---

(Измененная редакция, Изм. № 1).

6. 4. Дополнительная обработка порошков сплавов перед ис­пользованием не требуется. Допускается промывать порошок в чистом этиловом ректификованном спирте по ГОСТ 5962—67 с последующей сушкой по п. 6.3.

7. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

4

Гарантийный срок хранения резистивных кремниевых сплавов — 2 года со дня изготовления. >4

Физические и электрические параметры резистивных кремниевых сплавов

Значения параметров для сплавов марок

Наименование физических и электрических
параметров

PC-5406 PC-5402 PC-4800 PC-4400 PC-3710 РС-3001

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Справочное

PC-1714 РС-1004

Стр. 34 ГОСТ 22025—76

Объемные образцы

Температура плавления, °С

Плотность, г/см³

Удельное электрическое сопротивле­ние, '10^-4 Ом-см

Температурный коэффициент сопро­тивления в интервале температур 20—150°С, 10-⁴ град-¹

Пленки

Удельное поверхностное сопротив­ление, кОм/квадрат

Толщина, нм

Температурный коэффициент сопро­тивления в интервале температур от минус 60 до плюс П25°С, 10^-4 град^-1, не более

Допустимая мощность рассеяния, Вт/см², не более

Необратимое изменение сопротивле­ния после ІОООі ч работы под нагруз­кой постоянным током 1 Вт/см² при окружающей температуре 85°С, %, не более

1400±Г5

0,011 —0,50

35—60

1420±15

1550 ± її 5

1500± 15

30—35

15—4 8

35—4 5

30—50

1Е5О± 15

1350± 15

1570Ш15

10

138О±15

40—50

0,005—0,1
500-3000

30,-100

0,05—'2,00
15—300

20—100

30—50

3,0—50,0
30—200

45

0,5

Примечания:

1. Объемные образцы получены при выплавке резистивных кремниевых сплавов.

2. Параметры пленок получены при следующих технологических параметрах их получения методом взрывного ва- куумпотермического нанесения на установке типа УВН-)2М-2:

I

бстаточное давление в камере в процессе нанесения, Па, не более ......

испаритель . . . . ,

температура испарителя, °С . метод подачи порошка на

испаритель . . . . .

расстояние от испарителя до

подложки, мм

материалы подложки . . .

температура подложки, °С . контроль удельного поверх­

ностного сопротивления в процессе нанесения пленки .

термостабилизирующая обра­ботка напыленной пленки 4

7-Ю"³

вольфрамовая лента толщиной 0,2—0,3 мм 1850—1950

непрерывный с по­мощью вибропитателя

9

240 ситалл

3 00 ± 10

по образцовому со­противлению

выдержка в вакууме после нанесения плен­ки в течение 30 мин при температуре 360±10°С;

т

300'± 110

При изменении технологических процессов нанесения пленок

емпература подложки в , мо­мент напуска воздуха в ка­меру, °С

параметры пленок могут существенно, изменяться. Например, температурный коэффициент сопротивления пленок сплава РС-3710 может иметь положительную или отри­цательную величину, необратимые изменения поверхностного сопротивления могут быть уменьшены до 0,1—'0,01%

.

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Рекомендуемое

Область применения и методы нанесения резистивных кремниевых сплаво

Сплав марки

Область применения и методы нанесения

PC-5406

а

Для получения низкоомных резистивных слоев с широким диапазоном удельного сопротивления и положительным темпе­ратурным коэффициентом сопротивления порядка 10^-5 град^-1, обладающих коррозионной стойкостью и способностью к адге­зии, методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя

PC-54 0)2

Для получения низкоомных резистивных слоев с низким тем­пературном коэффициентом сопротивления .обладающих кор­розионной стойкостью и способностью к адгезии, методом взрывного испарения. Возможно получение низкоомных рези­стивных слоев с отрицательным коэффициентом сопротивления

PC-4800

PC-4400

PC-,3710

PC-3001

PC-1714

PC-.1004

Для получения резистивных промежуточных слоев, обла­дающих высокой износостойкостью, коррозионной стойкостью и способностью к адгезии, методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя ■ • • • .

