Страница 2: ПІ 1.4.32-185-2001. Примірна інструкція з охорони праці при обслуговуванні установок газотранспортного осаджування кремнію (33269)

• нижня - 12,0 % (по об'єму);
• верхня - 40,7 % (по об'єму).

Температурні межі розповсюдження полум'я від 30°С до 58°С.

При контакті трихлоретилену з лугами і нагріванні можливе утворення самозаймистого токсичного дихлорацетилену. При контакті з відкритим полум'ям до 1 КУС і на сонячному світлі - розкладається з утворенням дуже отруйного газу - фосгену. В присутності металів, смоляних та жирних кислот трихлоретилен може розкладатися з утворенням хлористого водню.

Пари трихлоретилену мають наркотичну і загальнотоксичну дію, становлять загрозу для нервової системи, органів дихання, серцево-судинної системи (особливо міокарду), очей, мають комулятивний ефект. При подовженій дії на шкіру трихлоретилен спричиняє ураження типу екземоподібних дерматитів і хімічних опіків з пухирцями, сухість, тріщини, втрату чутливості. В організм людини трихлоретилен може попасти інгаляційним шляхом, через шкіру, органи травлення.

Гранично допустима концентрація (ГДК) парів трихлоретилену у повітрі робочої зони виробничих приміщень-10 мг/м3, третій клас небезпеки~(ГОСТ 12.1.005-88).

1.11.10. Водень (Н2) - горючий газ без кольору та запаху (ГОСТ 3022-80).

Температура кипіння водню - мінус 252,8°С.

Густина газу- 0,09 кг/м3.

Відносна густина (за повітрям) - 0,07.

З повітрям і киснем водень утворює вибухонебезпечні суміші.

Межа вибуховості з повітрям - 4...75 % об,

з киснем - 4...73 % об.

1.11.11. Аргон (Аг) - безбарвний інертний газ без запаху (ТУ 6-21 -12-79, ГОСТ 10157-79).

Температура кипіння аргону - мінус 185,9°С.

Густина газу- 1,78 кг/м3.

Відносна густина (за повітрям) - 1,38.

Аргон - негорючий, вибухобезпечний та нетоксичний газ, але при накопичуванні у приміщенні спричиняє явища кисневої недостатності. При наявності в повітрі понад 25 % об'єму аргону можлива ядуха.

1.11.12 . Кисень (О2) - безбарвний газ без запаху га смаку (ГОСТ 5583-78).

Температура кипіння кисню - мінус 182,97°С.

Густина газу- 1,43 кг/м3.

Кисень не горить, але підтримує горіння. При контакті з маслами га жирами вибухає.

1.11.13.Азот (N2) - безбарвний газ без запаху та смаку(ГОСТ 9293-74).

Температура кипіння азоту - мінус 195,8°С. Густина газу- 1,25 кг/м3. Відносна густина (за повітрям) - 0,97.

Азот не отруйний газ, але при наявності його б повітрі понад 84 % спричиняє ядуху.

1.11.14.Оксид азоту(І) або закис азоту (N20) - безбарвний газ зіслабким приємним запахом і солодкуватим смаком.

Температура кипіння оксиду азоту(І) - мінус 88,5°С.

Густина газу- 1,98 кг/м3.

Відносна густина (за повітрям) - 1,45.

Закис азоту відноситься до негорючих речовин. Підтримує горіння. При температурі понад 500°С оксид азоту(І) розкладається з виділенням кисню і поводить себе як сильний окислювач.

Вдихання невеликої кількості оксиду азоту(І) приводить до притуплення больової чутливості, внаслідок чого цей газ іноді застосовують у суміші з киснем для наркозу. Висока концентрація оксиду азоту (І) спричиняє ядуху внаслідок витіснення повітря з легенів.

ГДК оксиду азоту(ї) в повітрі - 5 мг/м3. 3 клас небезпеки -(ГОСТ 12.1.005-88).

1. Всі приміщення, де проводяться роботи з отруйними та ви-бухо- пожежонебезпечними газовими сумішами, газами і рідинами повинні бути обладнані пристроями автоматичного виміру концентрації газів та сигналізації, які сповіщають про порушення приточно-витяжнсї вентиляційної системи, забезпечені засобами пожежогасіння, а також мати телефонний зв'язок з пожежною охороною та медпунктом.
2. Горючі гази, які є технологічними відходами, повинні проходити стадію доспалювання або розбавляння до концентрацій, які нижче вибухонебезпечої межі. Спалюючі пристрої (скрубери) під час роботи повинні зрошуватись водою та мати постійнодіючі запальники.
3. Скрубери повинні бути обладнані пристроями сигналізації, які сповіщають про припинення горіння запальника та зменшення витрати води для зрошування.
4. Скрубери повинні мати окрему витяжну вентиляцію.
5. Витяжні системи місцевих відсосів, які видаляють відпрацьовані технологічні гази, токсичні домішки продуктів згоряння і виключають попадання токсичних газів в атмосферу виробничих приміщень, повинні мати блокування з пусковими пристроями технологічного обладнання (установок) для того, щоб воно не могло працювати при непрацюючій витяжній системі місцевих відсосів.
7. Все електрообладнання має бути надійно заземлене.
8. Балони з отруйними та вибухонебезпечними газами повинні установлюватись у спеціальних шафах для балонів з постійно діючою витяжною вентиляцією. В шафі треба розміщати не більше одного балона з моносиланом або з газовими сумішами на його основі та не більше 4-х балонів із сумішами на основі інших гідридних газів. Шафа з балонами повинна бути забезпечена:

• триразовим обміном повітря;
• аварійною витяжною вентиляцією;
• кріпленням для балонів.

