Нормативні акти про охорону праці
ДНАОП 24.66-1.01-82
Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния)
Безкоштовно, без реєстрації
Нормативні акти про охорону праці
ДНАОП 24.66-1.01-82
Безкоштовно, без реєстрації
|
УТВЕРЖДЕНЫ Постановлением Госгортехнадзора СССР 26. 11. 82 №31 |
УТВЕРЖДЕНЫ Министерством цветной металлургии СССР 23. 09.82 №НЧ-13917/23 |
|
СОГЛАСОВАНЫ с Госстроем СССР 16.08.82 № АБ-4609-20/2 |
СОГЛАСОВАНЫ с ЦК профсоюза рабочих металлургической промышленности 11.05.82№02-ЛА-19 |
Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов
(германия и кремния)
МОСКВА
"МЕТАЛЛУРГИЯ" 1984
ПРЕДИСЛОВИЕ
Настоящие Правила разработаны Государственным ордена Октябрьской Революции научно-исследовательским и проектным институтом редкометаллической промышленности "Гиредмет".
Правила разработаны на основе опыта проектирования и эксплуатации предприятий по производству полупроводниковых материалов - германия и кремния. При разработке Правил учтены замечания и предложения предприятий и организаций Минцветмета СССР и органов гос -гортехнадзора.
В Правилах изложены требования по безопасности, специфичные для производств полупроводниковых материалов германия и кремния.
Глава 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
1.1. Настоящие правила распространяются на предприятия ( цехи , отделения) по производству полупроводниковых материалов ( германия и кремния). На указанные предприятия (цехи, отделения) распространяются также Общие Правила безопасности для предприятий и организаций металлургической промышленности. На цехи и отделения пред -приятии, где расположены взрыво-пожароопасные химические производства, кроме того, распространяются требования Правил безопасности во взрывоопасных и взрывопожароопасных химических и нефтехимических производствах.
1.2. Проектирование, строительство и реконструкция предприятий (цехов, отделений) по производству полупроводниковых материалов должны производиться в соответствии со строительными нормами и правилами, утвержденными Госстроем СССР, нормами технологического проектирования, согласованными с Госстроем СССР, и соответству-ющими государственными стандартами. Проекты должны быть утверждены в установленном порядке.
1.3. Вносить изменения в конструкцию основного оборудования или в технологические схемы без согласования с проектной организацией или заводом-изготовителем запрещается.
1.4. Порядок и сроки приведения действующих цехов и отделений в соответствие с требованиями настоящих Правил определяются руководителями предприятий по согласованию с местными органами госгор-технадзора и технической инспекцией труда.
1.5. Требования, содержащиеся в настоящих Правилах, не освобождают администрацию предприятий и организаций от принятия дополнительных мер по обеспечению безопасных и здоровых условий труда на производстве.
1.6. Все действующие производства предприятий по производству германия и кремния должны иметь следующие инструкции, утвержденные главным инженером предприятия:
а) технологические (рабочие инструкции);
б) по безопасности труда для рабочих каждой профессии;
в) по ремонту и очистке оборудования;
г) должностные инструкции для инженерно-технических работников.
1.7. Инструкции по безопасности труда должны быть разработаны с соблюдением требований технологических инструкций, настоящих Правил и с учетом требований производственной санитарии и соответствующих стандартов ССБТ.
1.8. В случае изменения технологических процессов или схем коммуникаций или применения новых видов оборудования до внедрения из -менений в производство в действующие инструкции должны быть внесены соответствующие коррективы, утвержденные главным инженером предприятия.
1.9. Для вводимых в действие новых производств научно-исследовательскими и проектными институтами или другими организациями , внедряющими эти производства, должны быть разработаны и утверждены главным инженером предприятия временные инструкции, обеспечи -веющие безопасное ведение технологических процессов и безопасную эксплуатацию оборудования.
1.10. Инструкции по безопасности труда должны пересматриваться не реже одного раза в три года. В случае возникновения аварий или травмирования работающих из-за несовершенства инструкций они должны быть пересмотрены в сроки, установленные комиссией, расследовавшей несчастный случай или аварию.
1.11. Инструкции по безопасности труда и рабочие инструкции должны находиться в комнате мастера соответствующего участка, а схемы коммуникаций вывешены на рабочих местах.
1.12. Рабочие и инженерно-технические работники, принимаемые в цехи (отделения) по производству кремния и германия, должны проходить предварительное, а работающие - периодическое медицинское освидетельствование в соответствии с Инструкцией по проведению обязательных предварительных при поступлении на работу и периодичес -ких медицинских осмотров трудящихся, утвержденной Министерством здравоохранения СССР.
