схема ко* торой приведена на черт. 1.

   2. Входной блок с рабочей щелью (осветитель, входная оптика) и блок приемного устройства (анализирующий блок и регистрирующее устройство) сдвинуть навстречу друг другу до получения резкого изображения рабочей ще­ли в плоскости анализирующего растра.

   3. Измерения КПК установки провести в соответствии с пп. 3.5—3.7, а обработку результатов — в соответствии с разд. 4 настоящего стандарта.

Полученное значение

(21)

ВЫХ^у —N_K-

^T^^CJN

К

(22)

числяют по формуле

п і—JS 1

где Д — ширина щели, приведенная к плоскости катода ЭОП, мм {

ВХ.ОП' •

Следовательно, в соответствии с формулой (15), на частоте Л^Г=А^Г_К ряемое значение КПК равн

о

.где п — число измерений;

і — номер /измерения.

1.3. Поправочный коэффициент

•том расчета

Ом по формуле (17) и

К

Кп

рассчитывают по

формуле (20) с уче-

їй

по формуле (22),

1 — осветитель; 2 — диафрагма со щелью; 3 — входная оптика (микрообъектив в обратном ходе); 4 — выходной микрообъектив;

5 — выходной зрачок микрообъектива поз. 4 6 — анализирующий растр; 7 — коллектив; § — приемник излучения; 9 — регистри­рующее устройство; 10 — микроскоп; А — анализирующий блок

устЛ/ к

Черт. 3

2. Методика определения /С_п установки для измерения ЭОП с Г_д<0,8

£.1. Для случая, когда электронно-оптическое увеличение испытуемого из­делия Г_э <0,8, при измерении КПК ЭОП блок осветителя будет работать на

Wk

частотах W_K, а приемный блок — на частотах Л^г_э=^-г^_~ ■

²э

с

В этом ветителя и

лучае необходимо провести раздельные измерения КПК блока ос- приемного блока, а поправочный коэффициент определять по фор-

м

(23)

у ле

Кп=К„,К_П2,

где К_п = = поправочный коэффициент 'Осветителя с рабочей

1. ^T

   ^{к к}

   ^Ї

   ^{— поправочный коэффициент приемного блока.}

   проводят поэтапно.

   bxn ° к щелью;

__ 1

Т ВЫХд,

ВЫХ.ОП

где Р pm in “ минимальный период растра анализирующего узла; ^вых.оп—увеличение оптики анализирующего блока.

^П

^{менее 9 раз.}

^груп­

^{пы растра по формуле}

^{вых., N}

^ВЫХ..

^V

^п

⁽²⁴⁾

^э

^{вычислить по формуле}

^вых..

^Ыэ

(25)

где "э

5ІП(Л/_э-Д_всп-л)

—ту—г —значение функции О^для ■

’^ВСП ‘ Л

всп *

вспомогательной

щели

_п в ыч и сля юте я спотів етственн о п₂

ВЫХдг

Э

П1 р
^yCTW

(26)

где Т выхд.

УСТуу

— рассчитывают по формуле

э

— рассчитывают по формуле

— рассчитывают по формуле

к

(25);

(П);

(22).

г * выхд,
э

г

(27)

де T_3VlxN —рассчитано по э