Аварійна вентиляція разом із системою основної вентиляції повинна забезпечувати щонайменше восьмиразовий обмін повітря.

1. Розміщення балонів із отруйними вибухонебезпечними газами усередині установок або поряд із ними безпосередньо в виробничих приміщеннях не дозволяється.
2. Використовувати балони з газами треба до залишкового тиску не меншого як 0,5 атм., щоб запобігти попаданню повітря в балон (крім балонів із дихлорсиланом).

Надлишковий тиск балонів з дихлорсиланом змінюється залежно від температури навколишнього середовища (від 0,3 кгс/см2 при 20°С до 1 кгс/см2 при 30°С) і не зменшується з використанням речовини.

1. Бокові штуцери вентилів балонів, які використовуються для отруйних та вибухонебезпечних газів та газових сумішей, повинні мати ліву нарізку різьби.
2. Згідно з Законом України "Про охорону праці" (далі Законом) ст. 49 особи, які не виконують вимог законодавчих та інших нормативних актів з охорони праці, залежно від характеру порушень притягаються до дисциплінарної, матеріальної, адміністративної та кримінальної відповідальності.

2. ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПЕРЕД ПОЧАТКОМ

РОБОТИ

1. Необхідно перевірити та надягти необхідні засоби індивідуального захисту.
2. Включити загальнообмінну вентиляцію та витяжну вентиляцію установок і скруберів за 30 хвилин до початку роботи.
3. Необхідно перевірити справність приладів і обладнання, його герметичність.

1. Зробити зовнішній огляд обладнання та впевнитись у відсутності видимих пошкоджень.
2. Необхідно перевірити роботу витяжної вентиляції установок і скруберів, наявність води для охолодження реакторів та зрошування скруберів.
3. Необхідно перевірити роботу пристроїв блокування та сигналізації.
4. Необхідно перевірити надійність признання балона з технологічним газом до газової системи установки.

1. Герметичність приєднання балона до газової системи перевірити шляхом обмилювання різьбових з'єднань балона з редукором і редукора з газовою системою 3...5% розчином мила.
2. Герметичність газової системи технологічної установки перевіриш шляхом опресування інертним газом.
3. Можливий витік сумішей моносилану, фосфіну, диборану, арсину визначати також шляхом обмилювання розчином мила.
4. Можливий витік хлористого водню та кремнію чотнри-хлористого визначати:

- за зміною жовтого кольору лакмусового папірця на рожевий;

-за появою білої хмаринки при змочуванні вірогідних місць витоку серветкою, змоченою розчином аміаку, або при обдуванні парамиаміаку.

2.3.4.5. Можливий витік аміаку визначається:

• за появою білої хмаринки при змочуванні вірогідних місць вірогідного витоку серветкою, змоченою концентрованою соляною кислотою;
• за знезабарвленням реактивного (хроматографічного) паперу, який просякнутий розчином роданіду заліза.

2.4.Необхідно перевірити:

• наявність та справність заземлення установки (установок);
• відсутність оголених дротів та відкритих струмовідних частин;
• наявність захисних обшивок установок;
• горіння в скруберах запальників;
• наявність технологічних газів;
• наявність засобів пожежогасіння;
• наявність медичної аптечки та засобів для надання першої долікарської допомоги;
• готовність обладнання до роботи, про що зробити відповідний запис у журналі підготовки обладнання.

1. Впевнитися в наявності та достатності освітлення на робочому місці.
2. Підготувати робоче місце, інструмент, оснастку, прилади.
3. В разі відсутності якогось із засобів індивідуального захисту, виявленні несправностей або інших недоліків на робочому місці сповістити керівника роботи (відповідального за проведення даної роботи). До роботи стати тільки після усунення всіх несправностей та недоліків.

3. ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПІД ЧАС ВИКОНАННЯ

РОБОТИ

3.1.Наладчики, що обслуговують установки газотранспортногоосаджування кремнію та його сполук, виконують такі роботи:

1)проводять підготовку обладнання для проведення технологічних процесів:

епітаксіального нарощування кремнію, осаджування полікристалічного кремнію, осаджування нітриду кремнію, осаджування діоксиду (двоокису) кремнію, карбідизації графітових підставок;

1. приєднують (від'єднують) балони з газами і сумішами до газової магістралі установок;
2. включають (виключають) установки;
3. провадять ремонт та наладку установок в разі виходу їх із ладу;
4. провадять профілактичні роботи;
5. слідкують за роботою витяжної вентиляції, наявностю води для охолодження реакторів та зрошення скруберів;
6. слідкують за горінням запальників у скруберах;

1. Під час роботи треба бути уважним, не відволікатися від роботи та не відвертати увагу інших.
2. Перед ремонтом або заміною деталі, вузла газової системи газову систему належить продути азотом протягом ЗО хвилин. При попаданні в газову систему рідини продувку збільшують до 2-х годин.
3. Під час проведення ремонтних та профілактичних робіт для захисту очей від попадання бризок рідини треба користуватись захисними окулярами. Під час заміни балонів, заливки рідини в робочу по-

судину, а також в разі аварії треба користуватись протигазом із коробкою відповідної марки (див. таблицю 1).

3.5. Під час заміни балонів треба дотримуватись певних правил.

3.5.1.Перед тим, як приєднати редуктор до вентиля балона, требавізуально перевірити справність манометрів, накидної гайки редуктора:

• на накидній гайці редуктора не повинно бути тріщин;
• різьбова нарізка на накидній гайці і редукторі повинна бути без механічних пошкоджень (не зірвана);
• манометр повинен бути з такою шкалою, щоб межа робочого тиску знаходилась в другій третині шкали.

3.5.2.Не допускається застосовування манометрів у таких випадках:

• відсутня пломба або клеймо;
• пройшов термін перевірки;
• стрілка манометра при відсутності тиску не повертається на нульову відмітку шкали;
• розбите скло або є інші пошкодження, які впливають на правильність його показань.

1. Під час пуску газу в камеру редуктора вентиль балона треба відкривати вручну, плавно, щоб різко не зростав тиск в камері редуктора. Якщо вентиль відкривається важко, необхідно користуватися спеціальним ключем. (Не допускається застосування молотка, зубила, гаечного ключа).
2. Після заміни балона з технологічним газом, необхідно перевірити обмиленням герметичність з'єднання балона з газовою системою установки та відрегулювати потрібний тиск по манометру.
3. При доставці балонів до місця установки застосовувати спеціальні візки, ноші та інші пристрої з приладдям для закріплення балонів, щоб запобігти сповзанню та падінню балонів. Горловина балона

з вентилем має бути закрита герметично металевим запобіжним ковпаком.

1. Вертикальне транспортування балонів з газами або газовими сумішами необхідно виконувати тільки у вантажному ліфті.
2. Переносити балони на плечах або в руках не допускається. Переміщення балонів на невелику відстань в межах робочого місця дозволяється робити шляхом перекочування у злегка нахиленому положенні.

1. Електрообладнання потрібно включати та виключати в послідовності, зазначеній в інструкції з експлуатації.
2. Технологічні процеси, наведені в п. 3.1, на відповідному обладнанні проводять згідно з технологічними інструкціями та операційними технологічними картами тільки технологи або оператори, які пройшли відповідне навчання та спеціальний інструктаж.
3. При раптовому відключенні витяжної вентиляції, припиненні подачі води для охолодження реактора або скрубера, згасанні запальника в скрубері, слід негайно припинити подачу технологічних газів, відключити установку, а до реактора подати азот для продувки.
4. Для проведення ремонтних робіт, які вимагають відключення напруги, слід вжити у вказаному порядку таких технічних заходів:

• здійснити необхідні відключення і вжити заходів, що перешкоджають помилковому або самочинному ввімкненню комутаційної апаратури;
• вивісити заборонні плакати ("Не вмикати! Працюють люди!") на приводах ручного і на ключах дистанційного керування комутаційною апаратурою;
• перевірити покажчиком напруги заводського виготовлення відсутність напруги на струмовідних частинах, які слід заземлити для захисту працюючих від ураження електричним струмом;
• зняти ручним розрядником залишковий заряд з конденсаторів;
• встановити заземлення (ввімкнути заземлювальні ножі або встановити переносні заземлення);
• обгородити, за необхідності, робочі місця або струмовідні частини, шо залишились під напругою, і вивісити на огородженнях плакати безпеки (залежно від конкретних умов, струмовідні частини обгородити до чи після їх заземлення. (ДНАОП 0.00-1.21-98 "Правила безпечної експлуатації електроустановок споживачів".)

1. При виконанні робіт необхідно дотримуватись правил пожежної безпеки.
2. Кожна дільниця, де для проведення технологічних процесів використовуються отруйні вибухонебезпечні гази, мас бути забезпечена аварійним запасом протигазів відповідних розмірів і коробками відповідних марок (див. Таблицю 1) в кількості не менше як 3 комплекти.
3. В разі появи або можливості появи будь-якої аварійної ситуації припинити всі роботи, вжити відповідних заходів щодо її ліквідації, повідомити керівника, відповідального за проведення роботи.