1.13. Инженерно-технические работники и рабочие, поступающие на работу в цехи (отделения) по производству кремния и германия, а также командированные, учащиеся и студенты, прибывшие на производственное обучение или практику, должны пройти вводный инструктаж в в кабинете охраны труда или в специально оборудованном помещении по программе, разработаннбй с учетом требований стандартов ССБТ , а также всех особенностей производства и утвержденной главным инженером предприятия.
1.14. О проведении инструктажа должна быть сделана запись в журнале регистрации вводного инструктажа(личной карточке инструктажа). В журнале (карточке) должны расписываться лица, прошедшие инструктаж, и лицо, проводившее его.
1.15. Руководящие и инженерно-технические работники при поступлении на работу, связанную с проектированием, строительством (монтажом) и эксплуатацией цехов (отделений) по производству германия и кремния, должны перед допуском к самостоятельной работе сдать экзамен на знание настоящих Правил в объеме выполняемой ими работы.
1.16. Руководящие и инженерно-технические работники, ,связанные с эксплуатацией, кроме того, должны сдать экзамен на знание инструкций по безопасности труда, технологических и других инструкций относящихся к участкам их работы. Такие же экзамены инженерно -технические работники должны сдавать при переходе в цехе с одной работы на другую.
1.17. Периодичность и порядок проверки знания Правил и инструкций по безопасности труда руководящими и инженерно-техническими работниками должны соответствовать Положению о проверке знаний Правил, норм и инструкций по технике безопасности руководящими и инженерно-техническими работниками, утвержденному Минцветметом СССР.
1.18. Инженерно-технические работники, допустившие нарушение Правил или инструкций по безопасности труда, должны проходить внеочередную проверку знаний.
1.19. Все рабочие, вновь принятые в цехи (отделения) по произ -водству германия и кремния или переведенные из одного цеха в дру -гой, а также учащиеся и студенты, указанные в п. 1. 13 настоящих Правил, перед допуском к работе должны непосредственно на рабочем месте получить у мастера или начальника участка инструктаж по бе -зопасным методам работы.
1.20. Рабочие, не имеющие производственной специальности или меняющие свою специальность, а также учащиеся и студенты после прохождения первичного инструктажа на рабочем месте должны в те -чение первых 6 - 1О смен пройти обучение безопасным методам работы под руководством назначенных распоряжением по цеху опытных рабочих и инженерно-технических работников. Это обучение должно производиться по программам, утвержденным главным инженером пред -приятия.
По истечении срока обучения рабочие, студенты и учащиеся должны пройти проверку знаний в комиссии под председательством начальника цеха или его заместителя. Результаты проверки должны оформляться протоколом.
К самостоятельной работе указанные рабочие допускаются только после обучения их по специальности в соответствии с Положением о профессиональном обучении и повышении квалификации рабочих на про изводстве, разработанным и утвержденным Минцветметом СССР н а основе Типового положения о профессиональном обучении рабочих на производстве, утвержденного Госкомитетом СССР по труду и социальным вопросам, Госкомитетом СССР по профессионально-техническому образованию и ВЦСПС.
1.21. Рабочие, вновь принятые или переведенные из одного цеха в другой на работу по своей специальности, допускаются к самостоя -тельной работе после получения ими инструктажа и проверки знаний по безопасности труда в порядке, предусмотренном в п. 1.19 и 1.20 настоящих Правил.
1.22. Повышение производственной квалификации рабочих должно производиться в соответствии с Положением, указанным в п. 1.20 настоящих Правил.
1.23. Рабочие цехов (отделений) по производству кремния и германия должны не реже чем через каждые три месяца проходить повторный инструктаж по безопасности труда. Рабочие, совмещающие несколько профессий, проходят инструктаж по каждой профессии.
а) ввода в действие новых или переработанных в установленном порядке инструкций по безопасности труда:
б) нарушения рабочими инструкций по безопасности труда;
в) перевода на временную работу, требующую дополнительных знаний;
г) перерывов в работе более чем 30 календарных дней.
1.25. Данные о проведении инструктажей (первичного, повторного и внепланового) должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте (личную карточку инструктажа). В журнале (.карточке) расписываются рабочий, прошедший инструктаж, и лицо, проводившее его, с указанием наименования инструкции, по которой был проинструктирован рабочий.
