Вакуумная техника. Термины и определения

По ГОСТ 8.271—77

Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной ин­формации в форме, доступной для непо­средственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все элект­рические цепи, необходимые для работы вакуумметра

Часть измерительного блока вакууммет­ра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины

Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонен­тами газовой смеси

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности дав­лений давлением столба жидкости

Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых изме­ряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

vec unetube en U-ma- nometre

Ж Компрессионный вакуумметр

Kompressionsvakuum- meter

Compression gauge

Manometre a compression

Деформационный вакуумметр

Federelastisches Vaku- ummeter

Elastic element gauge

Manometre a deformation

Мембранный вакуумметр

Membranvakuummeter

Diaphragm gauge

Manometre a membrane

Грузопоршневый вакуумметр

Druckwaage

Pressure balance

Manometre a piston

Вязкостный вакуумметр

Reibungsvakuummeter

Viscosity gauge

Manometre a viscosite

Тепловой вакуумметр

Warmeleitungsvakuum- meter

Thermal conductivity gauge

Manometre a conduction thermique

Термопарный вакуумметр

Thermokreuz

Thermocouple gauge

Manometre a thermo­couple

Вакуумметр сопротивления

Thermistor-Vakuummeter

Thermistor gauge

Manometre a thermistance

идкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предвари­тельному сжатию

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости дефор­мации чувствительного элемента или раз­виваемой им силы от измеряемого дав­ления

Деформационный вакуумметр, в кото­ром чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании из­меряемого давления давлением, созда­ваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения

Вакуумметр полного давления, дейст­вие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от изме­ряемого давления

Вакуумметр полного давления, дейст­вие которого основано на зависимости теп­лопроводности разреженного газа от дав­ления

Тепловой вакуумметр, в котором ис­пользована зависимость эдс термопары от измеряемого давления

Тепловой вакуумметр, действие которо­го основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током эле­мента от давления газа

Термомолекулярный вакуум­метр

Molekularv’akuummeter

Thermo-molecular gauge

Manometre thermomolecu- laire

Ионизационный вакуумметр

lonisationsvakuummeter

Ionisation vacuum gauge

Manometre a ionisation

Радиоизотопный ионизацион­ный вакуумметр

lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahl- ungsquelle *

Radioactive ionization gauge

Manometre a source ra­dioactive

Магнитный электроразряд- ный вакуумметр

lonenzerstaubervakuum- meter

Sputter ion gauge

Manometre ionique a pul­verisation

Вакуумметр Пеннинга

Penningvakuummeter

Penning gauge

Manometre de Penning

Электронный ионизацион­ный вакуумметр

Elektronenionisations Vakuummeter

Electronic type ionization vacuum

Manometre a ionisation a faisceau electronique

Электронный ионизацион­ный вакуумметр с осевым коллектором

Elektronenionisations Vaku­ummeter mit Axialkollek- tor

Twin-wire oscillator gauge

M Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувстви­тельному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверх­ностей, имеющих различную температуру

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионно­го тока, образованного в газе в результа­те ионизации молекул разреженного га­за, от давления

Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников

Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном по­ле от измеряемого давления

Магнитный электроразрядный вакуум­метр, преобразователь которого имеет ра­мочный анод, расположенный между ка­тодными пластинами

Ионизационный вакуумметр, в преобра­зователе которого ионизация газа осуще­ствляется электронами, ускоряемыми элек­трическим полем

Электронный ионизационный вакуум­метр, в котором фоновое давление умень­шено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, по­мещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

anometre a electrons oscillants

Э Экстракторный вакуум­метр

lonisationsvakuummeter mit Extraktor—System

Extractor gauge

Manometre a extracteur

Электронный ионизацион­ный вакуумметр с магнит­ным полем

Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

Cold cathode magnetron gauge

Manometre magnetron a cathode froide

Индикатор с разрядной трубкой

Hochfrequenzvakuumpriifer

Discharge tube indicator

Tube'temoin

Вакуумметр парциального давления

Partialdruckv'akuummeter

Partial pressure vacuum gauge

Analyseur de pressions partielles

лектронный ионизационный вакуум­метр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тон­кой проволоки, находящейся на оси ано­да и выведенной из области ионизации

Электронный ионизационный вакуум­метр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический маг­нетрон, в котором магнитное поле исполь­зуется для удлинения траектории элект­ронов и увеличения числа образованных ионов

Прозрачная газоразрядная трубка, в ко­торой цвет и форма свечения разряда да­ют представление о роде и давлении газа

Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, вхо­дящих в газовую смесь, если из нее уда­лить остальные газы при условии сохра­нения первоначальных объема и темпера­туры.

