---

_{, (10)}

где δ_d - погрешность измерения диаметра пучка лазерного излучения в процентах.

При этом границы интервала погрешности должны находиться в пределах ± 30 % (см. приложение 3).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Рекомендуемое

РЕКОМЕНДУЕМЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ

Ослабители

Отвердители

Примечание. Допускается применять другие средства измерения, метрологические характеристики которых соответствуют требованиям настоящего стандарта.

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Обязательное

МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА α

1. Схема расположения средств измерения и вспомогательных устройств и требования к ним должна соответствовать п. 1.1 настоящего стандарта.

2. При измерении коэффициента α должны быть использованы те же средства измерения и вспомогательные устройства, что и при измерении диаметра пучка методом калиброванных диафрагм.

3. Проводят 10 измерений по п. 1.1.2.5 настоящего стандарта. Результаты измерений заносят в таблицу.

4. Полученный коэффициент _{принимают за α и используют при расчете отношения γi по формуле (1) настоящего стандарта}

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Справочное

1. РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРА ПУЧКА ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

1.1. Погрешность измерения диаметра пучка лазерного излучения методом калиброванных диафрагм вычисляют по формулам:

- при использовании ответвителя

_{; (1)}

- при отсутствии ответвителя

_{, (2)}

где δ_си - погрешность средства измерения энергии (мощности) лазерного излучения (находится в пределах ± 18 %);

а - коэффициент, обусловленный исключением в процессе измерения систематической составляющей погрешности средства измерения энергии (мощности), так как при измерении z_i и z'_i используется один и тот же экземпляр средства измерения, относительная погрешность которого аддитивна (a £ 0,5);

δ_осл - погрешность, вносимая ослабителем (в пределах ± 5 %);

δ_отв - погрешность, вносимая ответвителем (в пределах ± 3 %);

δ_D1 - погрешность, обусловленная дифракцией лазерного излучения на краях диафрагмы (в пределах ± 5 %);

δ_D2 - погрешность измерения диаметра отверстия диафрагмы (в пределах ± 3 %);

δ_нд - погрешность, обусловленная смещением оси диаграммы направленности в плоскости диафрагмы в процессе измерения (в пределах ± 8 %);

σ_α - относительное среднее квадратическое отклонение определения α (в пределах ± 3 %), рассчитывается в соответствии с приложением 2;

δ_апр - погрешность аппроксимации при построении графической зависимости γ =f (D) (в пределах ± 3 %);

δ_нм - погрешность, обусловленная нестабильностью энергии (мощности) лазерного излучения (в пределах ±5 %);

К_си, К_осл, К_отв, К_D, К_апр, К_нм, К_нд - коэффициенты, зависящие от закона распределения соответствующих погрешностей измерения и установленной вероятности.

Закон распределения частных погрешностей - равномерный. Предельные значения коэффициентов К_си = К_осл = К_отв = К_н = К_{нд =} К_апр = К_нм = 1,73.

Закон распределения суммарной погрешности - нормальный, К = 1,96 при вероятности 0,95.

_%

_%

1.2. Погрешность измерения диаметра пучка лазерного излучения методом распределения плотности энергии (мощности) вычисляют по формуле

_{, (3)}

где δ_ОРПЭ(М) - погрешность измерения относительного распределения плотности энергии (мощности) лазерного излучения (в интервале ± 24 % с установленной вероятностью 0,95);

δ_апр - погрешность аппроксимации при построении зависимости γ = f(D) (в пределах ± 3 %);

К_апр, К_D, К_ОРПЭ(М) - коэффициенты, зависящие от закона распределения соответствующих погрешностей измерения и установленной вероятности.

В соответствии с ГОСТ 25917 закон распределения δ_ОПРЭ(М) - нормальный, К_ОРПЭ(М) = 1,96 для вероятности 0,95.

Закон распределения δ_d - нормальный, K_d = 1,96 для вероятности 0,95.

_;

δ_d = ± 25%

2. РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДИМОСТИ ПУЧКА ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

2.1. Погрешность измерения расходимости лазерного излучения методом фокального пятна вычисляют по формуле

_{, (4)}

где δ_d - погрешность измерения диаметра пучка лазерного излучения (в интервале ± 25 % с установленной вероятностью 0,95);

δ_опт - погрешность, вносимая аберрацией оптической системы (в пределах ± 5 %);

δ_F - погрешность определения фокусного расстояния оптической системы (в пределах ± 10 %);

_{, Kd, KF, Kопт - коэффициенты, зависящие от закона распределения соответствующих погрешностей измерения и установленной вероятности.}

Закон распределения _{и δd - нормальный, = Кd = 1,96 для вероятности 0,95.}

Закон распределения δ_F, δ_опт - равномерный, предельное значение К_F = K_опт = 1,73.

_;

_{± 27 %}

(Измененная редакция, Изм. № 1).

2.2. Погрешность измерения расходимости лазерного излучения методом двух сечений определяют по формуле

_{, (5)}

где δ₁ - погрешность измерения расстояния между сечениями (в пределах ± 1 %).

Вторым слагаемым в подкоренном выражении формулы (5) можно пренебречь, так как оно много меньше первого слагаемого. Учитывая, что K_Θ = K_d, получим

_.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Справочное

ОПИСАНИЕ АЛГОРИТМА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИАМЕТРА ПУЧКА МЕТОДОМ КАЛИБРОВАННЫХ ДИАФРАГМ И МЕТОДОМ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ЭНЕРГИИ (МОЩНОСТИ)

1. Блок-схема алгоритма приведена на чертеже.

В блоках 1-7 осуществляется ввод исходной информации.

При вводе исходных данных и при вычислениях необходимо учитывать, что структура матрицы может быть прямоугольной или радиальной.

В блоке 1 задают признак типа структуры матрицы (П). Ниже приведены формулы для прямоугольной структуры. В случае радиальной структуры все приведенные формулы следует преобразовать в полярные координаты (r_k, φ₁).

В блоках 8-9 вычисляют значения величин по формулам, приведенным в пп. 1.2.3.1-1.2.3.3 настоящего стандарта. Координаты энергетического центра (ЭЦ) вычисляют в относительных единицах:

_{, (1)}

_{. (2)}

При выполнении блоков 10-11 находят минимальный диаметр круга с центром в точке О и покрывающего площадь матрицы

_{, (3)}

где k₀ и l₀ - координаты наиболее удаленного от ЭЦ элемента матрицы.

Далее с помощью блоков 12-16 в цикле выполняют массив значений γ_i для различных D_i.

На основании полученных значений γ_i с помощью аппроксимации оценивают диаметр D_γ по заданному уровню γ (блоки 17, 18).

2. При обработке результатов измерений диаметра пучка методом калиброванных диафрагм используют тот же алгоритм, но пуск осуществляют с блока 21. Вычисление γ_i проводят в цикле с помощью блоков 23-26, 15, 16, 20. Далее оценивают D_γ (блоки 17 и 18).

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.01.84 № 361

3. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

5. ИЗДАНИЕ (декабрь 2001 г.) с Изменением № 1, утвержденным в ноябре 1987 г. (ИУС 2-88)

СОДЕРЖАНИЕ