1.26. Рабочие цехов (отделений) по производству германия и кремния должны не реже одного раза в год проходить проверку знания инструкций по безопасности труда в комиссиях, назначаемых главным инженером предприятия. Результаты проверки должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте (личную карточку инструктажа).
1.27. Если комиссия установит, что рабочий неудовлетворительно знает инструкции, он должен получить дополнительный инструктаж и не позднее чем через 20 дней пройти повторную проверку знаний. Если при повторной проверке знания проверяемого окажутся неудовлетво -рительными, он должен быть отстранен от работы по данной профессии.
|
1.28. Инженерно-технические работники и рабочие, связанные с эксплуатацией грузоподъемных машин, сосудов, работающих под давлением, и других объектов, подконтрольных органам госгортехнадзора, проходят обучение и допускаются к работе Тетрахлорсилан (тетрахлорид кремния, четы-реххлористый кремний) |
SiCI4 |
Подвижная бесцветная жидкость с едким запахом. Температура кипения 56,8°С. Температура плавления минус 68°С. Плотность при 20°С 1,48 г/см3. ПДК 1 мг/м3. Класс опасности 2. |
Биологическое действие такое же, как у три-хлорсилана, но негорюч; пары невзрывоопасны |
|
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
Полихлориды кремния ( полихлорсиланы ) |
Смесь соедине ний Si2 C16 , Si3Cl8.SuClio |
Жидкие, вязкие, смолооб-разные вещества, легко гидролизуютея с выделением хлористого водорода. Данных по ПДК и классу опасности нет |
При попадании на тело человека действуют, как хлорсиланы. Пирофорны. Продукты гидролиза взрывоопасны |
При попадании на кожу смыть обильной струей воды. Глаза промыть 3 %-ным раствором питьевой соды |
|
Водород |
Н2 |
Бесцветный газ без запаха, горюч. Плотность 0,09 г/л. Относительная плотность 0,07. Нижний предел взрываемости с воздухом 4,09 % (объемн.). Верхний предел взрываемости с воздухом 80 % (объемн.). Температура самовоспламенения в смеси с воздухом 45О°С и зависит от состава смеси |
Биологически инертен, но снижает содержание кислорода в воздухе и может вызвать удушье. Взрывоопасен в смеси с воздухом, кислородом или хлором |
|
|
Хлор |
С1 |
Газ желто-зеленого цвета с резким запахом. При нормальном давлении сжижается при минус 34°С и затвердевает при минус 101°С. Относительная плотность 2,49. ПДК 1 мг/м . Класс опасности 2 |
Токсичен. Образует взрывоопасные смеси с горючими газами |
При отравлении вывести пострадавшего на свежий воздух, промыть глаза, полость носа и рта 2 %-ным раствором питьевой соды. Вызвать врача. Марка противогаза БКФ |
|
Азот |
N2 |
Бесцветный газ без запаха. Температура кипения минус 196°С. Относительная плотность 0, 97 |
Биологическое действие такое же, как у водорода. Жидкий азот вызывает ожоги |
При ожоге жидким азотом обратиться к врачу |
|
Хлористый водород |
НCL |
Бесцветный газ с резким запахом. Относительная плотность 0.7. Температура плавления минус 112C. Температура кипения минус 85°С. ПДК 5 мг/м3. Класс опасности 2 |
Вызывает раздражение и химический ожог глаз, слизистых оболочек, тканей легких |
Вывести пострадавшего на свежий воздух, промыть глаза, полость рта и носа 2 %-ным раствором питьевой соды. Противогаз марки БКФ или В |
|
Соляная кислота |
Раствор НС 1 вводе |
Бесцветная или желтоватая жид-вость. Концентрированная кислота "дымит" на воздухе. Плотность 37 %-ной кислоты 1,19 г/см3. ПДК 5 мг/м . Класс опасности 2 |
Биологическое действие паров кислоты такое же, как у хлористого водорода. Попадание кислоты на кожу и в глаза вызывает химический ожог |
Смыть кислоту обильной струей воды, затем промыть кожу и глаза 2 %-ным раствором питьевой соды. Для защиты глаз и органов дыхания противогаз марки В или БКФ |
|
Плавиковая кислота |
Раствор HF - в воде |
Бесцветная жидкость. Плотность 40 %-ной кислоты 1,13 г/см3. |
Выделяющийся HF, помимо раздражающего действия (как НС1 ), обладает ток- |
То же |
Побачили розбіжність з офіційним текстом?