Примечание. Обычно это масс- спектрометры, не имеющие собственной откачной системы

1 По ГОСТ 15624—75

07. Масс-спектрометр

D. Massenspektrometer

Mass spectrometer

Spectrometre de masse

ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ

П 108. Диапазон измерений

Mefibereich

Pressure range

Etendue de mesurage

о ГОСТ 16263—70.

Примечание. Для некоторых ти­пов вакуумметров этот диапазон зави­сит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота.

Термин

Определение

109. Чувствительность

D. Empfindlichkeit

Е. Sensitivity

F. Sensibilite

По ГОСТ 16263—70.

Примечание. Для некоторых ти­пов вакуумметров чувствительность за­висит от природы газа. В таких случа­ях должна быть указана чувствитель­ность для азота

110. Относительная чувстви­

тельность вакуумметра

Relative Vakuummeter- empfindlicnkeit

Relative sensitivity factor

Facteur de sensibilite relative

Отношение чувствительности вакууммет­ра для данного газа к чувствительности его для азота при 'том же давлении и идентичных условиях измерения

111. Приведенная чувствитель­

ность ионизационного ваку­умметра

Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuum- meters

Ionization gauge coefficient

Coefficient d’un manometre a ionisation

Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления

112. Эквивалентное азотное

давление

Stickstoffaquivalent- druck

Equivalent nitrogen pressu­re

Pression equivalente d’azote

Давление чистого азота, которое дава­ло бы показание вакуумметра, равное по­казанию, вызванному воздействующим на него газом

113. Фоновое давление вакуум­метра

Untergrunddruck

Background pressure

Pression residuelie

Условное давление чистого азота, соот­ветствующее такому же показанию иони­зационного вакуумметра, как при оста­точном токе, не зависящем от давления