Для получения резистивных слоев, обладающих высокой износостойкостью, коррозионной стойкостью и способностью к адгезии и стабильной работе в течение длительного времени при температуре до 400°С, методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя р

Для получения резистивных слоев тонкопленочных изделий электронной техники общего и частного назначения методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя

Для получения резистивных слоев прецизионных тонко­пленочных изделий электронной техники частного назначения методом испарения навесок порошка с вольфрамового испа­рителя

Для получения резистивных ^лоев тонкопленочных изде­лий электронной техники общего назначения методом испа­рения навесок порошка в сухом виде или спиртовой суспен­зии с вольфрамового испарителя на установке типа УВН-2М-2.

Для получения высокоомных резистивных слоев тонкопле­ночных микросхем частного назначения методом взрывного испарения с вольфрамового испарителя

. Примечание. Для получения резистивных и промежуточных слоев может быть использована в качестве испарителя углеграфитовая ткань, покры­тая пирографитом, но при этом свойства пленок будут несколько отличаться от указанных в справочном приложении 1. Применяемость свойств таких пле­нок должна определяться, потребителем. .

Изготовление резисторов возможно с помощью масочного метода и фото­литографии.Изменение № 2 ГОСТ 22025—76 кие условия

Утверждено и введено в действие СССР по стандартам от 11.06.87 №

Сплавы кремниевые резистивные. Техничес-

Постановлением Государственного комитета 1988

Дата введения 01.01.88

Заменить группу: Вб 1 на В56.

Пункты 4.1.2, 5.1, 5.6. Заменить ссылку: ГОСТ 10354?—73 на ГОСТ 10354—82. .

Пункт 4.2. Заменить ссылку: ГОСТ 3584—73 на ГОСТ 6613—86.

Пункт 4.4.1. Заменить слова: «стакан типа ВН 1Ю0 по ГОСТ 10394—72» на «стакан В-1—100ТС по ГОСТ 25336—82», «арт. 325 по ГОСТ 7138—73» на

«дрт. 324 по ГОСТ 7138—83».

Пункт 4.5.2, Заменить слова: «марганец сернокислый» на сернокислый 5_?водный», «кристаллический» на «10-водный». _;

«марганец (II)

Пункт 4.6>2. Заменить слова: «тигель фильтрующий типа 9775^69» на «тигель ТФ-10-ПОР-Ю ХС по ГОСТ 25336—82».

ТФ 10 по ГОСТ

Пункт 4.7.2. Исключить слово: «(пергидроль)»; заменить । ГОСТ 3773—79 на ГОСТ 3773—72, «по ГОСТ 58ЙЗ—71» на «ч.д.а.».

ссылку и слова:

Пункт 4.10.2. Исключить слово: «(персульфат)».

Пункт 4.11.2, Исключить слово: «(пергидроль)»; заменить слова: «натр ед- кий» на «натрия гидроокись».

Пункт 4.12.2L Заменить слова: «по ГОСТ 10816—64» на «ч.д.а.»,

(Продолжение см. с. 102)

Пункт 4.13.2. Заменить слова: «натрия гидрат окиси (натр едкий)» на «нат- рия гидроокись».

Пункт 4.14.2. Заменить слово: «чистый» на «и жидкий»:

после слов «слово гранулированное» дополнить словами: «по ТУ 6—09— —27*04—78». . (.

Пункт 4.Г5.2. после слов «силикагель» и «кислород газообразный» дополнить словами: «технический» (2 раза);

заменить ссылку: ГОСТ 13498—79 на ГОСТ 6563—-75. _

Пункт 4.16.5. Заменить ссылку: ГОСТ 10691.0—73 на ГОСТ 10691.0—84.

Пункт 4.18.2. Заменить слова: «стакан ВН-100 ТС по ГОСТ 10394—72» н^ «стакан В-1—100 ТС по ГОСТ 25336—82».

Пункт .5.1, Заменить слова: «По согласованию сторон» на «По требованию потребителей».

Пункт 5.5. Заменить ссылку: ГОСТ 7376—77 на ГОСТ 7376—84.

Пункт 5.6. Второй абзац дополнить ссылкой: «по ГОСТ 22638—77».

Пункт 5.9 исключить.

(ИУС № 9 1987 г.)