^эг (15)
Вычисляют среднее значение рабочего поля экрана по формуле
<16>
Определяют среднеквадратическое отклонение результата 5 измерений рабочего поля экрана по формуле
і/ S (d3-d3ir
s*== V — <і7>
Границу погрешности результата измерения (без учета знака) вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть неисключенную систематическую погрешность микроскопа.
Измерение чувствительности пластин
Общие положения
Определяют чувствительность пластин развертки, а также затворных и компенсирующих пластин
.Аппаратура
Испытуемый времяанализирующий ЭОП подключают по схеме, приведенной на черт. 2, в которой вместо миры используют щель с параметрами, указанными в п. 3.6.2.1.
Проведение измерений
В центр фотокатода ЭОП проецируют изображение щели.
На исследуемые пластины подают парафазное напряжение, величину которого выбирают в соответствии с НТД на. ЭОП конкретного типа. При этом остальные пластины заземляют.
Отклонение изображения щели на экране ЭОП измеряют микроскопом 5 раз.
Обработка результатов
Чувствительность исследуемых пластин для 4-го измерения рассчитывают по формуле
h‘ = idfer ■ (|8>
где I, — отклонение на экране, мм;
U; U2i—напряжение на 1 и 2-й отклоняющих пластинах, соответственно, В.
По результатам измерений определяют среднее значение чувствительности пластин
1 5
h = 4- s (19>
и находят среднеквадратическое отклонение результата 5 измерений чувствительности пластин по формуле
Т) (20>
Границу погрешности результата измерения (без учетам знака) вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть неисключенные систематические погрешности микроскопа и вольтметра.
И з м е р е н и е затворного напряжения
Аппаратура
Испытуемый времяанализирующий ЭОП подключают по схеме, приведенной на черт. 2, в которой вместо миры используют щель с параметрами, указанными в п. 3.6.2.1.
Проведение измерений
В
ли.
центр фотокатода ЭОП проецируют изображение щеНа вводы затворных пластин подают парафазное напряжение от источника, указанного в НТД на ЭОП конкретного типа.Изменяют напряжение на затворных пластинах до значения (7затв, В, при котором изображение, проецируемое на фотокатод, не просматривается на экране, а дополнительные фоновые засветки отсутствуют во всем диапазоне отклоняющих напряжений.
Измерение [7затв , соответствующего исчезновению изображения, повторяют 5 раз.
Обработка результатов
По результатам измерений определяют среднее значение затворного напряжения и среднеквадратическое отклонение результата измерения затворного напряжения по формуле
1 *
^arB=-§-g](U
ЗЯТЯ
(21)
Г 5
"■ / S [^затв (ТСатв)х!2
Su = І/ .J. (22)
Границу погрешности результата измерения (без учета знака) вычисляют по формуле, аналогичной формуле (4), в которой необходимо учесть неисключенную систематическую погрешность вольтметра.
Измерение коэффициента преобразования
Аппаратура
Для измерения коэффициента преобразования в динамическом режиме — при подаче на вход ЭОП импульсных потоков излучения — следует применять измерительные приборы и вспомогательные устройства, входящие в установку, схема которой приведена на черт. 5; рекомендуемая аппаратура, входящая в схему, приведена в табл. 5.
Таблица 5
Наименование аппаратуры |
Нормат ив но-техническая характеристика |
Зидченпе |
Лазер |
См. справочное приложение 3 |
|
Делительная плас тина (типа БС-2) |
Толщина, мм Входит в комплект набора цветного оптического стекла по ТОСТ 941'1—75 |
2 |
Продолжение табл. 5
Наименование аппаратуры |
Норматисно-техническая характеристика |
Значение |
Нейтральные светофильтры |
См. справочное приложение 2 |
—. |
Пластина из молочного стекла (МО12) |
Толщина пластины, мм |
2—3 |
Калиброванная диафрагма |
Диаметр диафрагмы должен выбираться из расчета получения на экране ЭОП изображения диаметром не более, мм |
(5 ±0,1) |
Коллиматор |
См. табл. 4 |
|
Объектив |
См. табл. 3 |
— |
Измеритель энергии излучения .с выхода ЭОП (типа ФПМ-02) |
Нижний предел измерения, Дж, не более Диапазон энергий, Дж Длина волны, мкм Дополнительные данные в п. 3.9.2.3 |
5-Ю-7 540-9—0,5-10-э 0,53; 0,69; 1,06 |
Измеритель энергии лазерного излучения (типа ИКТ-1) |
Диапазон измерений, Дж Погрешность, %, не более Максимальная плотность энергии, Дж-см-2 Пределы измерения энергии, Дж Диапазон длин волн, мкм Средняя плотность энергии, Дж-см-2, не более Максимальная плотность энергии, Дж-см-2 |
0,05—150(1000) 10(25) 200 0,05—1000 0,4—4 75 200 |
Примечание. В случае применения других средств измерений их мет» рологические характеристики должны быть не хуже указанных в табл. 5.
ЭОП в статическом режиме настраивают в соответствии со схемой, приведенной на черт. 3.
Нейтральные светофильтры должны быть аттестованы на длине волны излучения лазера по коэффициенту пропускания. В установке должен использоваться набор нейтральных светофильтров, пропускание которых должно составлять геометрическую прогрессию со знаменателем 1,4—1,5. Минимальное пропускание должно быть не более 0,01.
Измеритель энергии излучения с выхода ЭОП должен быть откалиброван на длинах волн 1,06; 0,69 и 0,53 мкм, а также по источнику, спектр излучения которого приведен к спектру свечения люминофора выходного экрана ЭОП.
Подготовка к измерениям
Устанавливают диафрагму в фокальной плоскости коллиматора.