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ/ ЯЗЫКЕ

Агрегат вакуумный 7

Баллон вакуумный уравнительный 22

Блок вакуумметра измерительный 83

Быстрота действия вакуумного насоса 71

Быстрота откачки 70

Вакуум 1

Вакуумметр 79

Вакуумметр абсолютный 80

Вакуумметр вязкостный 92

Вакуумметр грузопоршневой 91

Вакуумметр деформационный 89

Вакуумметр дифференциальный 81

Вакуумметр жидкостный 86

Вакуумметр ионизационный 97

Вакуумметр ионизационный радиоизотопный 98

Вакуумметр ионизационный электронный 101

Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем 104

Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллек­тором 102

Вакуумметр компрессионный 88

Вакуумметр магнитный электроразрядный 99

Вакуумметр мембранный 90

Вакуумметр парциального давления 106

Вакуумметр Пеннинга 100

Вакуумметр полного давления 86

Вакуумметр сопротивления 95

Вакуумметр тепловой 93

Вакуумметр термомолекулярный 96

Вакуумметр термопарный 94

Вакуумметр U-образный 87

Вакуумметр экстракторный 103

Ввод вакуумный 17

Давление вакуумметра фоновое 113

Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее 73

Давление вакуумного насоса предельное остаточное 75

Давление запуска вакуумного насоса наибольшее 72

Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее 74

Давление паров воды наибольшее допустимое 77

Давление эквивалентное азотное 112

Диапазон измерений 108

Затвор вакуумный 14

Индикатор с разрядной трубкой 105

Клапан вакуумный 13

Клапан вакуумный напускной 15

Крионасос вакуумный 65

Ловушка вакуумная 12

Ловушка вакуумная ионная 69

Ловушка вакуумная конденсационная 67

Ловушка вакуумная сорбционная 68

Масло вакуумное 4

Масс-спектрометр 107

Насос вакуумный 11

Насос вакуумный адсорбционный 58

Насос вакуумный бустерный 26

Насос вакуумный вращательный 35

Насос вакуумный газобалластный 33

Насос вакуумный газоперекачивающий 28

Насос вакуумный газоструйный 4g

Насос вакуумный газоулавливающий 56

Насос вакуумный геттерный 59

Насос вакуумный геттерный испарительный 60

Насос вакуумный геттерно-ионный 61

Насос вакуумный двухроторный 40

Насос вакуумный диффузионный 51

Насос вакуумный диффузионно-эжекторный 52

Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся 53

Насос вакуумный диффузионный фракционный 54

Насос вакуумный жидкостно-кольцевой 39

Насос вакуумный жидкостно-струйный 47

Насос вакуумный ионный 55

Насос вакуумный испарительно-ионный 62

Насос вакуумный кинетический 42

Насос вакуумный комбинированный 66

Насос вакуумный конденсационный 64

Насос вакуумный магнитный электроразрядный 63

Насос вакуумный механический 29

Насос вакуумный объемного действия 30

Насос вакуумный пароструйный 49

Насос вакуумный пластинчато-роторный 36

Насос вакуумный пластинчато-статорный 37

Насос вакуумный плунжерный 38

Насос вакуумный поршневой 31

Насос вакуумный предварительного разрежения 27

Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением 32

Насос вакуумный с сухим уплотнением 34

Насос вакуумный сорбционный 57

Насос вакуумный струйный 46

Насос вакуумный трохоидный 41

Насос вакуумный эжекторный 50

Насос высоковакуумный 24

Насос низковакуумный 23

Насос форвакуумный 25

Натекатель вакуумный 16

Преобразователь давления измерительный 82

Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая 76

Пост откачной 8

Система вакуумная 5

Сосуд откачиваемый вакуумный 9

Степень вакуума 3

Степень сжатия вакуумного насоса 78

Техника вакуумная 2

Трубопровод байпасный 20

Трубопровод вакуумный 18

Трубопровод форвакуумный 19

Турбонасос вакуумный 43

Турбонасос вакуумный осевой 44

Турбонасос вакуумный центробежный 45

Установка вакуумная 6

Устройство вакуумметра отсчетное 84

Устройство защитное вакуумное 21

Чувствительность 109

Чувствительность вакуумметра относительная Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная

Элемент вакуумной системы

110

111

10

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Absolutes Vakuummeter

80

Adsorptionspumpe

58

Anzeigegerat eines Vakuummeflgerates

84

Axialische Turbovakuumpumpe

44

Beluftungsvakuumventil

15

Betriebs und Anzeigegerat eines VakuummeBgerates

83

Boostervakuumpumpe

26

Dampfstrahlvakuumpumpe

49

Differenzdruckvakuummeter

81

Diffusionsjekterpumpe

52

Diffusionsvakuumpumpe

51

Drehkolbenvakuumpumpe

37

Drehschiebervakuumpumpe

36

Druckausgleichskolben

22

Druckmessunformer

82'

Druckwaage

91

Elektronenionisations Vakuummeter

101

Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor

102

Empfindlichkeit

Enddruck einer Vakuumpumpe

109

75

24 l 9

Endvakuumpumpe

Faile

1Z

Federelastisches Vakuummeter

89

Fliissigkeitsringvakuumpumpe

39

Flilssigkeitsstrahlvakuumpumpe

47

Fliissigkeitsvakuummeter

86

Fraktionierende Oldiffusionspumpe

54

Gasballastvakuurnpumpe

33

Gasbindende Vakuumpumpe

56

Gasstrahlvakuumpumpe

48

GastransferVakuumpumpe

28

Getftervakuumpumpe

59

Grobvakuumpumpe

23

Hochfrequenzvakuumpr iifer

105

Hubkolbenvakuumpumpe

31

lonengettervakuumpumpe

61

lonentransferpumpe

55

lonenverdampferv'akuumpumpe

62

lonenzerstauberpumpe

63

lonenzerstaubervakuummeter

99

Ionisations vakuummeter