Устанавливают приемную поверхность измерителя энергии 9 (черт. 5, поз. I) в фокальную плоскость объектива 7 и защищают его от влияния подсветок (статических и динамических).
Схема установки для измерения коэффициента преобразования ЭОП в динамическом режиме
1—лазер; 2—делительная пластина; 3—нейтральный светофильтр; 4—пластина из молочного стекла; 5—калиброванная диафрагма; 6—коллиматор; 7—объектив; 8—ЭОП; 9—измеритель энергии излучения с выхода ЭОП; 10—измеритель энергии лазерного излучения (поз. I — в соответствии с п. 3.9.2.4. поз. II — в соответствии с
п. 3.9.3.4)
Черт. 5
Включают лазер, измеритель энергии 9 и измеритель энергии лазерного излучения 10.
Проведение измерений
Устанавливают нейтральные светофильтры 3 с такой плотностью, чтобы в соответствии с п. 3.9.2.2 получить уверенные показания измерителя энергии 9, и производят 15 пусков лазера, снимая показания измерителей энергии 9 и 10.
Устанавливают в измерительную установку ЭОП и подключают его к источникам питания.
Включают ЭОП и фокусируют изображение диафрагмы на экране ЭОП при помощи объектива 7. На экран наклеивают непрозрачную маску с отверстием, равным диаметру изображения .диафрагмы на экране. Отверстие маски совмещают с изображением диафрагмы. Вплотную к маске устанавливают приемный элемент измерителя энергии 9.
Устанавливают нейтральный светофильтр с плотностью, обеспечивающей отклонение индикаторного устройства измерителя энергии 9 на 2/3 шкалы при измерении на самом чувствительном диапазоне и производят 15 пусков лазера, регистрируя показания измерителей 9 п 10 (черт. 5 поз. II).
Обработка результатов
Для каждого из измерений, полученных при выполнении п. 3.8.2, определяют отношение энергии, зарегистрированной измерителем энергии 9, к энергии, зарегистрированной измерителем энергии 10
Кі= (безразмерный) , (23)
»*101
и усредняют полученные значения
к = 4- s (24>
По результатам измерений находят среднее значение указанного отношения энергии Ко при отсутствии светофильтров, ослабляющих лазерное излучение
К- , (25)
где ті — коэффициент пропускания светофильтров, установленных при измерении по п. 3.9.3.1, безразмерный.
Для каждого из измерений, полученных при выполнении требований п. 3.9.3.4, определяют искомый коэффициент преобразования по формуле
-= (оезразмерныи), (26)
*10« Квтсв' '
где тсв — коэффициент пропускания светофильтров при измерении по п. 3.9.3.4.
Результаты измерений усредняют
1 15
(27>
I 4
Границу погрешности результата измерения (без учета знака) вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть сумму среднеквадратических отклонений результатов измерений параметров К и q, а также неисключенные систематические погрешности измерителей энергии 9 и 10 и нейтральных светофильтров.
Измерение диапазона значений плотности энергии излучения на фотокатоде
Аппаратура
При измерении диапазона значений плотности энергии излучения используют аппаратуру и схему измерений, приведенные в пп. 3.9.1.1 и 3.9.1.2.
Подготовка к измерениям
Подготовку к измерениям производят аналогично п. 3.9.2.
Проведение измерений
Повторить операции по п. З.9.З.1.
Устанавливают в измерительную установку испытуемый ЭОП и подключают его к источникам питания.
Повторить операции по п. 3.8.3.3.
Устанавливают нейтральные светофильтры с минимальным коэффициентом пропускания, обеспечивающие отклонение индикаторного устройства измерителя энергии 9 на 1/з шкалы при измерении на самом чувствительном диапазоне и производят 15 пусков лазера, регистрируя показания измерителей 9 и 10. Величина падающей энергии, соответствующая такому отклонению, является минимальной энергией l^min .
Повторяют операции п. 3.10.3.4, последовательно увеличивая (с шагом 1,5 ч- 2) коэффициент пропускания нейтральных светофильтров.
Измерения прекращают, когда коэффициент преобразования составит 40ч-60 % от его величины при малых уровнях энергии.
Обработка результатов
Для каждого из измерений, полученных при выполнении требований пп. 3.10.3.4 и 3.10.3.5, определяют коэффициент преобразования по формуле (26). Результаты измерений усредняют в соответствии с формулой (27).
Строят црафик зависимости коэффициента преобразования от уровня энергии на входе и по нему определяют значение входной энергии в точке, где коэффициент преобразования составляет 90 % от максимального. Значение этой энергии является максимальной— И/тах.
Определяют значение максимальной плотности энергии на фотокатоде ЭОП по формуле
Н — ..^m-±X/004
> (26)
где — площадь изображения диафрагмы на фотокатоде ЭОП,
см2.
Определяют минимальную плотность энергии на фотокатоде ЭОП по формуле
(29)
Значение плотности энергии 1Г„рел, в 5 раз больше W'max, определяют как предельно допустимое значение плотности энергии излучения на фотокатоде.
Границу погрешности результата измерения (без учета знака) вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть сумму среднеквадратических отклонений результатов измерений параметров К и р (п. 3.9), а также неисключен- ные систематические погрешности измерителей энеіргйй 9 и 10 (черт. 5), нейтральных светофильтров.
Измерение временного разрешения
Общие положения
Временное разрешение ЭОП т измеряют методом регистрации на экране ЭОП двух последовательных сдвинутых во времени импульсов оптического излучения и определения контраста полученного изображения.
За временное разрешение принимают временной интервал т, равный интервалу между двумя последовательными импульсами одинаковой интенсивности, который регистрируют на экране ЭОП при контрасте изображения 0,05.
Контраст изображения на экране ЭОП двух близко расположенных импульсов определяют по формуле